ห้องสะอาดคืออะไร? ห้องสะอาดจัดอันดับอย่างไร?

สถานะการใช้งานหลักสามประการของห้องคลีนรูม

1. ห้องคลีนรูมที่สร้างขึ้น

   ห้องคลีนรูมที่สร้างขึ้นอย่างเต็มรูปแบบและพร้อมใช้งาน พร้อมด้วยสาธารณูปโภคและระบบการทำงานที่รองรับทั้งหมด แต่ไม่มีการติดตั้งอุปกรณ์ในกระบวนการผลิตภายในพื้นที่
2. ห้องคลีนรูมขณะพัก

   ห้องสะอาดที่ติดตั้งอุปกรณ์ครบครันพร้อมอุปกรณ์ทั้งหมดที่ติดตั้งและสอบเทียบสำหรับการทำงานตามกำหนดเวลาหรืออยู่ในสถานะสแตนด์บาย ไม่มีเจ้าหน้าที่ปฏิบัติการอยู่ภายในตู้
3. ห้องคลีนรูมปฏิบัติการ
   ห้องคลีนรูมที่มีฟังก์ชันครบครันพร้อมบริการตามปกติพร้อมอุปกรณ์การผลิตที่ติดตั้งและพนักงานที่ทำงานนอกสถานที่ พร้อมให้บริการสำหรับการดำเนินการผลิตตามปกติเต็มรูปแบบตามที่ต้องการ
   รายการที่ถูกควบคุม
   1. กำจัดฝุ่นละอองแขวนลอยที่ลอยอยู่ในอากาศโดยรอบ
   2. ยับยั้งการเกิดอนุภาคปนเปื้อนใหม่ๆ
   3. การควบคุมอุณหภูมิภายในอาคารและความชื้นสัมพัทธ์ที่แม่นยำ
   4. การควบคุมส่วนต่างแรงดันคงที่ในร่มที่ปรับได้
   5. ไอเสียที่มีประสิทธิภาพของมลพิษก๊าซที่เป็นอันตราย
   6. ตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีการปิดผนึกสุญญากาศสำหรับโครงสร้างอาคารและฉากกั้น
   7. การป้องกันและกำจัดการสะสมของไฟฟ้าสถิต
   8. การปราบปรามการรบกวนทางแม่เหล็กไฟฟ้าภายนอก
   9. การปฏิบัติตามข้อกำหนดด้านความปลอดภัยของสถานที่อย่างครอบคลุม
   10. การออกแบบโครงสร้างที่เหมาะสมที่สุดเพื่อการอนุรักษ์พลังงาน

   การไหลของอากาศสามประเภท: การไหลแบบปั่นป่วน, การไหลแบบราบเรียบ และแบบผสม | ความสำคัญของปัจจัยควบคุมการไหลของอากาศและความเร็วลม

   1. ห้องสะอาดไหลเชี่ยว

   อากาศบริสุทธิ์จะไหลผ่านหน่วยจัดการอากาศ ท่อ และตัวกรอง HEPA ในร่มก่อนเข้าห้อง ระบายอากาศกลับผ่านผนังด้านข้างฉากกั้นหรือพื้นทางเข้าแบบยกสูง อากาศไหลไม่สม่ำเสมอด้วยกระแสน้ำวนแทนที่จะเป็นทางตรง เหมาะสำหรับมาตรฐานห้องคลีนรูมคลาส 1,000 ~ 100,000

   คำจำกัดความ: ห้องปลอดเชื้อที่มีการไหลเวียนของอากาศที่ไม่สม่ำเสมอและไม่ขนานกัน พร้อมด้วยกระแสหมุนเวียนและกระแสน้ำวน

   
   

   หลักการทำงาน: สารปนเปื้อนภายในอาคารจะถูกเจือจางอย่างต่อเนื่องโดยอากาศปรับอากาศที่เข้ามาเพื่อให้ได้ความสะอาดตามเป้าหมาย ซึ่งออกแบบโดยทั่วไประหว่างคลาส 1,000 และคลาส 300,000

   
   

   คุณสมบัติ: ความสะอาดเกิดขึ้นได้จากการเปลี่ยนอากาศบ่อยครั้ง อัตราการเปลี่ยนแปลงอากาศที่สูงขึ้นทำให้ได้เกรดความสะอาดที่เหนือกว่า

   
   

   (1) เวลาฟื้นตัว: ระยะเวลาตั้งแต่การจ่ายอากาศเริ่มแรกจนถึงความเข้มข้นของอนุภาคภายในถึงความสะอาดที่ออกแบบไว้

   • คลาส 1,000: สูงสุด 20 นาที (คำนวณที่ 15 นาที)
   • คลาส 10,000: สูงสุด 30 นาที (คำนวณที่ 25 นาที)
   • คลาส 100,000: สูงสุด 40 นาที (คำนวณที่ 30 นาที)
     
     
     (2) อัตราการเปลี่ยนแปลงอากาศที่แนะนำ (ตามเกณฑ์การกู้คืน):
   • คลาส 1,000: 43.5~55.3 ครั้ง/ชั่วโมง ค่ามาตรฐาน 50 ครั้ง/ชั่วโมง
   • คลาส 10,000: 23.8~28.6 ครั้ง/ชั่วโมง ค่ามาตรฐาน 25 ครั้ง/ชั่วโมง
   • คลาส 100,000:14.4~19.2 ครั้ง/ชั่วโมง ค่ามาตรฐาน 15 ครั้ง/ชั่วโมง

   ข้อดี: โครงสร้างที่เรียบง่าย ต้นทุนการก่อสร้างต่ำ และการขยายพื้นที่ได้ง่าย สามารถจับคู่กับม้านั่งที่สะอาดเพื่อยกระดับความสะอาดในท้องถิ่น

   
   

   ข้อเสีย: ฝุ่นที่ถูกแขวนลอยจะติดอยู่ภายในอาคารด้วยอากาศปั่นป่วนและปนเปื้อนสินค้าที่ผลิตได้ง่าย ระยะเวลาการฟื้นตัวที่ยาวนานเพื่อฟื้นความสะอาดหลังจากปิดระบบและรีสตาร์ท

   2. ห้องคลีนรูมลามินาร์โฟลว์

   อากาศไหลเป็นแนวตรงสม่ำเสมอ ตัวกรองที่ครอบคลุมเพดานเต็มจะจ่ายอากาศเข้า โดยดูดอากาศกลับผ่านพื้นยกสูงหรือฉากกั้นด้านข้าง การออกแบบนี้เหมาะกับห้องคลีนรูมคุณภาพสูงคลาส 1~คลาส 100 โดยแบ่งออกเป็นสองประเภท:

   (1) การไหลแบบราบเรียบแนวนอน

   อากาศที่กรองจะพัดในแนวนอนไปยังผนังด้านตรงข้าม มลพิษสะสมอย่างมากในพื้นที่ท้ายน้ำ

   • ข้อดี: ติดตั้งง่ายและมีเสถียรภาพในการทำงานที่รวดเร็วหลังสตาร์ทเครื่อง
   • จุดด้อย: ต้นทุนการก่อสร้างที่สูงขึ้นและความยืดหยุ่นในการขยายห้องที่จำกัด

   (2) การไหลแบบลามินาร์ในแนวตั้ง

   เพดานทั้งหมดมีแผ่นกรอง ULPA เพื่อส่งอากาศจากบนลงล่าง ฝุ่นจากอุปกรณ์หรือผู้ปฏิบัติงานจะถูกระบายออกอย่างรวดเร็วโดยไม่มีการปนเปื้อนข้ามโซนการทำงานแยกกัน

   • ข้อดี: การจัดการรายวันที่ง่ายดาย การรักษาความสะอาดอย่างรวดเร็ว การรบกวนจากพนักงานหรือกิจกรรมการผลิตน้อยที่สุด
   • จุดด้อย: ค่าใช้จ่ายในการก่อสร้างสูง ความยืดหยุ่นในการจัดวางไม่ดี โครงแขวนเพดานใช้พื้นที่และขัดขวางการบำรุงรักษาการเปลี่ยนตัวกรอง

   3. ห้องคลีนรูมแบบผสม

   ผสมผสานการไหลเวียนของอากาศแบบปั่นป่วนและแบบราบเรียบเพื่อสร้างโซนการผลิตเฉพาะจุดที่มีความสะอาดเป็นพิเศษ

   (1) ทำความสะอาดอุโมงค์

   ตัวกรอง HEPA/ULPA ครอบคลุมพื้นที่การประมวลผลจนถึงคลาส 10 หรือสูงกว่าโดยสมบูรณ์ ช่วยลดต้นทุนการตั้งค่าและการดำเนินการ พื้นที่ทำงานถูกแยกออกจากโซนการบำรุงรักษาอุปกรณ์เพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนข้าม ซึ่งนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการผลิต ULSI

   • ข้อดี: การขยายกำลังการผลิตที่ยืดหยุ่นและการบำรุงรักษาอุปกรณ์ออฟไลน์ที่สะดวกสบาย

   (2) ทำความสะอาดท่อ

   ล้อมรอบสายการผลิตอัตโนมัติพร้อมการทำให้บริสุทธิ์โดยเฉพาะเพื่อให้ได้ความสะอาดระดับ 100+ การแยกออกจากกันแยกสินค้า คนงาน และสภาพแวดล้อมที่ก่อให้เกิดฝุ่น การใช้อากาศต่ำช่วยประหยัดพลังงาน เหมาะสำหรับการผลิตอัตโนมัติแบบไร้คนควบคุม

   (3) Clean Spot (คลีนรูมขนาดเล็กเฉพาะที่)

   อัปเกรดส่วนการผลิตหลักภายในห้องคลีนรูมปั่นป่วนระดับ 10,000~100,000 เป็นคลาส 10~1000 รวมถึงม้านั่งทำความสะอาดและบูธทำความสะอาดขนาดเล็ก:

   • ม้านั่งทำความสะอาด: ระดับ Class1~Class100
   • Mini Clean Booth: พื้นที่ปิดขนาดกะทัดรัดที่ห่อหุ้มด้วย PVC โปร่งใสป้องกันไฟฟ้าสถิตภายในห้องปลอดเชื้อที่มีความวุ่นวาย พร้อมด้วย HEPA/ULPA อิสระและหน่วยจ่ายอากาศเพื่อความสะอาดระดับ 10~1000 สูงประมาณ 2.5 ม. ครอบคลุมพื้นที่ไม่ถึง 10 ตร.ม. พร้อมขารองรับแบบกลิ้ง 4 ขาเพื่อการเคลื่อนย้ายที่ยืดหยุ่น

   หมายเหตุหลัก: ความสำคัญของการไหลของอากาศและการควบคุมความเร็วลม

   รูปแบบการไหลของอากาศที่แม่นยำและการควบคุมความเร็วลมครองเสถียรภาพด้านความสะอาด โดยกำหนดประสิทธิภาพการเจือจางอนุภาคโดยตรง ระยะเวลาการทำให้บริสุทธิ์ในตัวเอง และการจำแนกประเภทห้องคลีนรูมขั้นสุดท้าย