Что такое чистый кабинет?
2026-06-05
Чистая комната, также известная как свободная от пыли комната, является основой контроля загрязнения.Как указано в FED-STD-2Чистая комната - это закрытое пространство, оборудованное фильтрацией воздуха, распределением воздуха, оптимизацией кондиционирования воздуха, специализированными строительными материалами и вспомогательными приспособлениями.внедряются стандартизированные операционные протоколы для регулирования концентрации воздушных частиц для квалификации требуемых уровней чистоты;.
Чистая комната - это специально разработанное помещение, которое устраняет загрязняющие вещества в воздухе, включая микрочастицы, опасные газы и бактерии в пределах определенного пространства.Он точно поддерживает внутренние параметры, такие как температура., чистота, статическое давление, скорость и расположение воздушного потока, шум, вибрация, освещение и статическое электричество в пределах заданных целевых диапазонов.Независимо от колебаний условий окружающего наружного воздуха, интерьер постоянно сохраняет заранее установленные характеристики чистоты, температуры, влажности и давления.
Ее основная функция - стабилизация чистоты, температуры и влажности окружающего воздуха, окружающих изготовленные товары, такие как кремниевые чипы, что позволяет производить в контролируемой благоприятной среде,То есть в чистой комнате.Согласно мировым промышленным нормам, классификация чистых помещений определяется количеством перегруженных частиц на кубический метр воздуха."Без пыли" не означает полного отсутствия пыли, но ограничивает содержание частиц до крайне низкого порогового значения.Такие разрешенные частицы намного тонче обычной пыли, но даже следы пыли могут серьезно ухудшить точность оптических компонентов.Поэтому для производства оптических изделий обязательна свободная от пыли среда..
Международный стандарт класса A для чистых помещений ограничивает количество частиц ниже 0,5 мкм до менее 3500 штук на кубический метр.широко применяется для производства высококачественных пластинС учетом количества частиц, ограниченных в пределах 1000 штук на кубический метр, этот строгий критерий обычно называют классом 1K по всей отрасли.
Три основных вида применения чистых помещений
-
Чистая комнатаПолностью построенный и готовый к эксплуатации объект чистой комнаты со всеми вспомогательными средствами и функциональными системами, но внутри пространства не установлено никакого технологического оборудования.
-
Чистая комната в состоянии покояПолностью оборудованная чистая комната со всем оборудованием, установленным и калиброванным для плановой работы или в режиме ожидания; в помещении не присутствует эксплуатационный персонал.
-
Операционная чистая комнатаПолностью функциональная чистая комната с установленным производственным оборудованием и рабочим персоналом на месте, доступным для выполнения рутинных производственных операций по мере необходимости.Контролируемые товары
- Удаление частиц пыли, плавающих в воздухе
- Ингибируют образование новых загрязняющих частиц
- Точное регулирование температуры в помещении и относительной влажности
- Регулируемое регулирование дифференциала статического давления в помещении
- Эффективные выбросы вредных газообразных загрязнителей
- Обеспечить герметичность конструкций зданий и перегородок
- Предотвращение и устранение накопления статического электричества
- Устранение внешних электромагнитных помех
- Всестороннее соблюдение спецификаций безопасности на объекте
- Оптимизированное конструктивное проектирование для энергосбережения
Три типа воздушного потока: турбулентный, ламинарный и смешанный.
1. Турбулентный поток Чистая комната
Свежий воздух проходит через воздухообменные установки, канализацию и внутренние фильтры HEPA перед входом в помещение; возвращение воздуха через боковые стены перегородки или поднятый подвал доступа.Воздух течет нерегулярно с вихрями вместо прямых путей, подходящий для стандартов чистых помещений класса 1000 ~ 100 000.Определение: Чистая комната с неравномерным, непараллельным притоком воздуха, сопровождаемым рециркуляцией и вихревыми потоками.Рабочий принцип: загрязняющие вещества внутри помещений постоянно разбавляются поступающим кондиционированным воздухом для достижения целевой чистоты, обычно рассчитанной между классом 1000 и классом 300.000.Особенности: Чистота достигается за счет частого перемещения воздуха; более высокие показатели перемещения воздуха обеспечивают более высокие показатели чистоты.(1) Время восстановления: время от первоначального подачи воздуха до достижения концентрации частиц в помещении установленной чистоты.- Класс 1,000: максимум 20 мин (расчет 15 мин)
- Класс 10,000: максимум 30 мин (расчет 25 мин)
- Класс 100,000: максимум 40 мин (расчет 30 мин)
(2) Рекомендуемые скорости изменения воздуха (по критериям восстановления):
- Класс 1,000: 43,5-55,3 раза в час, стандартное значение 50 раз в час
- Класс 10,000: 23,8 ~ 28,6 раз в час, стандартное значение 25 раз в час
- Класс 100,000:14.4 ~ 19,2 раза в час, стандартное значение 15 раз в час
Преимущества: Простая конструкция, низкая стоимость строительства и легкое расширение пространства; может сочетаться с чистыми скамейками для улучшения местной чистоты.Недостатки: Воздух, находящийся в воздухе, удерживает пыль в помещении и легко загрязняет изготовленные товары; длительный период восстановления после отключения и перезагрузки системы.2Чистая комната с ламинарным потоком
Поток воздуха в равномерных прямых потоках. Полный потолок фильтра питает воздух, а возвращающийся воздух извлекается через поднятые полы или боковые перегородки.Эта конструкция подходит для высококачественных чистых комнат класса 1 ~ класса 100, разделенные на две категории:(1) Горизонтальный ламинарный поток
Фильтрованный воздух дует горизонтально в сторону противоположных стенок возврата; загрязняющие вещества в значительной степени накапливаются в низовьях.- Плюсы: простая установка и быстрая стабилизация после запуска.
- Минусы: более высокая стоимость строительства и ограниченная гибкость расширения помещения.
(2) Вертикальный ламинарный поток
Весь потолок оборудован фильтрами ULPA для подачи воздуха сверху вниз.- Плюсы: легкое ежедневное управление, быстрая стабилизация чистоты, минимальное беспокойство со стороны персонала или производственной деятельности.
- Минусы: высокие затраты на строительство, плохая гибкость планировки; подвесные рамы для потолка занимают пространство и затрудняют обслуживание замены фильтра.
3Смешанный тип чистой комнаты
Сочетает турбулентный и ламинарный воздушный поток для создания сверхчистых локальных производственных зон.(1) Чистый тоннель
HEPA/ULPA фильтры полностью покрывают обрабатывающие зоны, чтобы достичь класса 10 или выше, сокращая затраты на установку и эксплуатацию. Рабочие зоны изолированы от зон обслуживания оборудования, чтобы избежать перекрестного загрязнения,широко используется для производства ULSI.- Преимущества: гибкое расширение мощностей и удобное обслуживание оборудования в автономном режиме.
(2) Чистая трубка
Ограждает автоматизированные производственные линии с специальной очисткой для достижения чистоты класса 100+. Изоляция отделяет товары, работников и окружающую среду, производящую пыль;низкое потребление воздуха экономит энергию, идеально подходит для полностью беспилотного автоматизированного производства.(3) Чистое место (местная мини-чистая комната)
Усовершенствовать основные производственные секции в турбулентных чистых помещениях класса 10 000 ~ 100 000 до класса 10 ~ 1000, включая чистые скамейки и мини-чистые кабины:- Чистая скамейка: класс 1 ~ класс 100.
- Mini Clean Booth: компактное закрытое пространство, обернутое антистатическим прозрачным ПВХ внутри турбулентных чистых помещений, оснащенное независимыми блоками HEPA/ULPA и подачи воздуха для чистоты класса 10 ~ 1000.Около 2.Высотой 0,5 м, площадью менее 10 м2 с четырьмя подвижными ногами для гибкого перемещения.
Основная записка: Значение воздушного потока и контроль скорости ветра
Точная схема воздушного потока и регулирование скорости ветра доминируют в стабильности чистоты, непосредственно определяя эффективность разбавления частиц, продолжительность самоочистки и окончательную классификацию чистой комнаты.