Phòng sạch là gì?
2026-07-06
1. Định nghĩa & Tiêu chuẩn
Phòng sạch đề cập đến một phòng được thiết kế đặc biệt để loại bỏ các chất ô nhiễm (hạt, không khí có hại, vi khuẩn) trong một không gian cụ thể và kiểm soát nhiệt độ, độ sạch, áp suất, tốc độ/phân phối luồng không khí, tiếng ồn, độ rung, ánh sáng và tĩnh điện trong phạm vi yêu cầu. Bất kể điều kiện bên ngoài, căn phòng vẫn duy trì môi trường cài sẵn.
- Tiêu chuẩn: Mức độ sạch sẽ dựa trên số lượng hạt trên một mét khối.
- A-Level (Quốc tế): Các hạt <0,3μm được kiểm soát dưới 3.500 mỗi m3.
- Cấp 1K (Tiêu chuẩn ngành): Hạt 0,5μmđược giới hạn nghiêm ngặt ở mức dưới 1.000 trên mỗi inch khối—thường được sử dụng trong chế tạo chất bán dẫn.
2. Ba bang phòng sạch
| Tình trạng | Sự miêu tả |
|---|---|
| Hoàn công (Rỗng) | Cơ sở này có đầy đủ tất cả các dịch vụ hoạt động nhưng không có thiết bị hoặc nhân sự. |
| Ở trạng thái nghỉ (Tĩnh) | Tất cả các thiết bị đều được lắp đặt và hoạt động như quy định nhưng không có nhân viên nào có mặt. |
| Vận hành (Động) | Cơ sở đang được sử dụng bình thường, có thiết bị hoạt động tốt và có nhân viên thực hiện công việc. |
3. Nguyên lý dòng chảy một chiều (Laminar Flow)
- Đặc điểm: Các đường thẳng song song, vận tốc đồng đều trên mặt cắt ngang và không có xoáy trong vùng làm việc.
- Cơ chế: Thường được mô tả là "Dòng piston" hoặc "Dòng dịch chuyển". Không khí sạch hoạt động giống như một pít-tông, đẩy không khí ô nhiễm ra ngoài qua toàn bộ mặt cắt ngang mà không có dòng chảy ngược.
- Các yếu tố thành công chính: Độ sạch của không khí đi vào và khả năng lấp đầy toàn bộ mặt cắt ngang của "piston".
4. Nguyên lý dòng chảy rối (Dòng chảy không một chiều)
- Đặc điểm: Thay đổi mặt cắt giữa lỗ cấp và lỗ thoát khí. Các luồng không khí va chạm nhau, tạo ra độ cong, dòng chảy ngược và xoáy.
- Cơ chế: "Hiệu ứng pha loãng." Không khí sạch được cung cấp để nhanh chóng hòa trộn và pha loãng không khí bị ô nhiễm cho đến khi đạt được nồng độ cân bằng.
- Bản chất kỹ thuật: Được xác định bởi những thay đổi đột ngột về dòng chảy và tính không đồng nhất.
