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Qu'est-ce qu'une salle blanche ? Comment sont classées les salles blanches ?

2026-06-05
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La salle blanche, également connue sous le nom de salle sans poussière, constitue le fondement du contrôle de la contamination.Conformément à la FED-STD-2, une salle blanche désigne un espace clos équipé d'un système de filtration de l'air, d'une distribution de l'air, d'une optimisation de la climatisation, de matériaux de construction spécialisés et d'appareils auxiliaires;des protocoles opérationnels normalisés sont mis en œuvre pour réguler la concentration de particules en suspension dans l'air afin de qualifier les niveaux de propreté requis..

Une salle blanche est un enclos spécialement conçu pour éliminer les contaminants atmosphériques, y compris les microparticules, les gaz dangereux et les bactéries, dans un espace défini.Il maintient avec précision les paramètres intérieurs tels que la température, la propreté, la pression statique, la vitesse et la disposition du débit d'air, le bruit, les vibrations, l'éclairage et l'électricité statique dans les plages cibles prédéfinies.Indépendamment des fluctuations des conditions de l'air extérieur, l'intérieur conserve toujours les spécifications de propreté, de température, d'humidité et de pression préétablies.

Sa fonction principale est de stabiliser la propreté, la température et l'humidité de l'air ambiant entourant les produits manufacturés comme les puces de silicium, permettant la production dans un environnement contrôlé favorable,à savoir la salle blanche.Selon les normes industrielles mondiales, la classification des salles blanches est quantifiée par le nombre de particules de taille excessive par mètre cube d'air.Le "sans poussière" ne signifie pas l'absence complète de poussière, mais limite la teneur en particules à un seuil extrêmement basCes particules autorisées sont beaucoup plus fines que la poussière ordinaire, mais même des traces de poussière peuvent gravement altérer la précision des composants optiques.Par conséquent, un environnement sans poussière est obligatoire pour la fabrication de produits optiques..

La norme internationale de classe A pour les salles blanches limite les particules inférieures à 0,5 μm à moins de 3 500 pièces par mètre cube.largement utilisés pour la fabrication de plaquettes haut de gammeAvec un nombre de particules plafonné à moins de 1 000 pièces par mètre cube, cette norme stricte est communément appelée classe 1K dans l'industrie.

Trois principaux domaines d'application des salles blanches

  1. Salle blanche en cours de construction
    Une salle blanche entièrement construite et prête à fonctionner avec tous les équipements de soutien et les systèmes fonctionnels, mais aucun équipement de traitement n'est installé à l'intérieur de l'espace.
  2. Salle blanche au repos
    Une salle blanche entièrement équipée, avec tous les équipements installés et calibrés pour un fonctionnement prévu ou en état de veille; aucun personnel d'exploitation n'est présent dans l'enceinte.
  3. Salle blanche opérationnelle
    Une salle blanche entièrement fonctionnelle en service régulier avec équipement de production installé et personnel de travail sur place, disponible pour toutes les opérations de fabrication de routine selon les besoins.
    Produits contrôlés
    1. Éliminer les particules en suspension flottant dans l'air ambiant
    2. Inhibent la production de nouveaux polluants par les particules
    3. Régulation précise de la température intérieure et de l'humidité relative
    4. Contrôle réglable du différentiel de pression statique intérieur
    5. Émission effective de polluants gazeux nocifs
    6. Veiller à l'étanchéité des structures et des cloisons des bâtiments
    7. Prévention et élimination de l'accumulation d'électricité statique
    8. Suppression des interférences électromagnétiques extérieures
    9. Conformité complète aux spécifications de sécurité du site
    10. Conception structurelle optimisée pour la conservation de l'énergie

    Trois types de flux d'air: le flux turbulent, le flux laminaire et le type mixte.

    1- Une salle blanche à flux turbulent.

    L'air frais passe par les unités de traitement de l'air, les conduits et les filtres HEPA intérieurs avant d'entrer dans la pièce; l'air retour est évacué par les parois latérales des cloisons ou les planchers d'accès surélevés.L'air circule irrégulièrement avec des tourbillons au lieu de voies droites, adapté aux normes de salle blanche de classe 1 000 à 100 000.
    Définition: Salle blanche avec un flux d'air d'approvisionnement inégal et non parallèle accompagné de courants de recirculation et de vortex.

    Principe de fonctionnement: les contaminants à l'intérieur sont continuellement dilués par l'air conditionné entrant pour atteindre le niveau de propreté visé, généralement conçu entre la classe 1000 et la classe 300.000.

    Caractéristiques: La propreté est réalisée par des changements d'air fréquents; des taux de changement d'air plus élevés donnent des niveaux de propreté supérieurs.

    (1) Temps de récupération: Durée de l'approvisionnement initial en air jusqu'à ce que la concentration de particules à l'intérieur atteigne le niveau de propreté prévu.
    • Classe 1,000: Maximum 20 min (calculé à 15 min)
    • Classe 10,000: Maximum 30 min (calculé à 25 min)
    • Classe 100,000: Maximum 40 min (calculé à 30 min)

      (2) Taux recommandés de changement d'air (par critère de récupération):
    • Classe 1,000: 43,5 à 55,3 fois/heure, valeur standard 50 fois/heure
    • Classe 10,000: 23,8 à 28,6 fois/heure, valeur standard 25 fois/heure
    • Classe 100,000:140,4 à 19,2 fois/heure, valeur standard 15 fois/heure
    Avantages: cadre simple, faible coût de construction et expansion facile de l'espace; peut être associé à des bancs propres pour améliorer la propreté locale.

    Inconvénients: la poussière en suspension reste piégée à l'intérieur par l'air turbulent et contaminera facilement les produits manufacturés; longue période de récupération pour retrouver la propreté après l'arrêt et le redémarrage du système.

    2Salle blanche à débit laminaire

    Les flux d'air sont uniformes et droits, le filtre couvrant le plafond entier fournit de l'air, l'air de retour est extrait par des sols surélevés ou des cloisons latérales.Cette conception s'adapte aux salles blanches de classe 1 à 100, divisés en deux catégories:

    (1) Flux laminaire horizontal

    L'air filtré souffle horizontalement vers les parois de retour opposées; les polluants s'accumulent fortement en aval.
    • Avantages: configuration simple et stabilisation opérationnelle rapide après démarrage.
    • Inconvénients: coût de construction plus élevé et flexibilité limitée d'expansion de la pièce.

    (2) Flux laminaire vertical

    L'ensemble du plafond est équipé de filtres ULPA permettant une diffusion de l'air de haut en bas.
    • Avantages: gestion quotidienne facile, stabilisation rapide de la propreté, perturbation minimale du personnel ou des activités de production.
    • Inconvénients: coût de construction élevé, faible souplesse de la disposition; cadres de suspension de plafond occupent de l'espace et entravent l'entretien du remplacement du filtre.

    3Salle blanche mixte

    Combine le flux d'air turbulent et laminaire pour créer des zones de production très propres.

    (1) Tunnel propre

    Les filtres HEPA/ULPA couvrent entièrement les zones de traitement pour atteindre la classe 10 ou supérieure, réduisant les coûts d'installation et de fonctionnement.largement adopté pour la production d'ULSI.
    • Avantages: augmentation flexible de la capacité et maintenance pratique des équipements hors ligne.

    (2) Tuyaux propres

    Enveloppe des lignes de production automatisées avec une purification dédiée pour atteindre une propreté de classe 100+. Isolement sépare les marchandises, les travailleurs et les environnements générateurs de poussière;faible consommation d'air économise de l'énergie, idéal pour une fabrication entièrement automatisée sans équipage.

    (3) Lieu propre (mini salle propre localisée)

    Améliorer les sections de production de base à l'intérieur des salles blanches turbulentes de classe 10 000 à 100 000 jusqu'à la classe 10 000 à 1000, y compris les bancs propres et les mini cabines propres:
    • Banque propre: classe 1 ~ classe 100.
    • Mini Clean Booth: Un espace clos compact enveloppé d'un PVC transparent antistatique à l'intérieur des salles blanches turbulentes, équipé d'unités indépendantes HEPA/ULPA et d'alimentation en air pour une propreté de classe 10 à 1000.À peu près 2.5m de haut, moins de 10m2 de couverture avec quatre jambes de support roulant pour un déplacement flexible.

    Note de base: Importance du débit d'air et contrôle de la vitesse du vent

    Un schéma précis du débit d'air et une régulation de la vitesse du vent dominent la stabilité de la propreté, déterminant directement l'efficacité de la dilution des particules, la durée d'auto-purification et la classification finale des salles blanches.