クリーンルームの操作方法
2026-07-06
1渦巻流量 (非単方向流量)
- 定義: 空気の流れは,反流と渦とともに均等で並行でないパターンで動きます. 清潔さは稀释効果によって達成されます.
- 対象クラス:ISO 6 - ISO 8 (クラス1,000 - 100,000)
- パフォーマンスメトリック:
- クラス1000: 50 ACH (時間あたり空気の変化); 回復時間 < 20 分.
- クラス10000回復時間 < 30分
- クラス100000回復時間 < 40分
- 利点は シンプルな構造 初期費用が低く 拡張が簡単です
- デメリット: 粒子が渦中に留まり,システムの再起動後に安定化時間が長くなります.
2. ラミナーフロー (単方向フロー)
- 定義:空気は均一で直線で動きます 供給上限に100%のフィルターカバーがあります
- 対象クラス:ISO 1 - ISO 5 (クラス 1 - 100).
- 種類:
- 水平線流:空気は,一方の壁から反対側の壁へ水平流します.単純ですが下流汚染が起こり得ます.
- 垂直層流: 屋根から床へ空気流. 塵は急速に排出される. 最高の安定性を提供し,人材の移動に影響を受けない.
- メリット:超高速安定化 最高の清潔さ 管理が簡単
- デメリット: 高額な建設・維持費; 頑丈な構造 (拡張が難しい).
3ハイブリッドシステム (マイクロ環境)
両方のシステムの組み合わせで 地元的な超清潔な空気を供給し 費用と性能を最適化します
- クリーントンネル:特定のプロセスラインに100%HEPA/ULPAカバー. 機械から人材を隔離する. ULSI (超大型統合) 製造に理想的です.
- クリーン・チューブ:自動生産ラインを浄化します.非常にエネルギー効率が良いので,小さな,孤立した容量のみを処理します.
- クリーンスポット/クリーンブース: 10k/100k級の部屋内のローカルゾーンを10-1000級にアップグレードする.
- クリーン・ブース: 柔軟で移動可能な空間で,反静的カーテンで囲まれ,独立したFFUユニットによって電源が供給されます.
