logo
バナー バナー
ブログの詳細

クリーンルームとは何か? クリーンルームはどのように分類されますか?

2026-06-05
Latest company news about クリーンルームとは何か? クリーンルームはどのように分類されますか?
クリーンルーム (Clean Room) は,汚染防止の基礎となる.汚染に敏感な部品の大量生産は,クリーンルームの設備なしでは実現できない.FED-STD-2 に規定するクリーンルームとは,空気の濾過,空気の配送,空調の最適化,特殊な建材,補助装置を備えた閉ざされた空間をいう.標準化された操作プロトコルが実施され,必要な清潔度レベルを基準とするため,空気中の粒子の濃度を規制する..

クリーンルームは,特定の空間内で微粒子,有害ガス,細菌を含む空気中の汚染物質を排除するための特別に設計された囲いです.温度などの室内のパラメータを正確に維持します清潔さ,静的圧力,空気流速と配置,騒音,振動,照明,静電は,事前に設定された目標範囲内です.周囲の外気条件の変動に関係なく内部は,常に事前に設定された清潔度,温度,湿度,圧力の仕様を維持します.

芯片のような製造品を取り巻く環境の清潔さ 温度 湿度を安定させ 制御された環境で生産を可能にしますクリーンルームです世界的な産業基準によると クリーンルームの分類は 空気の立方メートルあたり 超大小の粒子の数によって定量化されます粉塵の完全無という意味ではなく,粒子の含有量を非常に低い限界値に制限しますこのような許容された粒子は,通常の塵よりもはるかに微細ですが,塵の痕跡でさえ,精密な光学部品を深刻に損なう可能性があります.したがって,光学製品の製造には塵のない環境が必須である..

A級国際クリーンルーム規格では,0.5μm未満の粒子を3500個未満に制限しています.チップ製造は,A級を超えたより厳しい基準を採用しています.高級ウエーファー製造に広く使用されている立方メートルあたり1000個未満の粒子の数で この厳格な基準は業界全体で 1K級と呼ばれています

クリーンルームの3つの主要用途

  1. 建設中のクリーンルーム
    完全に構築され,動作準備が整ったクリーンルーム施設,すべてのサポートユーティリティと機能システムが備わっていますが,スペース内にプロセス機器がインストールされていません.
  2. 静止するクリーンルーム
    設備が完全に備えたクリーンルームで,すべての設備が設置され,予定された動作または待機状態のために校正されています. 施設内には操作スタッフがいません.
  3. 営業用クリーンルーム
    生産設備と現場作業員を備えた 常勤の完全機能のクリーンルームで 必要に応じて通常の製造作業を行うことができます
    規制対象物
    1. 周囲の空気中に浮遊している懸浮粒子塵を除去する
    2. 新しい微粒子の汚染物質の生成を抑制する
    3. 室内の温度と相対湿度の正確な制御
    4. 室内の静的圧力差の調節可能制御
    5. 有害なガスの排出量
    6. 建物構造や隔壁の気密密封を確保する
    7. 静電の蓄積防止と排除
    8. 外部の電磁気干渉の抑制
    9. 敷地内の安全基準の全面的な遵守
    10. エネルギー 節約 の ため の 最適 化 さ れ た 構造 設計

    3つの空気流の種類: 渦巻流,ラミナ流,混合流

    1騒動の流れ クリーンルーム

    空気処理装置,管路,室内HEPAフィルターを通過し,隔壁側壁や高層アクセスフロアを通過して空気を返します.空気が不規則に流れ,直線路ではなく渦が流れますクラス1000~100,000のクリーンルーム規格に適しています
    定義: 再循環と渦流が伴う不均等で並行しない供給空気の流れを有するクリーンルーム.

    作業原理: 室内の汚染物質は,目標の清潔性を達成するために,空調空気に継続的に稀释されます.通常はクラス1000からクラス300の間に設計されています.000.

    特徴: 清潔さは,頻繁に空気交換によって実現されます.より高い空気交換率は,より優れた清潔度をもたらします.

    (1) 回復時間: 室内の粒子の濃度が設計された清潔度に達するまでの初期空気供給からの時間.
    • クラス1000: 最大20分 (15分計算)
    • クラス10000: 最大30分 (25分計算)
    • クラス100000: 最大40分 (30分計算)

      (2) 推奨される空気変化率 (復元基準ごとに):
    • クラス1000: 43.5~55.3回/時間,標準値は50回/時間
    • クラス10000: 23.8~28.6回/時間,標準値は25回/時間
    • クラス100000:14.4~19.2回/時間,標準値は15回/時間
    利点: シンプルな構造,低コストの建設,広げるのに便利なスペース. 地域の清潔性を向上させるためにクリーンベンチと組み合わせることができます.

    欠点: 懸浮塵は,騒動する空気によって室内に閉じ込められ,製造品を容易に汚染します. システムがシャットダウンして再起動した後,再浄化するのに長い回復期間があります.

    2ラミナールフロー クリーンルーム

    空気流は均質な直線流で,全天井のフィルターカバーが空気を供給し,返却空気が高層階や側隔壁を通って抽出されます.このデザインは高級クラス1~クラス100のクリーンルームに適しています2つのカテゴリーに分かれています.

    (1) 横軸ラミナー流量

    濾過された空気は横向きに逆の回帰壁に向かって吹かれ,汚染物質は下流の地域で大量に蓄積します.
    • 利点は: シンプルなセットアップと起動後に迅速な運用安定化.
    • デメリット: 建設コストが高く,部屋の拡張に柔軟性が限られている.

    (2) 垂直線形流量

    屋根全体には,上から下へと空気を流すULPAフィルタが装備されています. 設備や操作者からの塵は,別の作業区域を交差汚染することなく,すぐに排出されます.
    • 利点は: 日常管理が簡単で 清潔性の安定が迅速で スタッフや生産活動から 干渉が最小です
    • デメリット: 高い製造コスト,配置の柔軟性が低い. 天井の吊り枠がスペースを占め,フィルター交換の保守を妨げます.

    3混合型 クリーンルーム

    渦巻きとラミナリー空気の流れを組み合わせて 超清潔な局所生産地帯を作り出します

    (1) クリーン・トンネル

    HEPA/ULPAフィルターは,設定と運用コストを削減し,クラス10以上に達する処理領域を完全にカバーします. 交叉汚染を避けるために,作業エリアは機器の保守区域から隔離されています.ULSI 生産に広く採用されている.
    • 利点: 柔軟な生産能力拡大と便利なオフライン設備の保守

    (2) 清掃管

    自動化生産ラインに専用の浄化装置を設置し,Class 100+の清潔度を達成する. 隔離は物品,労働者と塵を生成する環境を隔離する.低気消耗でエネルギー節約完全に自動化された製造に最適です

    (3) クリーンスポット (ミニクリーンルーム)

    クリーンベンチやミニクリーンブースを含む,クラス10,000~100,000の騒動性クリーンルーム内のコア生産セクションをクラス10~1000までアップグレードします.
    • クリーンベンチ:クラス1~クラス100
    • ミニクリーンブース: 渦巻くクリーンルーム内の反静的透明PVCに包まれたコンパクトな閉ざされた空間. 10~1000級の清潔性のための独立したHEPA/ULPAと空気供給ユニットで装備されています.2年くらい.5m 高さ 10m2未満のカバーで 4つのローリングサポート脚を柔軟に移動します

    基本注: 空気の流れの重要性と風速制御

    精密な空気流のパターンと風速の調節が清潔性の安定性を支配し,粒子の稀释効率,自己浄化期間,最終的な清潔室分類を直接決定する.