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क्लीनरूम क्या है? क्लीनरूम को कैसे वर्गीकृत किया जाता है?

2026-06-05
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क्लीन रूम, जिसे धूल मुक्त कमरा भी कहा जाता है, प्रदूषण नियंत्रण की नींव बनाता है। क्लीन रूम सुविधाओं के बिना प्रदूषण-संवेदनशील घटकों का बड़े पैमाने पर उत्पादन संभव नहीं है।जैसा कि FED-STD-2 में निर्दिष्ट हैस्वच्छ कक्ष एक बंद स्थान है जिसमें वायु निस्पंदन, वायु वितरण, वातानुकूलन अनुकूलन, विशेष निर्माण सामग्री और सहायक उपकरण हैं।आवश्यक स्वच्छता ग्रेडों को अर्हता प्राप्त करने के लिए वायुमंडलीय कणों की एकाग्रता को विनियमित करने के लिए मानकीकृत परिचालन प्रोटोकॉल लागू किए जाते हैं.

एक स्वच्छ कक्ष एक विशेष रूप से इंजीनियर संलग्नक है जो एक परिभाषित स्थान के भीतर माइक्रो पार्टिकल्स, खतरनाक गैस और बैक्टीरिया सहित वायुजनित प्रदूषकों को समाप्त करता है।यह सटीक रूप से तापमान जैसे आंतरिक मापदंडों को बनाए रखता है, स्वच्छता, स्थैतिक दबाव, वायु प्रवाह गति और लेआउट, शोर, कंपन, प्रकाश और स्थैतिक विद्युत पूर्व निर्धारित लक्ष्य सीमाओं के भीतर।परिवेश के बाहरी हवा की स्थितियों में उतार-चढ़ाव के बावजूद, इंटीरियर लगातार पूर्व निर्धारित सफाई, तापमान, आर्द्रता और दबाव विनिर्देशों को बरकरार रखता है।

इसका मुख्य कार्य सिलिकॉन चिप्स जैसे निर्मित वस्तुओं के आसपास की परिवेश वायु की स्वच्छता, तापमान और आर्द्रता को स्थिर करना है, जिससे नियंत्रित अनुकूल वातावरण में उत्पादन संभव हो सके।अर्थात् स्वच्छ कक्षवैश्विक औद्योगिक मानदंडों के अनुसार, स्वच्छ कक्षों का वर्गीकरण वायु के प्रति घन मीटर अति-आकार के कणों की संख्या से किया जाता है।धूल मुक्त का मतलब धूल की पूर्ण अनुपस्थिति नहीं है, लेकिन कणों की मात्रा को बहुत कम सीमा तक सीमित करता हैइस प्रकार के अनुमत कण साधारण धूल से बहुत अधिक बारीक होते हैं, फिर भी धूल के निशान भी सटीक ऑप्टिकल घटकों को गंभीर रूप से खराब कर सकते हैं,इसलिए ऑप्टिकल उत्पाद निर्माण के लिए धूल मुक्त वातावरण अनिवार्य है।.

कक्षा A अंतर्राष्ट्रीय स्वच्छ कक्ष मानक 0.5μm से कम कणों को प्रति घन मीटर 3,500 से कम टुकड़ों तक सीमित करता है। चिप निर्माण कक्षा A से अधिक सख्त मानदंडों को अपनाता है,उच्च अंत वेफर निर्माण के लिए व्यापक रूप से लागूकणों की संख्या 1,000 टुकड़े प्रति घन मीटर से कम होने के कारण, इस सख्त बेंचमार्क को आमतौर पर उद्योग में कक्षा 1K कहा जाता है।

स्वच्छ कक्षों के तीन मुख्य अनुप्रयोग

  1. जैसे-जैसे निर्मित स्वच्छ कक्ष
    एक पूरी तरह से निर्मित और परिचालन के लिए तैयार स्वच्छ कक्ष सुविधा सभी सहायक उपयोगिताओं और कार्यात्मक प्रणालियों के साथ, फिर भी कोई प्रक्रिया उपकरण अंतरिक्ष के अंदर स्थापित नहीं है।
  2. आराम में स्वच्छ कक्ष
    एक पूरी तरह से सुसज्जित स्वच्छ कक्ष जिसमें सभी उपकरण नियोजित संचालन या स्टैंडबाय स्थिति के लिए स्थापित और कैलिब्रेट किए गए हों; परिसर में कोई ऑपरेटिंग कर्मचारी मौजूद नहीं है।
  3. परिचालन स्वच्छता कक्ष
    नियमित सेवा में एक पूर्ण कार्यात्मक स्वच्छ कक्ष जिसमें स्थापित उत्पादन उपकरण और साइट पर कार्यरत कर्मचारी हैं, जो आवश्यकतानुसार पूर्ण नियमित विनिर्माण संचालन के लिए उपलब्ध हैं।
    नियंत्रित वस्तुएं
    1. परिवेश की हवा में तैरते हुए निलंबित कण धूल को हटा दें
    2. नए कण प्रदूषकों के उत्पादन को रोकना
    3. आंतरिक तापमान और सापेक्ष आर्द्रता का सटीक विनियमन
    4. इनडोर स्टेटिक प्रेशर डिफरेंशियल का समायोज्य नियंत्रण
    5. हानिकारक गैस प्रकार के प्रदूषकों का प्रभावी निकास
    6. भवन संरचनाओं और विभाजनों के लिए वायुरोधी सील सुनिश्चित करना
    7. स्थैतिक विद्युत के संचय को रोकना और समाप्त करना
    8. बाहरी विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेप का दमन
    9. साइट सुरक्षा विनिर्देशों का पूर्ण अनुपालन
    10. ऊर्जा संरक्षण के लिए अनुकूलित संरचनात्मक डिजाइन

    हवा के प्रवाह के तीन प्रकारः उथल-पुथल प्रवाह, लामिनेर प्रवाह और मिश्रित प्रकार हवा के प्रवाह और हवा की गति नियंत्रण कारकों का महत्व

    1उथल-पुथल वाली धारा स्वच्छ कक्ष

    कमरे में प्रवेश करने से पहले ताजी हवा हवा के हैंडलिंग इकाइयों, नलिकाओं और इनडोर HEPA फिल्टर से गुजरती है; विभाजन की साइड दीवारों या ऊंची पहुंच फर्श के माध्यम से वापस हवा निकासी।हवा का प्रवाह सीधा पथों के बजाय अस्थिरता के साथ होता है, वर्ग 1,000 ~ 100,000 स्वच्छ कक्ष मानकों के लिए उपयुक्त है।
    परिभाषाः एक स्वच्छ कक्ष जिसमें असमान, गैर-समानांतर आपूर्ति वायु प्रवाह के साथ पुनर्विक्रय और भंवर धाराएं होती हैं।

    कार्य सिद्धांत: इनडोर प्रदूषकों को लक्ष्य स्वच्छता प्राप्त करने के लिए आने वाली वातानुकूलित हवा द्वारा लगातार पतला किया जाता है, जिसे आमतौर पर वर्ग 1,000 और वर्ग 300 के बीच बनाया जाता है।000.

    विशेषताएं: स्वच्छता को लगातार वायु परिवर्तन के द्वारा प्राप्त किया जाता है; उच्च वायु परिवर्तन दर बेहतर स्वच्छता ग्रेड प्रदान करती है।

    (1) रिकवरी टाइम: प्रारंभिक वायु आपूर्ति से लेकर आंतरिक कण सांद्रता डिजाइन स्वच्छता तक की अवधि।
    • वर्ग 1,000: अधिकतम 20 मिनट (15 मिनट पर गणना)
    • कक्षा 10,000: अधिकतम 30 मिनट (25 मिनट पर गणना की गई)
    • वर्ग 100,000: अधिकतम 40 मिनट (30 मिनट पर गणना)

      (2) वायु परिवर्तन की अनुशंसित दरें (प्रति वसूली मानदंड):
    • वर्ग 1,000: 43.5~55.3 बार/घंटा, मानक मूल्य 50 बार/घंटा
    • कक्षा 10,000: 23.8 से 28.6 बार/घंटे, मानक मूल्य 25 बार/घंटे
    • वर्ग 100,000:14.4~19.2 बार/घंटा, मानक मूल्य 15 बार/घंटा
    लाभ: सरल ढांचा, कम निर्माण लागत और आसानी से स्थान का विस्तार; स्थानीय स्वच्छता में सुधार के लिए स्वच्छ बेंचों के साथ जोड़ा जा सकता है।

    नुकसान: निलंबित धूल उथल-पुथल वाली हवा के कारण घर के अंदर फंस जाती है और आसानी से निर्मित वस्तुओं को दूषित कर देती है; सिस्टम बंद करने और फिर से शुरू करने के बाद स्वच्छता प्राप्त करने के लिए लंबी वसूली अवधि।

    2. लामिना प्रवाह स्वच्छ कक्ष

    वायु समान रूप से सीधी धाराओं में बहती है। पूर्ण छत फ़िल्टर कवरिंग हवा की आपूर्ति करती है, जिसमें वापस आने वाली हवा ऊंची मंजिलों या साइड विभाजनों के माध्यम से निकाली जाती है।यह डिजाइन उच्च श्रेणी के वर्ग 1 ~ वर्ग 100 स्वच्छ कक्षों के लिए उपयुक्त है, दो श्रेणियों में विभाजितः

    (1) क्षैतिज लामिनार प्रवाह

    फ़िल्टर की गई हवा क्षैतिज रूप से विपरीत वापसी दीवारों की ओर बहती है; प्रदूषक धारा के नीचे के क्षेत्रों में भारी मात्रा में जमा होते हैं।
    • फायदे: सरल सेटअप और स्टार्टअप के बाद तेजी से परिचालन स्थिरीकरण।
    • विपक्ष: निर्माण की अधिक लागत और कमरे के विस्तार में सीमित लचीलापन।

    (2) ऊर्ध्वाधर लामिनार प्रवाह

    पूरी छत में ऊपर से नीचे तक हवा पहुंचाने के लिए यूएलपीए फिल्टर लगाए गए हैं। उपकरण या ऑपरेटरों से धूल को अलग-अलग कार्य क्षेत्रों में क्रॉस-दूषित किए बिना जल्दी से बाहर निकाला जाता है।
    • लाभः दैनिक प्रबंधन में आसानी, स्वच्छता में तेजी से स्थिरता, कर्मचारियों या उत्पादन गतिविधियों से न्यूनतम गड़बड़ी।
    • विपक्ष: निर्माण की उच्च लागत, कम लेआउट लचीलापन; छत निलंबन फ्रेम स्थान पर कब्जा करते हैं और फिल्टर प्रतिस्थापन रखरखाव में बाधा डालते हैं।

    3मिश्रित प्रकार का स्वच्छ कक्ष

    अति स्वच्छ स्थानीय उत्पादन क्षेत्रों को बनाने के लिए उथल-पुथल और लामिना एयरफ्लो का संयोजन करता है।

    (1) स्वच्छ सुरंग

    HEPA/ULPA फिल्टर पूरी तरह से प्रसंस्करण क्षेत्रों को कवर करते हैं ताकि कक्षा 10 या उससे ऊपर तक पहुंच सकें, सेटअप और संचालन लागत में कटौती करें। क्रॉस-कंटॉमिनेशन से बचने के लिए उपकरण रखरखाव क्षेत्रों से काम करने वाले क्षेत्रों को अलग किया जाता है,ULSI उत्पादन के लिए व्यापक रूप से अपनाया गया.
    • लाभः लचीली क्षमता विस्तार और सुविधाजनक ऑफलाइन उपकरण रखरखाव।

    (2) स्वच्छ ट्यूब

    कक्षा 100+ स्वच्छता प्राप्त करने के लिए समर्पित शोधन के साथ स्वचालित उत्पादन लाइनों को संलग्न करता है। अलगाव माल, श्रमिकों और धूल उत्पन्न करने वाले परिवेश को अलग करता है;कम हवा की खपत से ऊर्जा की बचत होती है, पूरी तरह से मानव रहित स्वचालित निर्माण के लिए आदर्श है।

    (3) क्लीन स्पॉट (स्थानीय मिनी क्लीनरूम)

    क्लीन बेंच और मिनी क्लीन बूथ सहित कक्षा 10,000~100,000 के टर्बुलेन्ट क्लीन रूम के अंदर मुख्य उत्पादन खंडों को कक्षा 10~1000 तक अपग्रेड करें:
    • स्वच्छ बेंच: कक्षा 1 से कक्षा 100 तक की रेटिंग।
    • मिनी क्लीन बूथः टर्बुलेन्ट क्लीन रूम के अंदर एंटी-स्टैटिक पारदर्शी पीवीसी से लिपटी एक कॉम्पैक्ट बंद जगह, जो कि स्वतंत्र HEPA/ULPA और Class10~1000 स्वच्छता के लिए वायु आपूर्ति इकाइयों से लैस है।लगभग 2.5 मीटर ऊंचा, 10 वर्ग मीटर से कम कवर, लचीले स्थानांतरण के लिए चार रोलिंग समर्थन पैरों के साथ।

    मुख्य नोटः वायु प्रवाह महत्व और हवा की गति नियंत्रण

    हवा के प्रवाह के सटीक पैटर्न और हवा की गति विनियमन स्वच्छता स्थिरता पर हावी हैं, सीधे कण पतला करने की दक्षता, आत्म-शुद्धिकरण अवधि और अंतिम स्वच्छ कक्ष वर्गीकरण को निर्धारित करते हैं।