طرق تشغيل غرف الأبحاث
2026-07-06
1. التدفق المضطرب (التدفق غير أحادي الاتجاه)
- التعريف: يتحرك تدفق الهواء في أنماط غير منتظمة وغير متوازية مع تدفق عكسي ودوامات. يتم تحقيق النظافة من خلال تأثير التخفيف.
- الفئات المستهدفة: ISO 6 - ISO 8 (الفئة 1000 - 100000).
- مقاييس الأداء:
- فئة 1000: 50 ACH (تغييرات الهواء في الساعة)؛ وقت الاسترداد <20 دقيقة.
- فئة 10000: 25 أتش؛ وقت الاسترداد <30 دقيقة.
- فئة 100.000: 15 أتش؛ وقت الاسترداد <40 دقيقة.
- الإيجابيات: هيكل بسيط، تكلفة أولية منخفضة، سهل التوسع.
- السلبيات: قد تبقى الجسيمات في الدوامات؛ وقت استقرار طويل بعد إعادة تشغيل النظام.
2. التدفق الصفحي (التدفق أحادي الاتجاه)
- التعريف: يتحرك الهواء في خط مستقيم منتظم. تغطية الفلتر بنسبة 100% على سقف العرض.
- الفئات المستهدفة: ISO 1 - ISO 5 (الفئة 1 - 100).
- الأنواع:
- التدفق الصفحي الأفقي: يتدفق الهواء أفقيًا من أحد الجدران إلى الجدار المقابل. يمكن أن يحدث تلوث بسيط ولكن في اتجاه مجرى النهر.
- التدفق الصفحي العمودي: يتدفق الهواء من السقف إلى الأرض. يتم طرد الغبار بسرعة. يوفر أعلى درجات الاستقرار ولا يتأثر بحركة الأفراد.
- الإيجابيات: تثبيت فائق السرعة، نظافة عالية، إدارة سهلة.
- السلبيات: ارتفاع تكاليف البناء والصيانة؛ هيكل جامد (يصعب التوسع).
3. الأنظمة الهجينة (البيئات الدقيقة)
مزيج من كلا النظامين لتوفير هواء موضعي نظيف للغاية، مما يؤدي إلى تحسين التكلفة والأداء.
- النفق النظيف: تغطية HEPA/ULPA بنسبة 100% عبر خطوط معالجة محددة. عزل الموظفين عن الآلات. مثالية لتصنيع ULSI (التكامل واسع النطاق).
- الأنبوب النظيف: ينقي خطوط الإنتاج الآلية. موفرة للطاقة للغاية لأنها تعالج فقط حجمًا صغيرًا ومعزولًا.
- بقعة نظيفة / كشك نظيف: ترقية المناطق المحلية داخل غرفة من الفئة 10k/100k إلى الفئة 10-1000.
- المقصورة النظيفة: مساحة مرنة ومتنقلة محاطة بستائر مضادة للكهرباء الساكنة، مدعومة بوحدات FFU مستقلة.
