Fuentes ocultas de contaminación en las salas limpias electrónicas
En la era de los 28nm y la fabricación de semiconductores más avanzados, los requisitos para el diseño, producción y embalaje de circuitos integrados han alcanzado niveles sin precedentes.Mientras que muchos se centran en el polvo visible, varias fuentes de contaminación "ocultas" a menudo ponen en peligro los rendimientos.
1. Ruido electromagnético (EMI)
ruido electromagnético generado por cables de alta corriente (por ejemplo, en hornos de oxidación), oscilaciones de alta frecuencia,y los interruptores electromagnéticos pueden interferir gravemente la precisión de escaneo del equipo de haz de electronesEl impacto es inversamente proporcional a la distancia de la fuente.
2Microvibraciones.
Las vibraciones mecánicas de los motores de las bombas de vacío y otros equipos pueden transmitirse a través del suelo a las herramientas de litografía o microscopía de alta precisión, comprometiendo su precisión.La implementación de aisladores de vibración de resorte de aire es esencial para atenuar estas perturbaciones.
3. Corrosión química y niebla ácida
La falta de escape local en las capas de ácido permite que las nieblas ácidas se difundan por toda la habitación.Esto puede corroer los componentes metálicos de los equipos de interior, incluso el acero inoxidable expuesto puede oxidarse en el aire lleno de cloro.La solución más eficaz es utilizar capas de ventilación cerradas con una capacidad de escape adecuada.
4Contaminación episódica (reubicación y mantenimiento)
El traslado de equipos o la realización de grandes reparaciones pueden hacer que el número de partículas en suspensión se disparen a más de 100 veces sus niveles normales.El movimiento de los trabajadores y la fricción de los equipos en los pisos agitan el polvo que se asientaIncluso durante las renovaciones parciales, el corte de materiales como PVC o acero inoxidable genera polvos finos que se propagan rápidamente por toda la instalación.
Conclusión
No todas las partículas son capturadas por los filtros HEPA a través de la circulación; muchas se depositan en pisos, paredes,y superficies de los equiposLa limpieza sistemática y regular no es negociable para mantener un entorno de semiconductores de alto rendimiento.
