1. वायु सफ़ाई

वायुजनित कण नियंत्रण किसी भी सफाई कक्ष का परिभाषित कार्य है। आईएसओ 14644-1 नौ वर्गीकरण स्तरों में प्रति घन मीटर स्वीकार्य कण सांद्रता सीमाएँ स्थापित करता है। उदाहरण के लिए, आईएसओ कक्षा 5 में, प्रति घन मीटर 3,520 से अधिक कण ≥0.5μm मौजूद नहीं हो सकते हैं - HEPA (0.3μm पर 99.97% दक्षता) या ULPA (0.12μm पर 99.9995%) टर्मिनल फिल्टर पर समाप्त होने वाले चरणबद्ध यांत्रिक निस्पंदन के माध्यम से प्राप्त एक विनिर्देश।

2. वायुप्रवाह वास्तुकला

क्लीनरूम वायुप्रवाह तीन स्थापित व्यवस्थाओं में आता है। यूनिडायरेक्शनल (लैमिनर) प्रवाह पूरे क्रॉस-सेक्शन में 0.30-0.45 मीटर/सेकेंड का एक समान वेग प्रदान करता है, जो आईएसओ कक्षा 1-5 वातावरण के लिए आदर्श है। गैर-यूनिडायरेक्शनल (अशांत) तनुकरण मिश्रण कक्षा 6-9 स्थानों के लिए पर्याप्त है। मिश्रित-प्रवाह डिज़ाइन दोनों को जोड़ते हैं, आसपास के क्षेत्रों में अशांत कमजोर पड़ने को बनाए रखते हुए महत्वपूर्ण उपकरणों पर लैमिनर ज़ोन रखते हैं।

3. तापमान एवं आर्द्रता

प्रक्रिया-परिभाषित पर्यावरणीय विंडो थर्मल-आर्द्रता नियंत्रण विनिर्देश निर्धारित करती हैं। सेमीकंडक्टर फोटोलिथोग्राफी आमतौर पर प्रतिरोधी आयामी परिवर्तनों को रोकने के लिए 22°C ±0.5°C और 45% ±3% RH की मांग करती है। फार्मास्युटिकल पाउडर हैंडलिंग के लिए हाइग्रोस्कोपिक क्लंपिंग से बचने के लिए ≤35% आरएच की आवश्यकता हो सकती है। एचवीएसी प्रणाली इन सेटपॉइंट्स को ठंडे पानी के कॉइल्स, इलेक्ट्रिक या स्टीम रीहीट और एडियाबेटिक या स्टीम आर्द्रीकरण के माध्यम से वितरित करती है।

4. कमरे का दबाव

निकटवर्ती स्थानों के बीच दबाव का अंतर प्राथमिक संदूषण प्रवासन बाधा बनाता है। स्वच्छ से कम-स्वच्छ क्षेत्रों में न्यूनतम 5 Pa सकारात्मक ऑफसेट बनाए रखा जाता है, जो आमतौर पर बाहर की ओर बढ़ता है: आईएसओ कक्षा 5 → कक्षा 7 → कक्षा 8 → अनियंत्रित। नकारात्मक-दबाव रोकथाम बायोहाज़र्ड या शक्तिशाली यौगिक हैंडलिंग के लिए आरक्षित है। सक्रिय अंतर दबाव सेंसर दरवाजे के उद्घाटन और फिल्टर लोडिंग की भरपाई के लिए वीएवी डैम्पर्स को मॉड्यूलेट करते हैं।

5. संरचनात्मक लिफाफा

भौतिक सीमा में फैक्ट्री-निर्मित मॉड्यूलर पैनल होते हैं - आमतौर पर गैल्वनाइज्ड स्टील या स्टेनलेस स्टील की खाल के बीच एल्यूमीनियम हनीकॉम्ब या पीयू फोम कोर सैंडविच होता है। पैनल के जोड़ों को न्यूट्रल-क्योर सिलिकॉन से सील कर दिया जाता है, और दीवार से फर्श के संक्रमण में न्यूनतम 25 मिमी त्रिज्या के साथ इंटीग्रल कोव बेस का उपयोग किया जाता है। सीलिंग ग्रिड प्लेनम सील अखंडता को बनाए रखते हुए HEPA हाउसिंग, प्रकाश व्यवस्था और उपयोगिता ड्रॉप का समर्थन करते हैं।

6. इलेक्ट्रोस्टैटिक शमन

ईएसडी-संवेदनशील प्रक्रियाओं को नियंत्रित स्थैतिक अपव्यय की आवश्यकता होती है। प्रवाहकीय या स्थैतिक-विघटनकारी फर्श सामग्री - एपॉक्सी, पीवीसी शीट, या उठाए गए एक्सेस पैनल - 2.5×10⁴ और 1×10⁹ Ω के बीच पथ-से-जमीन प्रतिरोध प्रदान करते हैं। प्रवेश पर परीक्षण किए गए कलाई पट्टियों और प्रवाहकीय जूते के माध्यम से कार्मिक ग्राउंडिंग हासिल की जाती है। 35% आरएच से ऊपर बनाए रखी गई आर्द्रता के साथ, ये उपाय ट्राइबोइलेक्ट्रिक चार्ज संचय को रोकते हैं।

7. सामग्री एवं कार्मिक स्थानांतरण

संदूषण प्रवेश नियंत्रण सीमा पर शुरू होता है। एयर शॉवर्स कपड़ों से सतह के कणों को हटाने के लिए 15-30 सेकंड के लिए 20-28 मीटर/सेकेंड जेट प्रदान करते हैं। पास-थ्रू कक्षों में इंटरलॉक किए गए दरवाजे और वैकल्पिक यूवी-सी रोगाणुनाशक विकिरण शामिल हैं। स्टेज्ड गाउनिंग - स्ट्रीट कपड़े → साफ अंडरगारमेंट्स → कवरऑल → हुड → बूटीज़ → दस्ताने - नियंत्रित स्थान में प्रवेश करने वाले बायोबर्डन और पार्टिकुलेट लोड को उत्तरोत्तर कम करता है।

8. सतत् निगरानी

आईएसओ 14644-2 और ईयू जीएमपी अनुलग्नक 1 में सतत पर्यावरणीय निगरानी अनिवार्य है। एक परिभाषित आवृत्ति पर महत्वपूर्ण स्थानों पर असतत कण काउंटर नमूना। सक्रिय वायु नमूने ऊष्मायन और सीएफयू गणना के लिए अगर प्लेटों पर व्यवहार्य जीवों को पकड़ते हैं। सभी उपकरण 4-20 एमए या मोडबस के माध्यम से बीएमएस/ईएमएस इतिहासकार से संचार करते हैं, 21 सीएफआर भाग 11 और ईयू अनुबंध 11 डेटा अखंडता आवश्यकताओं के अनुरूप छेड़छाड़-स्पष्ट रिकॉर्ड तैयार करते हैं।

9. ऊर्जा प्रबंधन

क्लीनरूम एचवीएसी सुविधा ऊर्जा खपत का 50-70% हिस्सा है। मांग-नियंत्रित वेंटिलेशन खाली अवधि के दौरान वायु पुनर्चक्रण दर को कम कर देता है। रन-अराउंड कॉइल लूप और रोटरी एन्थैल्पी व्हील 60-80% निकास थर्मल ऊर्जा को पुनर्प्राप्त करते हैं। ईसी या वीएफडी मोटरों के साथ फैन ऐरे बिना किसी उछाल के डिजाइन एयरफ्लो को 30% तक बंद करने की अनुमति देते हैं, जिससे महत्वपूर्ण वार्षिक ओपेक्स में कमी आती है।

10. सत्यापन जीवनचक्र

विनियामक अनुपालन प्रदर्शित किया जाता है, माना नहीं जाता। इंस्टालेशन योग्यता (आईक्यू) सही घटक विनिर्देश और इंस्टालेशन की पुष्टि करती है। ऑपरेशनल क्वालिफिकेशन (ओक्यू) परिभाषित ऑपरेटिंग रेंज में सिस्टम के प्रदर्शन की पुष्टि करता है। प्रदर्शन योग्यता (पीक्यू) साबित करती है कि स्थापित सिस्टम भरी हुई परिस्थितियों में प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करता है। रिक्वालिफिकेशन एक जोखिम-आधारित कार्यक्रम का पालन करता है - आमतौर पर सड़न रोकने वाली सुविधाओं के लिए अर्ध-वार्षिक और गैर-बाँझ संचालन के लिए वार्षिक।