Fontes de contaminação ocultas em salas limpas eletrônicas
Na era de 28nm e fabricação de semicondutores mais avançados, os requisitos para o projeto de circuito integrado, produção e embalagem atingiram níveis sem precedentes.Enquanto muitos se concentram no pó visível, várias fontes de contaminação "ocultas" colocam frequentemente em perigo as taxas de rendimento.
1. Ruído electromagnético (EMI)
ruído eletromagnético gerado por cabos de alta corrente (por exemplo, em fornos de oxidação), oscilações de alta frequência,e interruptores eletromagnéticos podem interferir gravemente na precisão de digitalização do equipamento de feixe de elétronsO impacto é inversamente proporcional à distância da fonte.
2Micro-vibrações.
As vibrações mecânicas dos motores de bombas de vácuo e de outros equipamentos podem ser transmitidas através do chão para ferramentas de litografia ou microscopia de alta precisão, comprometendo a sua precisão.Implementar Air Spring Vibration Isolators é essencial para atenuar estes distúrbios.
3. Corrosão química e névoa ácida
A insuficiência de gases de escape locais em capas de ácido permite que as neblinas ácidas se difundam por toda a sala.Isto pode corroer componentes metálicos de equipamentos interiores, mesmo o aço inoxidável exposto pode corroer no ar carregado de cloroA solução mais eficaz consiste em utilizar capôs de ventilação fechados com capacidade de escape adequada.
4Contaminação episódica (translocação e manutenção)
Mudanças de equipamento ou grandes revisões podem fazer com que a quantidade de partículas em suspensão aumente para mais de 100 vezes o nível normal.O movimento dos trabalhadores e o atrito dos equipamentos no chão agitam o pó que se depositaMesmo durante a renovação parcial, o corte de materiais como PVC ou aço inoxidável gera pó fino que se espalha rapidamente por toda a instalação.
Conclusão
Enquanto o pessoal estiver em funcionamento e o equipamento estiver em funcionamento, as partículas serão geradas.e superfícies de equipamentoA limpeza sistemática e regular não é negociável para manter um ambiente de semicondutores de alto rendimento.
