Metody pracy w pomieszczeniach czystych
2026-07-06
1. Przepływ turbulentny (przepływ niejednoręczny)
- Definicja: Przepływ powietrza porusza się w nierównych, nierównoległych wzorcach z odpływem i wirami.
- Klasy docelowe: ISO 6 - ISO 8 (klasa 1000 - 100.000).
- Wskaźniki wydajności:
- klasa 1,000: 50 ACH (zmiana powietrza na godzinę); czas odzyskiwania < 20 min.
- Klasa 10,000: 25 ACH; czas regeneracji < 30 min.
- Klasy 100.000: 15 ACH; czas regeneracji < 40 min.
- Zalety: Prosta struktura, niskie koszty początkowe, łatwość rozbudowy.
- Wady: cząstki mogą pozostawać w wirze; długi czas stabilizacji po ponownym uruchomieniu systemu.
2. Przepływ laminowy (przepływ jednostronnego)
- Definicja: powietrze porusza się w równomiernej, prostej linii.
- Klasy docelowe: ISO 1 - ISO 5 (klasa 1 - 100).
- Rodzaje:
- Horizontal Laminar Flow: powietrze przepływa poziomo z jednej ściany na przeciwległą.
- Przepływ pionowy: powietrze przepływa z sufitu na podłogę. kurz jest szybko wydalany. zapewnia najwyższą stabilność i nie jest pod wpływem ruchu personelu.
- Zalety: bardzo szybka stabilizacja, najwyższa czystość, łatwe zarządzanie.
- Wady: wysokie koszty budowy i utrzymania; sztywna struktura (trudno ją rozszerzyć).
3Systemy hybrydowe (mikrośrodowiska)
Połączenie obu systemów zapewnia lokalne ultraczyste powietrze, optymalizując koszty i wydajność.
- Czysta tunel: 100% pokrycie HEPA/ULPA na określonych liniach procesowych. Izoluje personel od maszyn. Idealny do produkcji ULSI (Ultra-Large Scale Integration).
- Czyste rurki: oczyszczają automatyczne linie produkcyjne, są niezwykle energooszczędne, ponieważ przetwarzają tylko niewielkie ilości.
- Czyste miejsce / czysty stolik: Uaktualnienie obszarów lokalnych w pomieszczeniu klasy 10k/100k do klasy 10-1000.
- Stand czyste: elastyczna, ruchoma przestrzeń zamknięta antystatycznymi zasłonami, zasilana niezależnymi jednostkami FFU.
