Méthodes de fonctionnement des salles blanches
2026-07-06
1. Écoulement turbulent (écoulement non unidirectionnel)
- Définition : Le flux d'air se déplace selon des schémas non uniformes et non parallèles avec reflux et vortex. La propreté est obtenue grâce à l'effet de dilution.
- Classes cibles : ISO 6 - ISO 8 (Classe 1 000 - 100 000).
- Mesures de performances :
- Classe 1 000 : 50 ACH (changements d'air par heure) ; Temps de récupération < 20 minutes.
- Classe 10 000 : 25 ACH ; Temps de récupération < 30 minutes.
- Classe 100 000 : 15 ACH ; Temps de récupération < 40 minutes.
- Avantages : Structure simple, faible coût initial, facile à développer.
- Inconvénients : Les particules peuvent persister dans les vortex ; long temps de stabilisation après le redémarrage du système.
2. Flux laminaire (flux unidirectionnel)
- Définition : L’air se déplace selon une ligne droite et uniforme. Couverture filtrante à 100 % sur le plafond d'alimentation.
- Classes cibles : ISO 1 - ISO 5 (Classe 1 - 100).
- Types :
- Flux laminaire horizontal : L'air circule horizontalement d'un mur à l'autre. Une contamination simple mais en aval peut survenir.
- Flux laminaire vertical : L’air circule du plafond au sol. La poussière est rapidement expulsée. Offre la plus grande stabilité et n’est pas affecté par les mouvements du personnel.
- Avantages : Stabilisation ultra-rapide, propreté maximale, gestion facile.
- Inconvénients : Coûts de construction et d’entretien élevés ; structure rigide (difficile à agrandir).
3. Systèmes hybrides (micro-environnements)
Une combinaison des deux systèmes pour fournir un air ultra-pur localisé, optimisant ainsi les coûts et les performances.
- Tunnel propre : couverture 100 % HEPA/ULPA sur des lignes de processus spécifiques. Isole le personnel des machines. Idéal pour la fabrication ULSI (Ultra-Large Scale Integration).
- Clean Tube : Purifie les lignes de production automatisées. Extrêmement économe en énergie car il ne traite qu’un petit volume isolé.
- Clean Spot / Clean Booth : mise à niveau des zones locales dans une salle de classe 10k/100k vers la classe 10-1000.
- Clean Booth : Un espace flexible et mobile entouré de rideaux antistatiques, alimenté par des unités FFU indépendantes.