クリーンルームとは何ですか?
2026-07-06
1定義と基準
クリーンルームとは,特定の空間内で汚染物質 (粒子,有害空気,細菌) を排除し,温度,清潔さ,圧力,空気流の速度/分布必要な範囲内での騒音,振動,照明,静電です 外部の条件に関係なく,部屋は事前に設定された環境を維持します
- 基準: 清潔度 は,立方メートル に 含まれる 微粒子 の 数 に 基づい て 定め られ て い ます.
- Aレベル (国際): 粒子 <0.3μm は,m3あたり3,500以下に制御される.
- 1Kレベル (業界標準):粒子 ≤0.5μm半導体製造に使用されている.
2クリーンルームの3つの状態
| 州 | 記述 |
|---|---|
| 建設中 (空) | 施設は 機能が整ったが 設備やスタッフはいない |
| 静止状態 (静止状態) | 設備は全て 設置済みで 機能しているが スタッフはいない |
| 操作 (ダイナミック) | 施設は正常な使用で 設備が機能し スタッフが仕事をしています |
3一方向流量 (線形流量) 原則
- 特徴:平行線,横切りに均等な速度,作業領域に渦がない.
- "ピストン 流量"あるいは"流出 流量"と 呼ば れる 仕組み.清潔 な 空気 は,ピストン の よう に 働き,汚染 さ れ た 空気 を 逆流 を 避け て 横断 部分 を 完全に 押し出します.
- 鍵となる 成功因子: 入気する空気の清潔さと"ピストン"が横切りを完全に満たす能力
4動乱流量 (非単方向流量) 原則
- 特徴: 給出口 と 排気口 の 間 の 異なっ た 切断.空気 流 の 流線 が 衝突 し て 曲線,逆流,渦 を 作り出す.
- メカニズム: "稀释効果". 汚染された空気と素早く混合し,均衡濃度に達するまで稀释するために清潔な空気が供給されます.
- 技術性: 流量や不均一性の突然の変化によって定義される.
