Κρυφές πηγές μόλυνσης σε Ηλεκτρονικούς χώρους καθαριότητας
Στην εποχή των 28nm και της πιο προηγμένης κατασκευής ημιαγωγών, οι απαιτήσεις για το σχεδιασμό, την παραγωγή και την συσκευασία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων έχουν φτάσει σε πρωτοφανή επίπεδα.Ενώ πολλοί επικεντρώνονται στην ορατή σκόνη, αρκετές "κρυφές" πηγές μόλυνσης συχνά θέτουν σε κίνδυνο τα ποσοστά απόδοσης.
1Ηλεκτρομαγνητικός θόρυβος (EMI)
Ηλεκτρομαγνητικός θόρυβος που παράγεται από καλώδια υψηλού ρεύματος (π.χ. σε φούρνους οξείδωσης), ταλαντώσεις υψηλής συχνότητας,και ηλεκτρομαγνητικοί διακόπτες μπορεί να επηρεάσει σοβαρά την ακρίβεια σάρωσης του εξοπλισμού δέσμης ηλεκτρονίωνΗ πρόσκρουση είναι αντίστροφα ανάλογη με την απόσταση από την πηγή.
2- Μικρο-δονήσεις.
Οι μηχανικές δονήσεις από κινητήρες αντλιών κενού και άλλους εξοπλισμούς μπορούν να μεταδοθούν μέσω του δαπέδου σε εργαλεία λιθογραφίας υψηλής ακρίβειας ή μικροσκόπησης, θέτοντας σε κίνδυνο την ακρίβεια τους.Εφαρμογή του αέρα ελατήρια απομονωτές δονήσεων είναι απαραίτητο για να μετριάσει αυτές τις διαταραχές.
3Χημική διάβρωση και όξινη ομίχλη
Η ανεπαρκής τοπική εξάτμιση στις οξείδεις κουκούλες επιτρέπει στην οξεία ομίχλη να διαχέεται σε όλο το δωμάτιο.Αυτό μπορεί να διαβρώσει τα μεταλλικά στοιχεία των εσωτερικών εξοπλισμών· ακόμη και το ανοιχτό ανοξείδωτο χάλυβα μπορεί να σκουριάσει στον αέρα που περιέχει χλώριοΗ πιο αποτελεσματική λύση είναι η χρήση κλειστών εξαεριστικών καλύβων με επαρκή χωρητικότητα εξάτμισης.
4. Επικαιροποιημένη μόλυνση (μετακίνηση και συντήρηση)
Η μετατόπιση του εξοπλισμού ή η πραγματοποίηση μεγάλων επισκευών μπορεί να προκαλέσει την αύξηση του αριθμού των αιωρούμενων σωματιδίων σε πάνω από 100 φορές τα κανονικά επίπεδα.Η κίνηση των εργαζομένων και η τριβή του εξοπλισμού στο πάτωμα προκαλούν καθίζουσα σκόνηΑκόμη και κατά τη διάρκεια μερικής ανακαίνισης, η κοπή υλικών όπως το PVC ή το ανοξείδωτο χάλυβα παράγει λεπτές σκόνες που εξαπλώνονται γρήγορα σε ολόκληρη την εγκατάσταση.
Συμπεράσματα
Όσο το προσωπικό λειτουργεί και ο εξοπλισμός λειτουργεί, παράγονται σωματίδια.και επιφάνειες εξοπλισμούΟ συστηματικός και τακτικός καθαρισμός δεν είναι διαπραγματεύσιμος για τη διατήρηση ενός περιβάλλοντος ημιαγωγών υψηλής απόδοσης.
