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Cos'è una camera bianca? Come vengono classificate le camere bianche?

2026-06-05
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La produzione di massa di componenti sensibili alla contaminazione non può essere realizzata senza strutture di stanza pulita.Come specificato nella FED-STD-2, una stanza pulita si riferisce a uno spazio chiuso dotato di filtraggio dell'aria, distribuzione dell'aria, ottimizzazione dell'aria condizionata, materiali di costruzione specializzati e apparecchi ausiliari;sono attuati protocolli operativi standardizzati per regolare la concentrazione di particolato nell'aria per qualificare i gradi di pulizia richiesti.

Una stanza pulita è un recinto appositamente progettato per eliminare i contaminanti presenti nell'aria, comprese le microparticelle, i gas pericolosi e i batteri, all'interno di uno spazio definito.Mantiene con precisione i parametri interni come la temperatura, pulizia, pressione statica, velocità e disposizione del flusso d'aria, rumore, vibrazioni, illuminazione ed elettricità statica entro i ranghi di destinazione prestabiliti.Indipendentemente dalle fluttuazioni delle condizioni ambientali dell'aria esterna, l'interno mantiene costantemente le specifiche di pulizia, temperatura, umidità e pressione predefinite.

La sua funzione fondamentale è quella di stabilizzare la pulizia, la temperatura e l'umidità dell'aria ambiente che circonda i prodotti fabbricati come i chip di silicio, consentendo la produzione in un ambiente favorevole controllato,vale a dire la stanza pulita.Secondo le norme industriali globali, la classificazione delle stanze pulite è quantificata dal numero di particelle di grandi dimensioni per metro cubo di aria.¢senza polvere ¢ non significa l'assenza completa di polvere, ma limita il contenuto di particolato a una soglia estremamente bassaTali particelle consentite sono molto più sottili della polvere ordinaria, ma anche tracce di polvere possono compromettere gravemente la precisione dei componenti ottici.L'ambiente privo di polvere è quindi obbligatorio per la produzione di prodotti ottici..

La norma internazionale per le stanze pulite di classe A limita le particelle inferiori a 0,5 μm a meno di 3.500 pezzi per metro cubo.ampiamente utilizzati per la produzione di wafer di fascia altaCon il numero di particelle limitato a meno di 1000 pezzi per metro cubo, questo rigoroso parametro è comunemente chiamato classe 1K in tutto il settore.

Tre principali applicazioni dei locali puliti

  1. Sala pulita in costruzione
    Una sala pulita completamente costruita e pronta al funzionamento, completa di tutti i servizi di supporto e sistemi funzionali, ma senza installare attrezzature di processo all'interno dello spazio.
  2. Sala pulita a riposo
    Una stanza pulita completamente attrezzata con tutte le attrezzature installate e calibrate per il funzionamento programmato o in standby; nessun personale operativo è presente all'interno dell'alloggio.
  3. Sala pulita operativa
    Una sala pulita completamente funzionante in servizio regolare con attrezzature di produzione installate e personale che lavora in loco, disponibile per tutte le operazioni di produzione di routine secondo necessità.
    Articoli controllati
    1. Rimuovere le polveri di particolato in sospensione che galleggiano nell'aria ambiente
    2. Inibire la generazione di nuovi contaminanti di particolato
    3. Regolamento preciso della temperatura interna e dell'umidità relativa
    4. Controllo regolabile del differenziale di pressione statico interno
    5. Esplosioni effettive di inquinanti gassosi nocivi
    6. Assicurare una tenuta stagna delle strutture e delle pareti divisorie degli edifici
    7. Prevenzione ed eliminazione dell'accumulo di elettricità statica
    8. Suppressione delle interferenze elettromagnetiche esterne
    9. Rispetto completo delle specifiche di sicurezza del sito
    10. Progettazione strutturale ottimizzata per il risparmio energetico

    Tre tipi di flusso d'aria: flusso turbolento, flusso laminare e tipo misto.

    1- Turbolenza del flusso.

    L'aria fresca passa attraverso le unità di trattamento dell'aria, i condotti e i filtri HEPA interni prima di entrare nella stanza; l'aria di ritorno scorre attraverso le pareti laterali delle partizioni o i pavimenti di accesso elevati.L'aria scorre in modo irregolare con vortici invece di percorsi dritti, adatto agli standard delle camere pulite di classe 1.000 ~ 100.000.
    Definizione: una stanza pulita con flusso d'aria di alimentazione irregolare e non parallelo accompagnato da correnti di ricircolazione e vortice.

    Principio di funzionamento: i contaminanti interni vengono continuamente diluiti dall'aria condizionata in entrata per raggiungere la pulizia obiettivo, generalmente progettata tra la classe 1000 e la classe 300;000.

    Caratteristiche: la pulizia si ottiene attraverso frequenti cambi d'aria; i tassi di cambi d'aria più elevati garantiscono gradi di pulizia superiori.

    (1) Tempo di recupero: la durata dall'apporto d'aria iniziale fino a quando la concentrazione di particelle all'interno raggiunge il livello di pulizia previsto.
    • Classe 1,000: Max 20 min (calcolato a 15 min)
    • Classe 10,000: Max 30 min (calcolato a 25 min)
    • Classe 100,000: Max 40 min (calcolato a 30 min)

      (2) Tassi raccomandati di variazione dell'aria (per criteri di recupero):
    • Classe 1,000: 43,5-55,3 volte/ora, valore standard 50 volte/ora
    • Classe 10,000: 23,8~28,6 volte/ora, valore standard 25 volte/ora
    • Classe 100,000:14.4~19,2 volte/ora, valore standard 15 volte/ora
    Vantaggi: struttura semplice, basso costo di costruzione e facile espansione dello spazio; può essere abbinato a banchi puliti per migliorare la pulizia locale.

    Svantaggi: la polvere sospesa rimane intrappolata all'interno per via dell'aria turbolenta e contamina facilmente i prodotti fabbricati; lungo periodo di recupero per riprendere la pulizia dopo l'arresto e il riavvio del sistema.

    2- Sala pulita di flusso laminare.

    I flussi d'aria in flussi uniformi e dritti, i filtri a copertura completa alimentano l'aria, con l'aria di ritorno estratta attraverso pavimenti rialzati o pareti laterali.Questo disegno si adatta alle stanze pulite di classe 1 ~ classe 100, suddivisi in due categorie:

    (1) Flusso laminare orizzontale

    L'aria filtrata soffia orizzontalmente verso le pareti di ritorno opposte; gli inquinanti si accumulano pesantemente nelle zone a valle.
    • Pro: semplice installazione e rapida stabilizzazione operativa dopo l'avvio.
    • Svantaggi: costi di costruzione più elevati e flessibilità limitata nell'espansione della stanza.

    (2) Flusso laminare verticale

    L'intero soffitto è dotato di filtri ULPA per la diffusione dell'aria dall'alto verso il basso.
    • Vantaggi: facile gestione quotidiana, rapida stabilizzazione della pulizia, minime perturbazioni da parte del personale o delle attività produttive.
    • Svantaggi: costi di costruzione elevati, scarsa flessibilità di layout; cornici sospese al soffitto occupano spazio e ostacolano la manutenzione della sostituzione del filtro.

    3. Sala pulita di tipo misto

    Combina il flusso d'aria turbolento e laminare per creare zone di produzione localizzate ultra pulite.

    (1) Galleria pulita

    I filtri HEPA/ULPA coprono completamente le aree di lavorazione per raggiungere la classe 10 o superiore, riducendo i costi di installazione e di funzionamento.ampiamente utilizzato per la produzione di ULSI.
    • Vantaggi: flessibile espansione della capacità e conveniente manutenzione delle apparecchiature offline.

    (2) Tubo pulito

    Include linee di produzione automatizzate con depurazione dedicata per raggiungere la pulizia di classe 100+. Isolamento separa merci, lavoratori e ambienti che generano polvere;basso consumo di aria consente di risparmiare energia, ideale per la produzione completamente automatizzata senza equipaggio.

    (3) Punto di pulizia (Mini-Cleanroom localizzato)

    Aggiornare le sezioni di produzione di base all'interno delle sale pulite turbolente di classe 10.000-100.000 fino a classe 10-1000, comprese le panche pulite e le mini cabine pulite:
    • Banchiera pulita: Classe 1 ~ Classe 100.
    • Mini Clean Booth: uno spazio chiuso compatto avvolto in PVC trasparente antistatico all'interno di ambienti puliti turbolenti, dotato di unità HEPA/ULPA e di approvvigionamento d'aria indipendenti per la pulizia di classe 10 ~ 1000.Circa le due..5m di altezza, sotto i 10m2 di copertura con quattro gambe di supporto di rotolamento per spostamento flessibile.

    Nota di base: Importanza del flusso d'aria e controllo della velocità del vento

    Un preciso modello di flusso d'aria e la regolazione della velocità del vento dominano la stabilità della pulizia, determinando direttamente l'efficienza di diluizione delle particelle, la durata dell'auto-purificazione e la classificazione finale delle stanze pulite.