Методы работы чистых помещений
2026-07-06
1. Турбулентный поток (неоднонаправленный поток)
- Определение: Воздушный поток движется неравномерно, непараллельно с обратным потоком и вихрями. Чистота достигается за счет эффекта разбавления.
- Целевые классы: ISO 6–ISO 8 (класс 1000–100 000).
- Показатели производительности:
- Класс 1000: 50 ACH (воздухообменов в час); Время восстановления < 20 минут.
- Класс 10 000: 25 ACH; Время восстановления < 30 минут.
- Класс 100 000: 15 ACH; Время восстановления < 40 минут.
- Плюсы: простая структура, низкие первоначальные затраты, легко расширяется.
- Минусы: Частицы могут задерживаться в вихрях; длительное время стабилизации после перезапуска системы.
2. Ламинарный поток (однонаправленный поток)
- Определение: Воздух движется равномерно и прямолинейно. 100% покрытие фильтра на приточном потолке.
- Целевые классы: ISO 1–ISO 5 (класс 1–100).
- Типы:
- Горизонтальный ламинарный поток: воздух течет горизонтально от одной стены к противоположной. Может произойти простое, но дальнейшее загрязнение.
- Вертикальный ламинарный поток: воздух течет от потолка к полу. Пыль быстро удаляется. Обеспечивает высочайшую стабильность и не подвержен влиянию движения персонала.
- Плюсы: Сверхбыстрая стабилизация, высочайшая чистота, простота управления.
- Минусы: Высокие затраты на строительство и обслуживание; жесткая конструкция (трудно расширяется).
3. Гибридные системы (микросреды)
Сочетание обеих систем обеспечивает локализованную сверхчистую атмосферу, оптимизируя затраты и производительность.
- Чистый туннель: 100% покрытие HEPA/ULPA на определенных технологических линиях. Изолирует персонал от техники. Идеально подходит для производства ULSI (сверхкрупномасштабная интеграция).
- Чистая трубка: очищает автоматизированные производственные линии. Чрезвычайно энергоэффективен, поскольку обрабатывает только небольшой изолированный объем.
- Чистое пятно/чистая кабина: модернизация локальных зон в помещении класса 10k/100k до класса 10–1000.
- Чистая будка: гибкое мобильное пространство, закрытое антистатическими шторами, питаемое от независимых блоков FFU.