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클린룸이란 무엇입니까? 클린룸은 어떻게 분류되나요?

2026-06-05
Latest company news about 클린룸이란 무엇입니까? 클린룸은 어떻게 분류되나요?
먼지 없는 방 으로도 알려진 청결 한 방 은 오염 통제 의 기초 를 이루고 있다. 오염 에 민감 한 부품 의 대량 생산 은 청결 한 방 시설 이 없으면 실현 될 수 없다.FED-STD-2에 명시된 바와 같이, 청정실은 공기 필터링, 공기 배급, 에어컨 최적화, 전문 건설 재료 및 보조 장착장치로 장착된 폐쇄된 공간을 의미합니다.표준화된 운영 프로토콜이 시행되어 필요한 청결도급을 정량화하기 위해 공기 중 입자 농도를 조절합니다..

청정실은 특정 공간 내에서 미세먼지, 유해 가스 및 박테리아를 포함한 공기 중 오염 물질을 제거하는 특별히 설계된 방입니다.온도와 같은 실내 매개 변수를 정확하게 유지합니다., 청결, 정적 압력, 공기 흐름 속도 및 레이아웃, 소음, 진동, 조명 및 정적 전기는 미리 설정된 목표 범위 내에서.외부 대기 조건의 변동과 상관없이, 내부는 항상 미리 설정된 청결, 온도, 습도 및 압력 사양을 유지합니다.

그 핵심 기능은 실리콘 칩과 같은 제조품을 둘러싸고 있는 대기공의 청결, 온도, 습도를 안정시키는 것입니다.즉, 청정실세계 산업 표준에 따라 청정실 분류는 공기의 3m에 지나친 입자의 수에 의해 정량화됩니다.먼지 없는 것은 먼지가 전혀 없는 것을 의미하지는 않지만 미세먼지 함량을 극히 낮은 한계로 제한합니다.이러한 허용된 입자는 일반 먼지보다 훨씬 더 얇지만 먼지 흔적조차도 정확한 광학 부품을 심각하게 손상시킬 수 있습니다.따라서 광학 제품 제조에 먼지 없는 환경이 필수적입니다..

A급 국제 청정실 표준은 0.5μm 이하의 입자를 3천 500개 미터당 미만으로 제한합니다. 칩 제조는 A급을 초과하는 엄격한 기준을 채택합니다.고품질 웨이퍼 제조에 널리 사용됩니다.미세먼지 수를 1,000개 이하로 제한하고 있는 이 엄격한 기준은 일반적으로 산업 전반에 걸쳐 1K급이라고 불린다.

청정실의 3가지 주요 응용 분야

  1. 새로 지어진 청정실
    모든 지원 유틸리티와 기능 시스템과 함께 완전히 건설되고 작동 할 준비가 된 청정실 시설, 그러나 공간 내부에는 프로세스 장비가 설치되어 있지 않습니다.
  2. 휴식기 청정실
    모든 장비가 설치되어 계획된 작동 또는 대기 상태에 맞춰져 있는 완전한 청정실; 장내에는 운영 직원이 없습니다.
  3. 운영 청정실
    설치된 생산 장비와 현장에서 일하는 인력으로 정규 서비스를 제공하는 완전 기능성 청정실, 필요에 따라 완전한 일상 제조 작업에 사용할 수 있습니다.
    통제 대상 물품
    1. 대기 중에 떠있는 중재된 입자 먼지를 제거합니다.
    2. 새로운 미세먼지 오염 물질의 발생을 억제합니다.
    3. 실내 온도 및 상대 습도 정밀 조절
    4. 실내 정적 압력 차이의 조절 가능
    5. 유해한 기체성 오염물질의 실효 배기가스
    6. 건물 구조와 벽벽의 공기 밀폐를 보장합니다.
    7. 정전력 축적 방지 및 제거
    8. 외부 전자기 간섭을 억제합니다.
    9. 현장 안전 사양에 대한 포괄적 준수
    10. 에너지 절약을 위한 최적화된 구조 설계

    세 가지 공기 흐름 유형: 격동 흐름, 라미나 흐름, 혼합류.

    1- 거동 흐름 청정실

    신선한 공기는 방으로 들어가기 전에 공기 처리 장치, 도관 및 실내 HEPA 필터를 통과합니다.공기는 직선 경로 대신 회전으로 불규칙하게 흐릅니다., 클래스 1,000 ~ 100,000 청정실 표준에 적합합니다.
    정의: 재순환과 소용돌이 흐름이 동반되는 불균형하고 평행하지 않은 공급 공기 흐름을 가진 청정실.

    작동 원리: 실내 오염 물질은 목표 청결성을 달성하기 위해 입구 에어컨에 의해 지속적으로 희석됩니다. 일반적으로 1,000급과 300급 사이에 설계됩니다.000.

    특징: 청결 은 빈번 한 공기 변화 를 통해 실현 됩니다. 더 높은 공기 변화 비율 은 더 높은 청결 을 가져옵니다.

    (1) 회복 시간: 초기 공기 공급에서 내부 입자 농도가 설계된 청결도를 달성 할 때까지의 기간.
    • 1급000: 최대 20분 (15분으로 계산)
    • 10급000: 최대 30분 (25분으로 계산)
    • 100급000: 최대 40분 (30분으로 계산)

      (2) 권장 공기 변화율 (복원 기준에 따라):
    • 1급000: 43.5~55.3번/시간, 표준 값 50번/시간
    • 10급000: 23.8~28.6번/시간, 표준값 25번/시간
    • 100급000:14.4~19.2배/시간, 표준값 15배/시간
    장점: 간단한 프레임워크, 낮은 건설 비용 및 간편한 공간 확장; 지역 청결성을 향상시키기 위해 깨끗한 벤치와 결합 할 수 있습니다.

    단점: 휘발성 공기에 의해 실내에 갇혀있는 떠있는 먼지는 제조품을 쉽게 오염시킵니다. 시스템 종료 및 재시작 후 청결을 회복하기 위해 긴 회복 기간.

    2라미나 흐름 청정실

    공기 흐름은 균일한 직선으로 흐릅니다. 전체 천장 필터 커버링이 공급 공기를 공급하고, 높은 바닥 또는 측면 벽벽을 통해 환원 공기가 추출됩니다.이 디자인은 고품질 1급~100급 청정실에 적합합니다., 두 가지로 나뉘어 있습니다:

    (1) 수평 라미나 흐름

    필터링 된 공기는 수평적으로 반대편의 환원 벽으로 불어오르고 오염 물질은 하류 부위에 많이 축적됩니다.
    • 장점: 간단한 설정 및 시작 후 빠른 운영 안정화.
    • 단점: 높은 건설 비용과 제한된 방 확장 유연성.

    (2) 수직 라미나 흐름

    전체 천장에는 ULPA 필터가 설치되어 있으며, 상하공기가 공급됩니다. 장비나 작업자로부터의 먼지는 별도의 작업 구역을 교차 오염시키지 않고 빠르게 배출됩니다.
    • 장점: 일상 관리 가 쉬우며, 청결성 안정화 가 빠르며, 직원 이나 생산 활동 으로 인한 방해 가 적다.
    • 단점: 높은 제작 비용, 낮은 레이아웃 유연성; 천장 서스펜션 프레임은 공간을 차지하고 필터 교체 유지 보수를 방해합니다.

    3혼합형 청정실

    거동과 라미너 공기 흐름을 결합하여 극정 깨끗한 지역 생산 구역을 만듭니다.

    (1) 깨끗한 터널

    HEPA/ULPA 필터는 10급 이상으로 처리 영역을 완전히 커버하여 설치 및 운영 비용을 절감합니다. 교차 오염을 피하기 위해 작업 영역은 장비 유지보수 구역에서 분리됩니다.ULSI 생산에 널리 채택되었습니다.
    • 이점: 유연한 용량 확충 및 편리한 오프라인 장비 유지보수.

    (2) 청정 파이프

    100+급 청결성을 달성하기 위해 전용 정화로 자동화된 생산 라인을 포함합니다. 고립은 재화, 노동자 및 먼지를 생성하는 환경을 분리합니다.낮은 공기 소비는 에너지를 절약합니다, 완전히 무인 자동화 제조에 이상적입니다.

    (3) 클린 스팟 (지역화된 미니 클린룸)

    클래스 10,000~100,000의 터블런트 클린룸 내부의 핵심 생산 부문을 클래스 10~1000까지 업그레이드하고, 클린 벤치와 미니 클린 부스를 포함합니다.
    • 클린 벤치: 클래스 1~ 클래스 100 등급
    • 미니 클린 부스 (Mini Clean Booth): 격동성 클린룸 내부에 반 정적 투명한 PVC로 포장된 콤팩트한 폐쇄 공간, 독립적인 HEPA/ULPA 및 공기 공급 장치로 구성되어 있으며, 10~1000급의 청결을 보장합니다.약 2분.5m 높이고, 10m2 이하의 커버리지, 4개의 롤링 지원 다리로 유연한 이동을 위해

    핵심 참고: 공기 흐름 중요성 및 바람 속도 제어

    정밀한 공기 흐름 패턴과 바람의 속도 조절은 청결성 안정성을 지배하며 입자 희석 효율, 자기 정화 기간 및 최종 청결실 분류를 직접 결정합니다.