logo
spandoek spandoek
Bloggegevens

Wat is een cleanroom? Hoe worden cleanrooms geclassificeerd?

2026-06-05
Latest company news about Wat is een cleanroom? Hoe worden cleanrooms geclassificeerd?
Een Clean Room, ook bekend als stofvrije ruimte, vormt de basis van de verontreinigingsbeheersing.Zoals gespecificeerd in FED-STD-2Een cleanroom is een afgesloten ruimte die is uitgerust met luchtfiltratie, luchtdistributie, optimalisatie van de airconditioning, gespecialiseerde bouwmaterialen en hulpmiddelen.er worden gestandaardiseerde operationele protocollen geïmplementeerd om de concentratie van deeltjes in de lucht te regelen voor het kwalificeren van de vereiste schoonheidsgraden.

Een cleanroom is een speciaal ontworpen behuizing die luchtverontreinigende stoffen, waaronder microdeeltjes, gevaarlijk gas en bacteriën, verwijdert binnen een gedefinieerde ruimte.Het handhaaft met precisie binnenparameters zoals temperatuur., schoonheid, statische druk, luchtstroom snelheid en lay-out, geluid, trillingen, verlichting en statische elektriciteit binnen vooraf ingestelde streefbereiken.Ongeacht de schommelingen in de buitenluchtomstandigheden, behoudt het interieur altijd vooraf ingestelde specificaties voor schoonheid, temperatuur, vochtigheid en druk.

De kernfunctie is het stabiliseren van de schoonheid, temperatuur en vochtigheid van de omringende lucht rondom geproduceerde producten zoals siliciumchips, waardoor de productie in een gecontroleerde gunstige omgeving mogelijk wordt,De schoonkamer.Volgens de wereldwijde industriële normen wordt de classificatie van cleanrooms gekwantificeerd door het aantal overgrote deeltjes per kubieke meter lucht.“stofvrij” betekent niet volledige afwezigheid van stof, maar beperkt het deeltjesgehalte tot een extreem lage drempelDeze toegestane deeltjes zijn veel fijner dan gewoon stof, maar zelfs sporen van stof kunnen de nauwkeurigheid van optische componenten ernstig verminderen.Daarom is een stofvrije omgeving verplicht voor de productie van optische producten..

De internationale standaard voor schoonruimtes van klasse A beperkt deeltjes onder 0,5 μm tot minder dan 3500 stuks per kubieke meter.veel gebruikt voor de vervaardiging van hoogwaardige wafersMet de hoeveelheid deeltjes beperkt tot minder dan 1000 stuks per kubieke meter, wordt deze strikte maatstaf doorgaans in de industrie Class 1K genoemd.

Drie belangrijkste toepassingsgebieden van schoonruimtes

  1. Nieuwe schoonruimte
    Een volledig geconstrueerde en klaar voor gebruik cleanroom faciliteit met alle ondersteunende nutsvoorzieningen en functionele systemen, maar er is geen procesapparatuur geïnstalleerd in de ruimte.
  2. Ruimte van de reiniging
    Een volledig uitgeruste schoonruimte met alle apparatuur die is geïnstalleerd en gekalibreerd voor geplande werking of in stand-by-status; er is geen exploitatiepersoneel aanwezig in de ruimte.
  3. Operationeel schoonruimte
    Een volledig functionele cleanroom in regelmatige dienst met geïnstalleerde productieapparatuur en personeel ter plaatse, beschikbaar voor volledige routineproductiewerkzaamheden indien nodig.
    Beheerde stoffen
    1. Verwijder in de omgeving zwevend stof met deeltjes
    2. Het remmen van de opwekking van nieuwe verontreinigende deeltjes
    3. Precieze regulering van binnentemperatuur en relatieve luchtvochtigheid
    4. Verstelbare bediening van het interne statische drukverschil
    5. Effectieve uitlaat van schadelijke gasvormige verontreinigende stoffen
    6. Zorg voor luchtdichte afdichting van gebouwconstructies en afschermingen
    7. Voorkoming en eliminatie van de ophoping van statische elektriciteit
    8. Onderdrukking van externe elektromagnetische interferentie
    9. Alomvattende naleving van de veiligheidsspecificaties van de locatie
    10. Geoptimaliseerd structuurontwerp voor energiebesparing

    Drie luchtstroomtypen: turbulente stroom, laminaire stroom en gemengde stroom.

    1Turbulente stroom Schoonkamer

    Vers lucht gaat door luchtbehandelingseenheden, leidingen en HEPA-filters voor binnenkomen in de ruimte; teruglucht gaat via afschermingszijdewanden of verhoogde toegangsplaten.Lucht stroomt onregelmatig met wervelingen in plaats van rechte paden, geschikt voor klasse 1000 ~ 100.000 cleanroom normen.
    Definitie: een cleanroom met een ongelijke, niet-parallell toevoerluchtstroom, vergezeld van recirculatie- en vortexstromen.

    Werkingsbeginsel: Verontreinigende stoffen binnen worden doorlopend verdund door inkomende airconditioning om de beoogde zuiverheid te bereiken, die gewoonlijk tussen klasse 1000 en klasse 300 is ontworpen.000.

    Kenmerken: Schoonheid wordt gerealiseerd door frequente luchtveranderingen; hogere luchtveranderingspercentages leveren een superieure schoonheid op.

    (1) Hersteltijd: Duur vanaf de eerste luchttoevoer tot de binnenshuisdeeltjesconcentratie de voorgeschreven schoonheid bereikt.
    • Klasse 1,000: Maximaal 20 min (berekend op 15 min)
    • Klasse 10,000: Maximaal 30 min (berekend op 25 min)
    • Klasse 100,000: Maximaal 40 min (berekend op 30 min)

      (2) Aanbevolen luchtveranderingspercentages (per herstelcriterium):
    • Klasse 1,000: 43,5 tot 55,3 keer per uur, standaardwaarde 50 keer per uur
    • Klasse 10,000: 23,8 tot 28,6 keer per uur, standaardwaarde 25 keer per uur
    • Klasse 100,000:14.4~19.2 keer per uur, standaardwaarde 15 keer per uur
    Voordelen: Eenvoudige structuur, lage bouwkosten en gemakkelijke uitbreiding van de ruimte; kan worden gecombineerd met schone banken om de lokale schoonheid te verbeteren.

    Nadelen: Slopend stof blijft vastzitten in de binnenruimte door turbulente lucht en verontreinigt gemakkelijk geproduceerde goederen; lange herstelperiode om na het uitschakelen en opnieuw opstarten van het systeem weer schoon te worden.

    2Laminar Flow Cleanroom

    De lucht stroomt in een gelijkmatige rechte stroming.Dit ontwerp past bij hoogwaardige Class 1~Class 100 cleanrooms, verdeeld in twee categorieën:

    (1) Horizontale laminaire stroom

    Gefilterde lucht waait horizontaal naar tegenovergestelde terugkeerwanden; verontreinigende stoffen verzamelen zich zwaar op stroomafwaarts.
    • Voordelen: Eenvoudige installatie en snelle operationele stabilisatie na opstarten.
    • Nadelen: Hogere bouwkosten en beperkte flexibiliteit bij de uitbreiding van de ruimte.

    (2) Verticale laminaire stroom

    Het hele plafond is voorzien van ULPA-filters voor luchttoevoer van boven naar beneden.
    • Voordelen: Gemakkelijk dagelijks beheer, snelle stabilisatie van de schoonheid, minimale verstoring door personeel of productieactiviteiten.
    • Nadelen: Hoge bouwkosten, slechte flexibiliteit van de lay-out; plafondophangingsframes nemen ruimte in beslag en belemmeren het onderhoud van filtervervanging.

    3. Gemengd type schoonkamer

    Combineert turbulente en laminaire luchtstroom om ultra-schoon lokale productie zones te creëren.

    (1) Schone tunnel

    HEPA/ULPA-filters dekken volledig verwerkingsgebieden tot een klasse 10 of hoger, waardoor de installatie- en exploitatiekosten worden verlaagd.algemeen gebruikt voor de productie van ULSI.
    • Voordelen: Flexibele uitbreiding van de capaciteit en gemakkelijk onderhoud van offline apparatuur.

    (2) Schone buis

    Het sluit geautomatiseerde productielijnen met speciale zuivering om een schoonheid van klasse 100+ te bereiken.laag luchtverbruik bespaart energie, ideaal voor volledig onbemande geautomatiseerde productie.

    (3) Clean Spot (Lokale kleine schoonkamer)

    Verbetering van de kernproductieonderdelen in de turbulente schoonruimtes van klasse 10.000 tot 100.000 tot en met klasse 10.000 tot 1000, met inbegrip van schoonbankjes en mini-schoonruimtes:
    • Clean Bench: Klasse 1 tot en met Klasse 100.
    • Mini Clean Booth: Een compacte afgesloten ruimte die is omhuld met antistatisch transparant PVC in turbulente cleanrooms, uitgerust met onafhankelijke HEPA/ULPA- en luchttoevoer-eenheden voor schoonheid van klasse 10 tot 1000.Rond de twee..5m hoog, minder dan 10m2 met vier rollende steunbenen voor flexibele verhuizing.

    Kernnoot: Airflow Importance & Windspeed Control

    Precieze luchtstroompatronen en windsnelheidsregulatie domineren de stabiliteit van de schoonheid en bepalen rechtstreeks de efficiëntie van de verdunning van deeltjes, de duur van de zelfreiniging en de definitieve classificatie van de schoonruimte.