청정실 운영 방법
2026-07-06
1. 난류 유동(비단방향 유동)
- 정의: 기류는 역류 및 소용돌이와 함께 불균일하고 비평행 패턴으로 움직입니다. 희석효과를 통해 청결함을 달성합니다.
- 대상 클래스: ISO 6 - ISO 8(클래스 1,000 - 100,000).
- 성능 지표:
- 클래스 1,000: 50 ACH(시간당 공기 교환); 복구 시간 < 20분
- 클래스 10,000: 25 ACH; 복구 시간 < 30분
- 클래스 100,000: 15 ACH; 복구 시간 < 40분
- 장점: 구조가 간단하고 초기 비용이 저렴하며 확장이 용이합니다.
- 단점: 입자가 소용돌이에 남아 있을 수 있습니다. 시스템 재시작 후 안정화 시간이 길다.
2. 층류(단방향 흐름)
- 정의: 공기는 균일하고 직선으로 움직입니다. 공급 한도에 대한 100% 필터 적용 범위.
- 대상 클래스: ISO 1 - ISO 5(클래스 1 - 100).
- 유형:
- 수평층류(Horizontal Laminar Flow): 공기가 한쪽 벽에서 반대편 벽으로 수평으로 흐릅니다. 단순하지만 하류 오염이 발생할 수 있습니다.
- 수직층류(Vertical Laminar Flow): 공기가 천장에서 바닥으로 흐릅니다. 먼지가 빠르게 배출됩니다. 최고의 안정성을 제공하며 사람의 움직임에 영향을 받지 않습니다.
- 장점: 매우 빠른 안정화, 최고의 청결도, 손쉬운 관리.
- 단점: 높은 건설 및 유지 관리 비용; 견고한 구조(확장 어려움)
3. 하이브리드 시스템(미시 환경)
두 시스템을 결합하여 국부적으로 청정한 공기를 제공하고 비용과 성능을 최적화합니다.
- Clean Tunnel: 특정 공정 라인에 대한 100% HEPA/ULPA 적용 범위. 인력을 기계로부터 격리합니다. ULSI(초대규모 통합) 제조에 이상적입니다.
- Clean Tube: 자동화된 생산 라인을 정화합니다. 작고 고립된 부피만 처리하므로 에너지 효율성이 매우 높습니다.
- 클린 스팟/클린 부스: 클래스 10k/100k 공간 내의 로컬 구역을 클래스 10-1000으로 업그레이드합니다.
- 클린 부스(Clean Booth): 독립된 FFU 장치로 구동되는 정전기 방지 커튼으로 둘러싸인 유연한 이동 공간입니다.
