วิธีการทํางานห้องสะอาด
2026-07-06
1. การไหลแบบปั่นป่วน (การไหลแบบไม่มีทิศทางเดียว)
- คำจำกัดความ: กระแสลมเคลื่อนที่ในรูปแบบไม่สม่ำเสมอและไม่ขนานกันโดยมีการไหลย้อนกลับและกระแสน้ำวน ความสะอาดเกิดขึ้นได้จาก Dilution Effect
- คลาสเป้าหมาย: ISO 6 - ISO 8 (คลาส 1,000 - 100,000)
- ตัวชี้วัดประสิทธิภาพ:
- คลาส 1,000: 50 ACH (การเปลี่ยนแปลงอากาศต่อชั่วโมง); ระยะเวลาพักฟื้น < 20 นาที
- คลาส 10,000: 25 ACH; ระยะเวลาพักฟื้น < 30 นาที
- คลาส 100,000: 15 ACH; ระยะเวลาพักฟื้น < 40 นาที
- ข้อดี: โครงสร้างเรียบง่าย ต้นทุนเริ่มต้นต่ำ ง่ายต่อการขยาย
- จุดด้อย: อนุภาคอาจยังคงอยู่ในกระแสน้ำวน เวลาในการรักษาเสถียรภาพที่ยาวนานหลังจากรีสตาร์ทระบบ
2. การไหลแบบลามินาร์ (การไหลแบบทิศทางเดียว)
- ความหมาย: อากาศเคลื่อนที่เป็นเส้นตรงสม่ำเสมอ ครอบคลุมตัวกรอง 100% บนเพดานการจ่าย
- คลาสเป้าหมาย: ISO 1 - ISO 5 (คลาส 1 - 100)
- ประเภท:
- การไหลแบบลามินาร์แนวนอน: อากาศไหลในแนวนอนจากผนังด้านหนึ่งไปอีกด้านหนึ่ง การปนเปื้อนที่เรียบง่ายแต่สามารถเกิดขึ้นได้
- Vertical Laminar Flow: อากาศไหลจากเพดานสู่พื้น ฝุ่นถูกไล่ออกอย่างรวดเร็ว ให้ความมั่นคงสูงสุดและไม่ได้รับผลกระทบจากการเคลื่อนย้ายบุคลากร
- ข้อดี: เสถียรภาพที่รวดเร็วเป็นพิเศษ ความสะอาดสูงสุด การจัดการที่ง่ายดาย
- จุดด้อย: ค่าก่อสร้างและบำรุงรักษาสูง โครงสร้างแข็ง (ขยายยาก)
3. ระบบไฮบริด (สภาพแวดล้อมระดับจุลภาค)
การรวมกันของทั้งสองระบบเพื่อให้อากาศสะอาดเป็นพิเศษเฉพาะจุด ลดต้นทุนและประสิทธิภาพสูงสุด
- อุโมงค์สะอาด: ครอบคลุม HEPA/ULPA 100% เหนือสายการผลิตเฉพาะ แยกบุคลากรออกจากเครื่องจักร เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิต ULSI (การบูรณาการขนาดใหญ่พิเศษ)
- Clean Tube: ทำให้สายการผลิตอัตโนมัติบริสุทธิ์ ประหยัดพลังงานอย่างมากเนื่องจากใช้กับปริมาตรที่แยกได้เพียงเล็กน้อยเท่านั้น
- Clean Spot / Clean Booth: อัปเกรดโซนท้องถิ่นภายในห้อง Class 10k/100k เป็น Class 10-1000
- Clean Booth: พื้นที่เคลื่อนที่ที่ยืดหยุ่นและล้อมรอบด้วยม่านป้องกันไฟฟ้าสถิต ซึ่งขับเคลื่อนโดยหน่วย FFU อิสระ
