इलेक्ट्रॉनिक क्लीनरूम में छिपे हुए प्रदूषण के स्रोत
28 एनएम और अधिक उन्नत अर्धचालक विनिर्माण के युग में, एकीकृत सर्किट डिजाइन, उत्पादन और पैकेजिंग के लिए आवश्यकताएं अभूतपूर्व स्तर तक पहुंच गई हैं।जबकि कई दृश्य धूल पर ध्यान केंद्रित, कई "छिपे हुए" संदूषण स्रोत अक्सर उपज दरों को खतरे में डालते हैं।
1विद्युत चुम्बकीय शोर (ईएमआई)
विद्युत चुम्बकीय शोर उच्च धारा केबलों द्वारा उत्पन्न (जैसे, ऑक्सीकरण भट्टियों में), उच्च आवृत्ति दोलन,और विद्युत चुम्बकीय स्विच इलेक्ट्रॉन बीम उपकरण की स्कैनिंग सटीकता में गंभीर हस्तक्षेप कर सकते हैंप्रभाव स्रोत से दूरी के विपरीत आनुपातिक होता है।
2सूक्ष्म-कंपन
वैक्यूम पंप मोटर्स और अन्य उपकरणों से होने वाले यांत्रिक कंपनों को मंजिल के माध्यम से उच्च परिशुद्धता वाले लिथोग्राफी या माइक्रोस्कोपी उपकरणों में प्रेषित किया जा सकता है, जिससे उनकी सटीकता को खतरा हो सकता है।इन व्यवधानों को कम करने के लिए एयर स्प्रिंग वाइब्रेशन आइसोलेटर को लागू करना आवश्यक है।.
3रासायनिक संक्षारण और अम्लीय धुंध
एसिड हुड में अपर्याप्त स्थानीय निकास से पूरे कमरे में एसिड धुंध फैल जाती है।इससे इनडोर उपकरण के धातु के घटकों में जंग लग सकती है, यहां तक कि एक्सपोजर स्टेनलेस स्टील भी क्लोरीन से भरी हवा में जंग लग सकता है।सबसे प्रभावी समाधान पर्याप्त निकास क्षमता वाले संलग्न वेंटिलेशन हुडों का उपयोग करना है।
4आवर्तक संदूषण (बदलाव और रखरखाव)
उपकरण को स्थानांतरित करने या प्रमुख मरम्मत करने से निलंबित कणों की संख्या सामान्य स्तर से 100 गुना अधिक हो सकती है।मजदूरों की चाल और फर्श पर उपकरणों के घर्षण से धूल जमा हो जाती हैआंशिक नवीनीकरण के दौरान भी पीवीसी या स्टेनलेस स्टील जैसी सामग्रियों को काटने से ठीक पाउडर उत्पन्न होते हैं जो पूरे संयंत्र में तेजी से फैलते हैं।
निष्कर्ष
जब तक कर्मचारी काम कर रहे हैं और उपकरण चल रहे हैं, तब तक कण उत्पन्न होंगे। सभी कणों को हेपा फिल्टर द्वारा परिसंचरण के माध्यम से कैप्चर नहीं किया जाता है; कई फर्श, दीवारों पर जमा हो जाते हैं,और उपकरण सतहोंउच्च उपज वाले अर्धचालक वातावरण को बनाए रखने के लिए व्यवस्थित और नियमित सफाई अपरिहार्य है।
