Métodos de funcionamento de salas limpas
2026-07-06
1. Fluxo Turbulento (Fluxo Não Unidirecional)
- Definição: O fluxo de ar se move em padrões não uniformes e não paralelos com refluxo e vórtices. A limpeza é alcançada através do Efeito de Diluição.
- Classes Alvo: ISO 6 - ISO 8 (Classe 1.000 - 100.000).
- Métricas de desempenho:
- Classe 1.000: 50 ACH (trocas de ar por hora); Tempo de recuperação <20 minutos.
- Classe 10.000: 25 ACH; Tempo de recuperação <30 minutos.
- Classe 100.000: 15 ACH; Tempo de recuperação <40 minutos.
- Prós: Estrutura simples, baixo custo inicial, fácil expansão.
- Contras: As partículas podem permanecer em vórtices; longo tempo de estabilização após a reinicialização do sistema.
2. Fluxo Laminar (Fluxo Unidirecional)
- Definição: O ar se move em linha reta e uniforme. Cobertura de filtro de 100% no teto de alimentação.
- Classes Alvo: ISO 1 - ISO 5 (Classe 1 - 100).
- Tipos:
- Fluxo Laminar Horizontal: O ar flui horizontalmente de uma parede para a oposta. Pode ocorrer contaminação simples, mas a jusante.
- Fluxo Laminar Vertical: O ar flui do teto para o chão. A poeira é expelida rapidamente. Oferece a mais alta estabilidade e não é afetado pelo movimento de pessoal.
- Prós: Estabilização ultrarrápida, maior limpeza, fácil gerenciamento.
- Contras: Altos custos de construção e manutenção; estrutura rígida (difícil de expandir).
3. Sistemas Híbridos (Microambientes)
Uma combinação de ambos os sistemas para fornecer ar ultralimpo localizado, otimizando custos e desempenho.
- Túnel Limpo: 100% de cobertura HEPA/ULPA em linhas de processo específicas. Isola o pessoal das máquinas. Ideal para fabricação ULSI (integração em escala ultralarga).
- Clean Tube: Purifica linhas de produção automatizadas. Extremamente eficiente em termos energéticos, pois trata apenas um volume pequeno e isolado.
- Clean Spot/Clean Booth: Atualizando zonas locais dentro de uma sala de Classe 10k/100k para Classe 10-1000.
- Cabine Limpa: Um espaço flexível e móvel cercado por cortinas antiestáticas, alimentado por unidades FFU independentes.
