logo
ngọn cờ ngọn cờ
Chi tiết blog

Phòng sạch là gì? Phòng sạch được phân loại như thế nào?

2026-06-05
Latest company news about Phòng sạch là gì? Phòng sạch được phân loại như thế nào?
Phòng sạch hay còn gọi là phòng không bụi, tạo thành nền tảng cho việc kiểm soát ô nhiễm. Không thể sản xuất hàng loạt các bộ phận nhạy cảm với ô nhiễm nếu không có phòng sạch. Theo quy định tại FED-STD-2, phòng sạch là không gian khép kín được trang bị hệ thống lọc không khí, phân phối không khí, tối ưu hóa điều hòa không khí, vật liệu xây dựng chuyên dụng và các thiết bị phụ trợ; các quy trình vận hành tiêu chuẩn hóa được triển khai để điều chỉnh nồng độ hạt trong không khí để đạt được cấp độ sạch cần thiết.

Phòng sạch là một phòng được thiết kế đặc biệt để loại bỏ các chất gây ô nhiễm trong không khí bao gồm các vi hạt, khí độc hại và vi khuẩn trong một không gian xác định. Nó duy trì chính xác các thông số trong nhà như nhiệt độ, độ sạch, áp suất tĩnh, tốc độ và cách bố trí luồng không khí, tiếng ồn, độ rung, độ chiếu sáng và tĩnh điện trong phạm vi mục tiêu đặt trước. Bất kể sự biến động của điều kiện không khí xung quanh ngoài trời, bên trong luôn duy trì các thông số kỹ thuật về độ sạch, nhiệt độ, độ ẩm và áp suất được cài đặt sẵn.

Chức năng cốt lõi của nó là ổn định độ sạch, nhiệt độ và độ ẩm của không khí xung quanh hàng hóa được sản xuất như chip silicon, cho phép sản xuất trong môi trường thuận lợi được kiểm soát, cụ thể là phòng sạch. Theo tiêu chuẩn công nghiệp toàn cầu, việc phân loại phòng sạch được định lượng bằng số lượng hạt quá khổ trên một mét khối không khí. “Không bụi” không có nghĩa là hoàn toàn không có bụi nhưng giới hạn hàm lượng hạt ở ngưỡng cực thấp. Các hạt được phép như vậy mịn hơn nhiều so với bụi thông thường, tuy nhiên ngay cả bụi dạng vết cũng có thể làm suy giảm nghiêm trọng các thành phần quang học chính xác, do đó môi trường không có bụi là bắt buộc đối với sản xuất sản phẩm quang học.

Tiêu chuẩn phòng sạch quốc tế loại A hạn chế các hạt dưới 0,5μm đến dưới 3.500 mảnh trên một mét khối. Việc chế tạo chip áp dụng các tiêu chí khắt khe hơn vượt quá Loại A, được áp dụng rộng rãi cho sản xuất tấm bán dẫn cao cấp. Với số lượng hạt được giới hạn dưới 1.000 mảnh trên mét khối, tiêu chuẩn nghiêm ngặt này thường được đặt tên là Loại 1K ​​trong toàn ngành.

Ba trạng thái ứng dụng chính của phòng sạch

  1. Phòng sạch hoàn công
    Một cơ sở phòng sạch được xây dựng hoàn chỉnh và sẵn sàng hoạt động với tất cả các tiện ích hỗ trợ và hệ thống chức năng nhưng không có thiết bị xử lý nào được lắp đặt bên trong không gian.
  2. Phòng sạch ở trạng thái nghỉ
    Một phòng sạch được trang bị đầy đủ với tất cả các thiết bị được lắp đặt và hiệu chuẩn để vận hành theo lịch trình hoặc ở trạng thái chờ; không có nhân viên điều hành nào có mặt trong khu vực bao vây.
  3. Phòng sạch hoạt động
    Một phòng sạch đầy đủ chức năng được phục vụ thường xuyên với thiết bị sản xuất được lắp đặt và nhân viên làm việc tại chỗ, sẵn sàng thực hiện đầy đủ các hoạt động sản xuất thường lệ theo yêu cầu.
    Các mục được kiểm soát
    1. Loại bỏ bụi hạt lơ lửng trôi nổi trong không khí xung quanh
    2. Ức chế việc tạo ra các chất gây ô nhiễm hạt mới
    3. Điều chỉnh chính xác nhiệt độ trong nhà và độ ẩm tương đối
    4. Điều khiển có thể điều chỉnh chênh lệch áp suất tĩnh trong nhà
    5. Xả hiệu quả các chất ô nhiễm khí độc hại
    6. Đảm bảo kín khí cho kết cấu và vách ngăn của tòa nhà
    7. Phòng ngừa và loại bỏ sự tích tụ tĩnh điện
    8. Ức chế nhiễu điện từ bên ngoài
    9. Tuân thủ toàn diện các thông số kỹ thuật an toàn của trang web
    10. Thiết kế cấu trúc tối ưu hóa để bảo tồn năng lượng

    Ba loại luồng khí: Dòng chảy hỗn loạn, Dòng chảy tầng & Loại hỗn hợp | Tầm quan trọng của các yếu tố kiểm soát luồng không khí và tốc độ gió

    1. Phòng sạch có dòng chảy hỗn loạn

    Không khí trong lành đi qua các bộ xử lý không khí, ống dẫn và bộ lọc HEPA trong nhà trước khi vào phòng; thoát khí trở lại qua các bức tường ngăn hoặc sàn nâng. Không khí chảy không đều với các dòng xoáy thay vì đường thẳng, phù hợp với tiêu chuẩn phòng sạch Cấp 1.000 ~ 100.000.
    Định nghĩa: Một phòng sạch có luồng không khí cung cấp không đồng đều, không song song kèm theo dòng tuần hoàn và dòng xoáy.

    Nguyên tắc làm việc: Các chất gây ô nhiễm trong nhà được pha loãng liên tục bởi không khí điều hòa đi vào để đạt được độ sạch mục tiêu, thường được thiết kế từ Loại 1.000 đến Loại 300.000.

    Đặc điểm: Sự sạch sẽ được thực hiện thông qua việc thay đổi không khí thường xuyên; tốc độ thay đổi không khí cao hơn mang lại mức độ sạch vượt trội.

    (1) Thời gian phục hồi: Khoảng thời gian từ khi cung cấp không khí ban đầu cho đến khi nồng độ hạt trong nhà đạt mức sạch thiết kế.
    • Lớp 1.000: Tối đa 20 phút (tính là 15 phút)
    • Lớp 10.000: Tối đa 30 phút (tính là 25 phút)
    • Lớp 100.000: Tối đa 40 phút (tính theo 30 phút)

      (2) Tỷ lệ thay đổi không khí được đề xuất (theo tiêu chí thu hồi):
    • Loại 1.000: 43,5~55,3 lần/giờ, giá trị tiêu chuẩn 50 lần/giờ
    • Loại 10.000: 23,8~28,6 lần/giờ, giá trị tiêu chuẩn 25 lần/giờ
    • Loại 100.000:14,4~19,2 lần/giờ, giá trị tiêu chuẩn 15 lần/giờ
    Ưu điểm: Khung đơn giản, chi phí xây dựng thấp và dễ dàng mở rộng không gian; có thể kết hợp với băng ghế sạch để nâng cao độ sạch sẽ tại địa phương.

    Nhược điểm: Bụi lơ lửng bị giữ lại trong nhà do không khí hỗn loạn và dễ làm ô nhiễm hàng hóa sản xuất; thời gian phục hồi kéo dài để lấy lại sự sạch sẽ sau khi tắt và khởi động lại hệ thống.

    2. Phòng sạch dòng chảy tầng

    Không khí chảy thành dòng thẳng đều. Bộ lọc phủ kín toàn bộ trần cung cấp không khí, với không khí quay trở lại được hút qua sàn nâng hoặc vách ngăn bên. Thiết kế này phù hợp với phòng sạch cao cấp Cấp 1 ~ Cấp 100, được chia thành hai loại:

    (1) Dòng chảy tầng ngang

    Không khí được lọc thổi theo chiều ngang về phía các bức tường hồi đối diện; các chất ô nhiễm tích tụ nhiều ở vùng hạ lưu.
    • Ưu điểm: Thiết lập đơn giản và ổn định hoạt động nhanh sau khi khởi động.
    • Nhược điểm: Chi phí xây dựng cao hơn và khả năng mở rộng phòng hạn chế.

    (2) Dòng chảy tầng dọc

    Toàn bộ trần nhà được trang bị bộ lọc ULPA để phân phối không khí từ trên xuống. Bụi từ thiết bị hoặc người vận hành nhanh chóng được thải ra ngoài mà không làm lây nhiễm chéo các khu vực làm việc riêng biệt.
    • Ưu điểm: Dễ dàng quản lý hàng ngày, ổn định độ sạch nhanh chóng, giảm thiểu sự xáo trộn từ nhân viên hoặc hoạt động sản xuất.
    • Nhược điểm: Chi phí xây dựng cao, tính linh hoạt của bố cục kém; khung treo trần chiếm không gian và cản trở việc bảo trì thay thế bộ lọc.

    3. Phòng sạch hỗn hợp

    Kết hợp luồng không khí hỗn loạn và phân lớp để tạo ra các khu sản xuất cục bộ cực kỳ sạch sẽ.

    (1) Đường hầm sạch

    Bộ lọc HEPA/ULPA bao phủ toàn bộ khu vực xử lý để đạt Cấp 10 trở lên, cắt giảm chi phí thiết lập và vận hành. Khu vực làm việc được cách ly khỏi khu bảo trì thiết bị để tránh lây nhiễm chéo, được áp dụng rộng rãi cho sản xuất ULSI.
    • Lợi ích: Mở rộng công suất linh hoạt và bảo trì thiết bị ngoại tuyến thuận tiện.

    (2) Ống sạch

    Bao gồm dây chuyền sản xuất tự động với chức năng thanh lọc chuyên dụng để đạt được độ sạch Cấp 100+. Cách ly ngăn cách hàng hóa, công nhân và môi trường xung quanh phát sinh bụi; mức tiêu thụ không khí thấp giúp tiết kiệm năng lượng, lý tưởng cho hoạt động sản xuất tự động hoàn toàn không có người lái.

    (3) Điểm sạch (Phòng sạch mini cục bộ)

    Nâng cấp các bộ phận sản xuất cốt lõi bên trong phòng sạch hỗn loạn Cấp 10.000~100.000 lên Cấp 10~1000, bao gồm bàn sạch và buồng sạch mini:
    • Bàn sạch: Xếp hạng Class1~Class100.
    • Buồng làm sạch mini: Một không gian khép kín nhỏ gọn được bọc bằng nhựa PVC trong suốt chống tĩnh điện bên trong các phòng sạch hỗn loạn, được trang bị bộ cấp khí và HEPA/ULPA độc lập cho độ sạch Class10~1000. Cao khoảng 2,5m, phạm vi phủ sóng dưới 10㎡ với bốn chân hỗ trợ lăn giúp di chuyển linh hoạt.

    Lưu ý cốt lõi: Tầm quan trọng của luồng không khí và kiểm soát tốc độ gió

    Mô hình luồng không khí chính xác và khả năng điều chỉnh tốc độ gió chi phối độ ổn định của độ sạch, xác định trực tiếp hiệu quả pha loãng hạt, thời gian tự làm sạch và phân loại phòng sạch cuối cùng.