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Betriebsmethoden im Reinraum

2026-07-06
Latest company news about Betriebsmethoden im Reinraum

1. Turbulente Strömung (nicht unidirektionale Strömung)

  • Definition: Der Luftstrom bewegt sich in ungleichmäßigen, nicht parallelen Mustern mit Rückströmung und Wirbeln. Sauberkeit wird durch den Verdünnungseffekt erreicht.
  • Zielklassen: ISO 6 – ISO 8 (Klasse 1.000 – 100.000).
  • Leistungskennzahlen:
    • Klasse 1.000: 50 ACH (Luftwechsel pro Stunde); Erholungszeit < 20 Minuten.
    • Klasse 10.000: 25 ACH; Erholungszeit < 30 Minuten.
    • Klasse 100.000: 15 ACH; Erholungszeit < 40 Minuten.
  • Vorteile: Einfache Struktur, niedrige Anschaffungskosten, einfache Erweiterung.
  • Nachteile: Partikel können in Wirbeln verweilen; Lange Stabilisierungszeit nach Systemneustart.

2. Laminare Strömung (unidirektionale Strömung)

  • Definition: Luft bewegt sich in einer gleichmäßigen, geraden Linie. 100 % Filterabdeckung an der Versorgungsdecke.
  • Zielklassen: ISO 1 – ISO 5 (Klasse 1 – 100).
  • Typen:
    • Horizontale laminare Strömung: Luft strömt horizontal von einer Wand zur gegenüberliegenden. Einfache, aber nachgelagerte Kontaminationen können auftreten.
    • Vertikale laminare Strömung: Luft strömt von der Decke zum Boden. Staub wird schnell ausgestoßen. Bietet höchste Stabilität und wird durch Personenbewegungen nicht beeinträchtigt.
  • Vorteile: Ultraschnelle Stabilisierung, höchste Sauberkeit, einfache Handhabung.
  • Nachteile: Hohe Bau- und Wartungskosten; starre Struktur (schwer zu erweitern).

3. Hybride Systeme (Mikroumgebungen)

Eine Kombination beider Systeme, um lokal ultrareine Luft bereitzustellen und so Kosten und Leistung zu optimieren.

  • Clean Tunnel: 100 % HEPA/ULPA-Abdeckung über bestimmte Prozesslinien. Isoliert Personal von Maschinen. Ideal für die ULSI-Fertigung (Ultra-Large Scale Integration).
  • Clean Tube: Reinigt automatisierte Produktionslinien. Äußerst energieeffizient, da nur ein kleines, isoliertes Volumen behandelt wird.
  • Clean Spot/Clean Booth: Aufwertung lokaler Zonen innerhalb eines Raums der Klasse 10k/100k auf Klasse 10-1000.
    • Reinraumkabine: Ein flexibler, mobiler Raum, der von antistatischen Vorhängen umgeben ist und von unabhängigen FFU-Einheiten angetrieben wird.