초정밀 광전자 시설을 위한 ULPA 공기 필터레이션과 함께 극정 깨끗한 모듈 기술 작업 공간
| 브랜드 이름: | SHP |
| 모델 번호: | 맞춤형 |
| MOQ: | 50 평방 미터 |
| 가격: | $500.00/square meters 50-499 square meters |
| 지불 조건: | 신용장, 티/티 |
| 공급 능력: | ≥1 세트 |
ULPA 여과 기능을 갖춘 모듈형 클린룸 작업 공간
,고정밀 광전자 클린룸 장비
,ULPA 공기 여과 기술 작업 공간
제품개요 ——고정밀 광전자 시설을 위한 ULPA 공기 여과 기능을 갖춘 초청정 모듈식 기술 작업 공간
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클린룸 설명
| 애플리케이션 | 제약 | 랩 | 전자제품 |
| 청결 | 중국 클래스 100 ~ 100000 | ISO 5~8 | EU B~D |
| 범위 |
구조부분; 칸막이 및 천장 패널; 문과 창문, 에폭시. |
HVAC 부분; AHU 및 냉각기; 덕트 및 배관. |
전기부품; 램프, 스위치 및 소켓; 배포 캐비닛. |
| 서비스 | 디자인 및 생산 | 구축 및 테스트 | 검증 및 교육 |
| 벽/천장 패널 | 기계로 만든 또는 손으로 만든 샌드위치 보드 |
| 클린룸 장비 | 에어 샤워, FFU, 패스 박스, 층류 캐비닛, 헤파 박스 |
| 청결 | 클래스 100-100000 |
| 정화 시스템 | HVAC 또는 AC 컨디셔너+FFU |
| 바닥 | PVC 정전기 방지 바닥 또는 에폭시 기반 코팅 |
| 기타 주소 | stalinite 창, LED 패널 조명, 문, 손 씻기 싱크대, 보관/신발 캐비닛 등 |
| 서비스 | 설계,제조,시공 |
클린룸 핵심 기능
1. 공기청정도
공기 중 미립자 제어는 모든 클린룸의 주요 기능입니다. ISO 14644-1은 9개 분류 계층에 걸쳐 입방미터당 허용 가능한 입자 농도 임계값을 설정합니다. 예를 들어, ISO 클래스 5에서는 입방미터당 0.5μm 이상의 입자가 3,520개 이상 존재할 수 없습니다. 이는 HEPA(0.3μm에서 99.97% 효율) 또는 ULPA(0.12μm에서 99.9995%) 터미널 필터에서 끝나는 단계적 기계적 여과를 통해 달성된 사양입니다.
2. 공기 흐름 아키텍처
클린룸 공기 흐름은 세 가지 확립된 방식으로 분류됩니다. 단방향(층류) 흐름은 전체 단면에 걸쳐 0.30~0.45m/s의 균일한 속도를 제공하며 ISO 클래스 1~5 환경에 이상적입니다. 클래스 6~9 공간에는 비단방향(난류) 희석 혼합으로 충분합니다. 혼합 흐름 설계는 두 가지를 결합하여 주변 영역의 난류 희석을 유지하면서 중요한 도구 위에 층류 영역을 배치합니다.
3. 온도 및 습도
프로세스 정의 환경 창에 따라 열습도 제어 사양이 결정됩니다. 반도체 포토리소그래피에서는 레지스트 치수 변화를 방지하기 위해 일반적으로 22°C ±0.5°C 및 45% ±3% RH가 필요합니다. 약제 분말 취급 시 흡습성 응집을 방지하려면 35% 이하의 RH가 필요할 수 있습니다. HVAC 시스템은 냉수 코일, 전기 또는 증기 재가열, 단열 또는 증기 가습을 통해 이러한 설정값을 제공합니다.
4. 실내 가압
인접한 공간 사이의 압력 차이가 주요 오염 이동 장벽을 형성합니다. 깨끗한 구역에서 덜 깨끗한 구역까지 최소 5 Pa 포지티브 오프셋이 유지되며 일반적으로 외부로 계단식으로 이어집니다. ISO 클래스 5 → 클래스 7 → 클래스 8 → 제어되지 않습니다. 음압 봉쇄는 생물학적 위험 또는 강력한 화합물 취급을 위해 예약되어 있습니다. 능동형 차압 센서는 VAV 댐퍼를 조절하여 도어 개방 및 필터 로딩을 보상합니다.
5. 구조적 외피
물리적 경계는 공장에서 제작된 모듈식 패널(일반적으로 아연 도금 강철 또는 스테인리스 스틸 스킨 사이에 끼워진 알루미늄 허니컴 또는 PU 폼 코어)로 구성됩니다. 패널 조인트는 중성 경화 실리콘으로 밀봉되어 있으며, 벽에서 바닥까지의 전환에는 최소 25mm 반경의 일체형 코브 베이스가 사용됩니다. 천장 그리드는 플레넘 씰 무결성을 유지하면서 HEPA 하우징, 조명 및 유틸리티 드롭을 지원합니다.
6. 정전기 완화
ESD에 민감한 프로세스에는 제어된 정전기 분산이 필요합니다. 전도성 또는 정전기 방지 바닥재(에폭시, PVC 시트 또는 융기형 액세스 패널)는 2.5×10⁴~1×10⁹Ω 사이의 접지 경로 저항을 제공합니다. 직원 접지는 입장 시 테스트된 손목 스트랩과 전도성 신발을 통해 이루어집니다. 35% RH 이상으로 유지되는 습도와 결합하여 이러한 조치는 마찰전하 축적을 방지합니다.
7. 자재 및 인력 이전
오염 유입 제어는 경계에서 시작됩니다. 에어 샤워는 15~30초 동안 20~28m/s의 제트를 분사하여 옷의 표면 입자를 제거합니다. 통과 챔버에는 연동 도어와 UV-C 살균 조사 옵션이 포함되어 있습니다. 단계별 가운 - 평상복 → 깨끗한 속옷 → 작업복 → 후드 → 부츠 → 장갑 - 통제된 공간으로 유입되는 바이오버든 및 미립자 부하를 점진적으로 줄입니다.
8. 지속적인 모니터링
ISO 14644-2 및 EU GMP Annex 1은 지속적인 환경 감시를 요구합니다. 개별 입자 계수기는 정의된 주파수로 중요한 위치에서 샘플링합니다. 활성 공기 샘플러는 배양 및 CFU 계수를 위해 살아있는 유기체를 한천 플레이트에 포착합니다. 모든 장비는 4~20mA 또는 Modbus를 통해 BMS/EMS 히스토리언과 통신하여 21 CFR Part 11 및 EU Annex 11 데이터 무결성 요구 사항을 준수하는 변조 방지 기록을 생성합니다.
9. 에너지 관리
클린룸 HVAC는 시설 에너지 소비의 50~70%를 차지합니다. 수요 조절 환기는 사람이 없는 기간 동안 공기 재순환 속도를 줄입니다. 런어라운드 코일 루프와 회전 엔탈피 휠은 배기 열 에너지의 60~80%를 회수합니다. EC 또는 VFD 모터가 장착된 팬 어레이를 사용하면 급증 없이 설계 공기 흐름을 30%까지 줄일 수 있어 연간 OPEX를 크게 줄일 수 있습니다.
10. 검증 수명주기
규정 준수는 입증된 것이지 가정된 것이 아닙니다. 설치 자격(IQ)은 올바른 구성 요소 사양과 설치를 확인합니다. OQ(작동 적격성 평가)는 정의된 작동 범위 전체에서 시스템 성능을 확인합니다. 성능 인증(PQ)은 설치된 시스템이 부하 조건에서 프로세스 요구 사항을 충족함을 입증합니다. 재인증은 위험 기반 일정을 따릅니다. 일반적으로 무균 시설의 경우 반년, 비멸균 시설의 경우 연간입니다.
제품 설명
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