Nguồn ô nhiễm ẩn trong phòng sạch điện tử
Trong kỷ nguyên 28nm và sản xuất bán dẫn tiên tiến hơn, các yêu cầu về thiết kế, sản xuất và đóng gói mạch tích hợp đã đạt đến mức chưa từng có.Trong khi nhiều người tập trung vào bụi nhìn thấy, một số nguồn ô nhiễm "băm" thường gây nguy hiểm cho tỷ lệ năng suất.
1Tiếng ồn điện từ (EMI)
Tiếng ồn điện từ được tạo ra bởi các dây cáp dòng điện cao (ví dụ, trong lò oxy hóa), dao động tần số cao,và các công tắc điện từ có thể can thiệp nghiêm trọng vào độ chính xác quét của thiết bị chùm electronTác động tương xứng ngược với khoảng cách từ nguồn.
2. Micro-Vibration
Các rung động cơ học từ động cơ bơm chân không và các thiết bị khác có thể được truyền qua sàn nhà đến các công cụ lithography hoặc kính hiển vi chính xác cao, làm ảnh hưởng đến độ chính xác của chúng.Thực hiện Air Spring Vibration Isolators là điều cần thiết để giảm thiểu những sự xáo trộn này.
3. Sự ăn mòn hóa học và sương mù axit
Khí thải địa phương không đủ trong nắp ô axit cho phép sương mù axit lan ra khắp phòng.Điều này có thể ăn mòn các thành phần kim loại của thiết bị trong nhà, ngay cả thép không gỉ tiếp xúc có thể rỉ sét trong không khí chứa cloGiải pháp hiệu quả nhất là sử dụng các nắp thông gió kín với dung lượng xả đầy đủ.
4. Ô nhiễm theo giai đoạn (chuyển & bảo trì)
Việc di chuyển thiết bị hoặc thực hiện sửa chữa lớn có thể khiến số lượng hạt treo lên cao hơn 100 lần so với mức bình thường.Sự di chuyển của công nhân và ma sát của thiết bị trên sàn nhà gây ra bụi lắng đọngNgay cả trong quá trình cải tạo một phần, việc cắt vật liệu như PVC hoặc thép không gỉ tạo ra bột mịn nhanh chóng lan rộng khắp toàn bộ cơ sở.
Kết luận
Miễn là nhân viên đang hoạt động và thiết bị đang hoạt động, các hạt sẽ được tạo ra.và bề mặt thiết bịLàm sạch có hệ thống và thường xuyên là không thể thương lượng để duy trì một môi trường bán dẫn năng suất cao.
