روش های عملیاتی اتاق تمیز
2026-07-06
1جریان آشفته (جريان غير تک جهت)
- تعریف: جریان هوا در الگوهای غیر یکنواخت و غیر موازی با جریان عقب و گرد و غبار حرکت می کند. تمیز بودن از طریق اثر رقیق شدن به دست می آید.
- کلاس های هدف: ISO 6 - ISO 8 (کلاس 1000 - 100,000).
- معیارهای عملکرد:
- کلاس 1000: 50 ACH (تغییر هوا در هر ساعت) زمان بهبود < 20 دقیقه
- کلاس 10000: 25 ACH، زمان بهبود < 30 دقیقه
- کلاس 100000: 15 ACH؛ زمان بهبود < 40 دقیقه
- مزایا: ساختار ساده، هزینه اولیه پایین، گسترش آسان.
- معایب: ذرات ممکن است در گرد و غبار باقی بمانند؛ زمان ثبات طولانی پس از راه اندازی مجدد سیستم.
2جریان لامینار (جريان یک جهت)
- تعریف: هوا در یک خط صاف و یکنواخت حرکت می کند. پوشش فیلتر 100٪ در سقف عرضه.
- کلاس های هدف: ISO 1 - ISO 5 (کلاس 1 - 100).
- انواع:
- جریان لامینری افقی: هوا افقی از یک دیوار به سمت مقابل جریان دارد. آلودگی ساده اما پایین رودخانه ممکن است رخ دهد.
- جریان عمودی لامینری: جریان هوا از سقف به کف. گرد و غبار به سرعت اخراج می شود. بالاترین ثبات را ارائه می دهد و تحت تأثیر حرکت پرسنل نیست.
- مزايايش: تثبيت فوق العاده سريع، بالاترين نظافت، کنترل آسان.
- معایب: هزینه های بالای ساخت و نگهداری؛ ساختار سفت (سخت برای گسترش).
3سیستم های ترکیبی (ماکرو محیط ها)
ترکیبی از هر دو سیستم برای ارائه هوای بسیار تمیز محلی، بهینه سازی هزینه و عملکرد.
- تونل تمیز: پوشش 100٪ HEPA / ULPA در خطوط فرآیند خاص. پرسنل را از ماشین آلات جدا می کند. ایده آل برای تولید ULSI (انجام مقیاس فوق العاده بزرگ).
- لوله تمیز: خطوط تولیدی خودکار را تصفیه می کند. بسیار انرژی کارآمد است زیرا فقط یک حجم کوچک و جدا شده را درمان می کند.
- مکان تمیز / غرفه تمیز: ارتقاء مناطق محلی در یک اتاق کلاس 10k/100k به کلاس 10-1000.
- غرفه تمیز: یک فضای انعطاف پذیر و متحرک که توسط پرده های ضد ایستاتیک احاطه شده و توسط واحدهای مستقل FFU تغذیه می شود.
