Betriebsmethoden im Reinraum
2026-07-06
1. Turbulente Strömung (nicht unidirektionale Strömung)
- Definition: Der Luftstrom bewegt sich in ungleichmäßigen, nicht parallelen Mustern mit Rückströmung und Wirbeln. Sauberkeit wird durch den Verdünnungseffekt erreicht.
- Zielklassen: ISO 6 – ISO 8 (Klasse 1.000 – 100.000).
- Leistungskennzahlen:
- Klasse 1.000: 50 ACH (Luftwechsel pro Stunde); Erholungszeit < 20 Minuten.
- Klasse 10.000: 25 ACH; Erholungszeit < 30 Minuten.
- Klasse 100.000: 15 ACH; Erholungszeit < 40 Minuten.
- Vorteile: Einfache Struktur, niedrige Anschaffungskosten, einfache Erweiterung.
- Nachteile: Partikel können in Wirbeln verweilen; Lange Stabilisierungszeit nach Systemneustart.
2. Laminare Strömung (unidirektionale Strömung)
- Definition: Luft bewegt sich in einer gleichmäßigen, geraden Linie. 100 % Filterabdeckung an der Versorgungsdecke.
- Zielklassen: ISO 1 – ISO 5 (Klasse 1 – 100).
- Typen:
- Horizontale laminare Strömung: Luft strömt horizontal von einer Wand zur gegenüberliegenden. Einfache, aber nachgelagerte Kontaminationen können auftreten.
- Vertikale laminare Strömung: Luft strömt von der Decke zum Boden. Staub wird schnell ausgestoßen. Bietet höchste Stabilität und wird durch Personenbewegungen nicht beeinträchtigt.
- Vorteile: Ultraschnelle Stabilisierung, höchste Sauberkeit, einfache Handhabung.
- Nachteile: Hohe Bau- und Wartungskosten; starre Struktur (schwer zu erweitern).
3. Hybride Systeme (Mikroumgebungen)
Eine Kombination beider Systeme, um lokal ultrareine Luft bereitzustellen und so Kosten und Leistung zu optimieren.
- Clean Tunnel: 100 % HEPA/ULPA-Abdeckung über bestimmte Prozesslinien. Isoliert Personal von Maschinen. Ideal für die ULSI-Fertigung (Ultra-Large Scale Integration).
- Clean Tube: Reinigt automatisierte Produktionslinien. Äußerst energieeffizient, da nur ein kleines, isoliertes Volumen behandelt wird.
- Clean Spot/Clean Booth: Aufwertung lokaler Zonen innerhalb eines Raums der Klasse 10k/100k auf Klasse 10-1000.
- Reinraumkabine: Ein flexibler, mobiler Raum, der von antistatischen Vorhängen umgeben ist und von unabhängigen FFU-Einheiten angetrieben wird.