Cos'è una camera bianca? Come vengono classificate le camere bianche?
2026-06-05
La produzione di massa di componenti sensibili alla contaminazione non può essere realizzata senza strutture di stanza pulita.Come specificato nella FED-STD-2, una stanza pulita si riferisce a uno spazio chiuso dotato di filtraggio dell'aria, distribuzione dell'aria, ottimizzazione dell'aria condizionata, materiali di costruzione specializzati e apparecchi ausiliari;sono attuati protocolli operativi standardizzati per regolare la concentrazione di particolato nell'aria per qualificare i gradi di pulizia richiesti.
Una stanza pulita è un recinto appositamente progettato per eliminare i contaminanti presenti nell'aria, comprese le microparticelle, i gas pericolosi e i batteri, all'interno di uno spazio definito.Mantiene con precisione i parametri interni come la temperatura, pulizia, pressione statica, velocità e disposizione del flusso d'aria, rumore, vibrazioni, illuminazione ed elettricità statica entro i ranghi di destinazione prestabiliti.Indipendentemente dalle fluttuazioni delle condizioni ambientali dell'aria esterna, l'interno mantiene costantemente le specifiche di pulizia, temperatura, umidità e pressione predefinite.
La sua funzione fondamentale è quella di stabilizzare la pulizia, la temperatura e l'umidità dell'aria ambiente che circonda i prodotti fabbricati come i chip di silicio, consentendo la produzione in un ambiente favorevole controllato,vale a dire la stanza pulita.Secondo le norme industriali globali, la classificazione delle stanze pulite è quantificata dal numero di particelle di grandi dimensioni per metro cubo di aria.¢senza polvere ¢ non significa l'assenza completa di polvere, ma limita il contenuto di particolato a una soglia estremamente bassaTali particelle consentite sono molto più sottili della polvere ordinaria, ma anche tracce di polvere possono compromettere gravemente la precisione dei componenti ottici.L'ambiente privo di polvere è quindi obbligatorio per la produzione di prodotti ottici..
La norma internazionale per le stanze pulite di classe A limita le particelle inferiori a 0,5 μm a meno di 3.500 pezzi per metro cubo.ampiamente utilizzati per la produzione di wafer di fascia altaCon il numero di particelle limitato a meno di 1000 pezzi per metro cubo, questo rigoroso parametro è comunemente chiamato classe 1K in tutto il settore.
Tre principali applicazioni dei locali puliti
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Sala pulita in costruzioneUna sala pulita completamente costruita e pronta al funzionamento, completa di tutti i servizi di supporto e sistemi funzionali, ma senza installare attrezzature di processo all'interno dello spazio.
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Sala pulita a riposoUna stanza pulita completamente attrezzata con tutte le attrezzature installate e calibrate per il funzionamento programmato o in standby; nessun personale operativo è presente all'interno dell'alloggio.
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Sala pulita operativaUna sala pulita completamente funzionante in servizio regolare con attrezzature di produzione installate e personale che lavora in loco, disponibile per tutte le operazioni di produzione di routine secondo necessità.Articoli controllati
- Rimuovere le polveri di particolato in sospensione che galleggiano nell'aria ambiente
- Inibire la generazione di nuovi contaminanti di particolato
- Regolamento preciso della temperatura interna e dell'umidità relativa
- Controllo regolabile del differenziale di pressione statico interno
- Esplosioni effettive di inquinanti gassosi nocivi
- Assicurare una tenuta stagna delle strutture e delle pareti divisorie degli edifici
- Prevenzione ed eliminazione dell'accumulo di elettricità statica
- Suppressione delle interferenze elettromagnetiche esterne
- Rispetto completo delle specifiche di sicurezza del sito
- Progettazione strutturale ottimizzata per il risparmio energetico
Tre tipi di flusso d'aria: flusso turbolento, flusso laminare e tipo misto.
1- Turbolenza del flusso.
L'aria fresca passa attraverso le unità di trattamento dell'aria, i condotti e i filtri HEPA interni prima di entrare nella stanza; l'aria di ritorno scorre attraverso le pareti laterali delle partizioni o i pavimenti di accesso elevati.L'aria scorre in modo irregolare con vortici invece di percorsi dritti, adatto agli standard delle camere pulite di classe 1.000 ~ 100.000.Definizione: una stanza pulita con flusso d'aria di alimentazione irregolare e non parallelo accompagnato da correnti di ricircolazione e vortice.Principio di funzionamento: i contaminanti interni vengono continuamente diluiti dall'aria condizionata in entrata per raggiungere la pulizia obiettivo, generalmente progettata tra la classe 1000 e la classe 300;000.Caratteristiche: la pulizia si ottiene attraverso frequenti cambi d'aria; i tassi di cambi d'aria più elevati garantiscono gradi di pulizia superiori.(1) Tempo di recupero: la durata dall'apporto d'aria iniziale fino a quando la concentrazione di particelle all'interno raggiunge il livello di pulizia previsto.- Classe 1,000: Max 20 min (calcolato a 15 min)
- Classe 10,000: Max 30 min (calcolato a 25 min)
- Classe 100,000: Max 40 min (calcolato a 30 min)
(2) Tassi raccomandati di variazione dell'aria (per criteri di recupero):
- Classe 1,000: 43,5-55,3 volte/ora, valore standard 50 volte/ora
- Classe 10,000: 23,8~28,6 volte/ora, valore standard 25 volte/ora
- Classe 100,000:14.4~19,2 volte/ora, valore standard 15 volte/ora
Vantaggi: struttura semplice, basso costo di costruzione e facile espansione dello spazio; può essere abbinato a banchi puliti per migliorare la pulizia locale.Svantaggi: la polvere sospesa rimane intrappolata all'interno per via dell'aria turbolenta e contamina facilmente i prodotti fabbricati; lungo periodo di recupero per riprendere la pulizia dopo l'arresto e il riavvio del sistema.2- Sala pulita di flusso laminare.
I flussi d'aria in flussi uniformi e dritti, i filtri a copertura completa alimentano l'aria, con l'aria di ritorno estratta attraverso pavimenti rialzati o pareti laterali.Questo disegno si adatta alle stanze pulite di classe 1 ~ classe 100, suddivisi in due categorie:(1) Flusso laminare orizzontale
L'aria filtrata soffia orizzontalmente verso le pareti di ritorno opposte; gli inquinanti si accumulano pesantemente nelle zone a valle.- Pro: semplice installazione e rapida stabilizzazione operativa dopo l'avvio.
- Svantaggi: costi di costruzione più elevati e flessibilità limitata nell'espansione della stanza.
(2) Flusso laminare verticale
L'intero soffitto è dotato di filtri ULPA per la diffusione dell'aria dall'alto verso il basso.- Vantaggi: facile gestione quotidiana, rapida stabilizzazione della pulizia, minime perturbazioni da parte del personale o delle attività produttive.
- Svantaggi: costi di costruzione elevati, scarsa flessibilità di layout; cornici sospese al soffitto occupano spazio e ostacolano la manutenzione della sostituzione del filtro.
3. Sala pulita di tipo misto
Combina il flusso d'aria turbolento e laminare per creare zone di produzione localizzate ultra pulite.(1) Galleria pulita
I filtri HEPA/ULPA coprono completamente le aree di lavorazione per raggiungere la classe 10 o superiore, riducendo i costi di installazione e di funzionamento.ampiamente utilizzato per la produzione di ULSI.- Vantaggi: flessibile espansione della capacità e conveniente manutenzione delle apparecchiature offline.
(2) Tubo pulito
Include linee di produzione automatizzate con depurazione dedicata per raggiungere la pulizia di classe 100+. Isolamento separa merci, lavoratori e ambienti che generano polvere;basso consumo di aria consente di risparmiare energia, ideale per la produzione completamente automatizzata senza equipaggio.(3) Punto di pulizia (Mini-Cleanroom localizzato)
Aggiornare le sezioni di produzione di base all'interno delle sale pulite turbolente di classe 10.000-100.000 fino a classe 10-1000, comprese le panche pulite e le mini cabine pulite:- Banchiera pulita: Classe 1 ~ Classe 100.
- Mini Clean Booth: uno spazio chiuso compatto avvolto in PVC trasparente antistatico all'interno di ambienti puliti turbolenti, dotato di unità HEPA/ULPA e di approvvigionamento d'aria indipendenti per la pulizia di classe 10 ~ 1000.Circa le due..5m di altezza, sotto i 10m2 di copertura con quattro gambe di supporto di rotolamento per spostamento flessibile.
Nota di base: Importanza del flusso d'aria e controllo della velocità del vento
Un preciso modello di flusso d'aria e la regolazione della velocità del vento dominano la stabilità della pulizia, determinando direttamente l'efficienza di diluizione delle particelle, la durata dell'auto-purificazione e la classificazione finale delle stanze pulite.