Phương pháp hoạt động phòng sạch
2026-07-06
1Dòng chảy hỗn loạn (Dòng chảy không đơn phương)
- Định nghĩa: Dòng không khí di chuyển theo các mô hình không đồng đều, không song song với dòng ngược và xoáy.
- Các lớp mục tiêu: ISO 6 - ISO 8 (Lớp 1.000 - 100.000).
- Chỉ số hiệu suất:
- Lớp 1,000: 50 ACH (Thay đổi không khí mỗi giờ); Thời gian phục hồi < 20 phút.
- Lớp 10,000: 25 ACH; Thời gian phục hồi < 30 phút.
- Lớp 100,000: 15 ACH; Thời gian phục hồi < 40 phút.
- Ưu điểm: Cấu trúc đơn giản, chi phí ban đầu thấp, dễ mở rộng.
- Nhược điểm: Các hạt có thể tồn tại trong xoáy; thời gian ổn định dài sau khi hệ thống khởi động lại.
2Dòng chảy laminar (dòng chảy một chiều)
- Định nghĩa: Không khí di chuyển trong một đường thẳng đồng đều. 100% phủ lọc trên trần cung cấp.
- Các lớp mục tiêu: ISO 1 - ISO 5 (Lớp 1 - 100).
- Loại:
- Dòng chảy Laminar ngang: Không khí chảy ngang từ một bức tường đến bức tường đối diện.
- Dòng chảy Laminar dọc: Không khí chảy từ trần nhà xuống sàn nhà. Bụi được đẩy ra nhanh chóng. Cung cấp sự ổn định cao nhất và không bị ảnh hưởng bởi chuyển động của nhân viên.
- Ưu điểm: Tăng cường ổn định cực nhanh, độ sạch cao nhất, dễ quản lý.
- Nhược điểm: Chi phí xây dựng và bảo trì cao; cấu trúc cứng (khó mở rộng).
3Hệ thống lai (Môi trường vi mô)
Một sự kết hợp của cả hai hệ thống để cung cấp không khí siêu sạch địa phương, tối ưu hóa chi phí và hiệu suất.
- Đường hầm sạch: 100% phủ sóng HEPA / ULPA trên các tuyến quy trình cụ thể. Cô lập nhân viên khỏi máy móc. Lý tưởng cho sản xuất ULSI (Sự tích hợp quy mô siêu lớn).
- Clean Tube: Làm sạch các dây chuyền sản xuất tự động. cực kỳ hiệu quả năng lượng vì nó chỉ xử lý một khối lượng nhỏ, cô lập.
- Clean Spot / Clean Booth: Nâng cấp các khu vực địa phương trong phòng lớp 10k/100k lên lớp 10-1000.
- Clean Booth: Một không gian linh hoạt, di động được bao bọc bởi rèm chống tĩnh, được cung cấp bởi các đơn vị FFU độc lập.
