Temiz Oda Çalışma Yöntemleri
2026-07-06
1Turbulent Akış (Bir Yönlü Olmayan Akış)
- Tanım: Hava akışı, ters akış ve girdaplarla eşit olmayan, paralel olmayan kalıplarda hareket eder. Temizlik seyreltilme etkisi ile elde edilir.
- Hedef Sınıflar: ISO 6 - ISO 8 (Sınıf 1.000 - 100.000).
- Performans ölçümleri:
- Sınıf 1,000: 50 ACH (Saat başına hava değişikliği); İyileşme süresi < 20 dakika.
- Sınıf 10,000: 25 ACH; iyileşme süresi < 30 dakikadır.
- 100. sınıf.000: 15 ACH; iyileşme süresi < 40 dakikadır.
- Avantajları: Basit yapı, düşük başlangıç maliyeti, genişletmesi kolay.
- Eksiler: Parçacıklar girdaplarda kalabilir; sistem yeniden başlatıldıktan sonra uzun stabilizasyon süresi.
2. Laminer Akış (Bir Yönlü Akış)
- Tanım: Hava tek bir düz çizgide hareket eder.
- Hedef Sınıflar: ISO 1 - ISO 5 (Sınıf 1 - 100).
- Türleri:
- Yatay Laminer Akış: Hava, bir duvardan karşı duvara yatay olarak akar. Basit ama aşağı akıntıda kirlenme meydana gelebilir.
- Dikey Laminer Akış: Havanın tavandan yere akışı. Toz hızla atılır. En yüksek istikrar sağlar ve personel hareketinden etkilenmez.
- Avantajları: Çok hızlı dengeleme, en yüksek temizlik, kolay yönetim.
- Eksiler: Yüksek inşaat ve bakım maliyetleri; katı yapı (genişletmesi zor).
3. Hibrit Sistemler (Mikro Çevre)
Her iki sistemin bir kombinasyonu, maliyeti ve performansı optimize ederek yerel ultra temiz hava sağlamak için.
- Temiz Tünel: Belirli süreç hatları üzerinde% 100 HEPA / ULPA kapsamı. Personeli makinelerden izole eder. ULSI (Ultra-Large Scale Integration) üretim için idealdir.
- Temiz tüp: Otomatik üretim hatlarını temizler.
- Temiz Nokta / Temiz Booth: Bir Sınıf 10k/100k odası içindeki yerel bölgeleri Sınıf 10-1000'e yükseltmek.
- Temiz kabin: Bağımsız FFU ünitelerinden güçlenen anti-statik perdelerle çevrili esnek, hareketli bir alan.
