Metode Operasi Ruang Bersih
2026-07-06
1. Aliran Turbulen (Aliran Tidak Searah)
- Definisi: Aliran udara bergerak dalam pola yang tidak seragam dan tidak paralel dengan aliran balik dan pusaran. Kebersihan dicapai melalui Efek Pengenceran.
- Kelas Target: ISO 6 - ISO 8 (Kelas 1.000 - 100.000).
- Metrik Kinerja:
- Kelas 1.000: 50 ACH (Pergantian Udara per Jam); Waktu Pemulihan <20 menit.
- Kelas 10.000: 25 ACH; Waktu Pemulihan <30 menit.
- Kelas 100.000: 15 ACH; Waktu Pemulihan <40 menit.
- Kelebihan: Struktur sederhana, biaya awal rendah, mudah diperluas.
- Kekurangan: Partikel mungkin tertinggal dalam pusaran; waktu stabilisasi yang lama setelah sistem dihidupkan ulang.
2. Aliran Laminar (Aliran Searah)
- Definisi: Udara bergerak dalam garis lurus yang seragam. Cakupan filter 100% pada batas pasokan.
- Kelas Sasaran: ISO 1 - ISO 5 (Kelas 1 - 100).
- Jenis:
- Aliran Laminar Horizontal: Udara mengalir secara horizontal dari satu dinding ke dinding lainnya. Sederhana namun kontaminasi di hilir dapat terjadi.
- Aliran Laminar Vertikal: Udara mengalir dari langit-langit ke lantai. Debu dikeluarkan dengan cepat. Menawarkan stabilitas tertinggi dan tidak terpengaruh oleh pergerakan personel.
- Kelebihan: Stabilisasi ultra cepat, kebersihan tertinggi, pengelolaan mudah.
- Kekurangan: Biaya konstruksi dan pemeliharaan yang tinggi; struktur kaku (sulit untuk diperluas).
3. Sistem Hibrid (Lingkungan Mikro)
Kombinasi kedua sistem untuk menghasilkan udara ultra-bersih lokal, mengoptimalkan biaya dan kinerja.
- Terowongan Bersih: 100% cakupan HEPA/ULPA pada jalur proses tertentu. Mengisolasi personel dari mesin. Ideal untuk manufaktur ULSI (Integrasi Skala Ultra Besar).
- Clean Tube: Memurnikan jalur produksi otomatis. Sangat hemat energi karena hanya mengolah volume kecil dan terisolasi.
- Clean Spot / Clean Booth: Meningkatkan zona lokal dalam ruangan Kelas 10k/100k ke Kelas 10-1000.
- Clean Booth: Ruang fleksibel dan bergerak yang ditutupi oleh tirai anti-statis, didukung oleh unit FFU independen.
