ইলেকট্রনিক ক্লিনরুমে লুকানো দূষণের উৎস
২৮ এনএম এবং আরও উন্নত অর্ধপরিবাহী উত্পাদন যুগে, ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট ডিজাইন, উত্পাদন এবং প্যাকেজিংয়ের প্রয়োজনীয়তা অভূতপূর্ব স্তরে পৌঁছেছে।যদিও অনেকে দৃশ্যমান ধূলিকণার দিকে মনোনিবেশ করেন, বেশ কয়েকটি "গোপন" দূষণের উৎস প্রায়শই ফলন হারকে হুমকির মুখে ফেলে।
1ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক গোলমাল (ইএমআই)
উচ্চ প্রবাহের তারের দ্বারা উত্পন্ন ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক শব্দ (যেমন, অক্সিডেশন চুল্লিতে), উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি দোলন,এবং ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক সুইচ ইলেকট্রন রে সরঞ্জাম স্ক্যান সঠিকতা গুরুতরভাবে হস্তক্ষেপ করতে পারেন. প্রভাব উৎস থেকে দূরত্ব বিপরীত আনুপাতিক.
2মাইক্রো-ভিব্রেশন
ভ্যাকুয়াম পাম্প মোটর এবং অন্যান্য সরঞ্জাম থেকে যান্ত্রিক কম্পনগুলি মেঝে দিয়ে উচ্চ-নির্ভুলতা লিথোগ্রাফি বা মাইক্রোস্কোপিক সরঞ্জামগুলিতে প্রেরণ করা যেতে পারে, তাদের নির্ভুলতা হ্রাস করে।এয়ার স্প্রিং কম্পন আইসোলেটর বাস্তবায়ন এই ব্যাঘাত প্রশমিত করার জন্য অপরিহার্য.
3রাসায়নিক ক্ষয় এবং অ্যাসিড কুয়াশা
অ্যাসিড হাউজে পর্যাপ্ত স্থানীয় নিষ্কাশন না থাকায়, এসিড কুয়াশা পুরো রুমে ছড়িয়ে পড়ে।এটি অভ্যন্তরীণ সরঞ্জামগুলির ধাতব উপাদানগুলিকে ক্ষয় করতে পারে, এমনকি এক্সপোজ করা স্টেইনলেস স্টিলও ক্লোরিনযুক্ত বায়ুতে মরিচা করতে পারেসবচেয়ে কার্যকর সমাধান হল পর্যাপ্ত নিষ্কাশন ক্ষমতা সহ বন্ধ বায়ুচলাচল হাউজ ব্যবহার করা।
4. এপিসোডিক দূষণ (পুনর্বাসন ও রক্ষণাবেক্ষণ)
সরঞ্জাম স্থানান্তর বা প্রধান মেরামতের কারণে স্থির কণার সংখ্যা স্বাভাবিক মাত্রার ১০০ গুণেরও বেশি বেড়ে যেতে পারে।শ্রমিকদের চলাচল এবং মেঝেতে সরঞ্জামগুলির ঘর্ষণ স্থির ধুলোকে উত্তেজিত করেএমনকি আংশিক সংস্কারের সময়, পিভিসি বা স্টেইনলেস স্টিলের মতো উপাদানগুলি কাটা সূক্ষ্ম পাউডার তৈরি করে যা দ্রুত পুরো সুবিধা জুড়ে ছড়িয়ে পড়ে।
সিদ্ধান্ত
যতক্ষণ কর্মী কাজ করছে এবং সরঞ্জাম চলছে, ততক্ষণ কণা উৎপন্ন হবে। সমস্ত কণা HEPA ফিল্টার দ্বারা সঞ্চালনের মাধ্যমে ধরা হয় না; অনেকগুলি মেঝে, দেয়াল,এবং সরঞ্জাম পৃষ্ঠতলউচ্চ উৎপাদনশীল সেমিকন্ডাক্টর পরিবেশ বজায় রাখার জন্য পদ্ধতিগত এবং নিয়মিত পরিষ্কারের বিষয়টি আলোচনাযোগ্য নয়।
