Apa itu Cleanroom?
2026-07-06
1. Definisi & Standar
Cleanroom mengacu pada ruangan yang dirancang khusus yang menghilangkan polutan (partikel, udara berbahaya, bakteri) dalam ruang tertentu dan mengontrol suhu, kebersihan, tekanan,kecepatan aliran udara/distribusi, kebisingan, getaran, pencahayaan, dan listrik statis dalam kisaran yang diperlukan.
- Standar: Tingkat kebersihan didasarkan pada jumlah partikel per meter kubik.
- Tingkat A (Internasional): Partikel < 0,3μm dikontrol di bawah 3.500 per m3.
- Tingkat 1K (standar industri): Partikel ≤ 0,5μmdibatasi secara ketat kurang dari 1.000 per inci kubik yang biasa digunakan dalam pembuatan semikonduktor.
2Tiga Negara Kamar Bersih
| Negara bagian | Deskripsi |
|---|---|
| Seperti yang dibangun (kosong) | Fasilitas lengkap dengan semua layanan fungsional, tapi tidak ada peralatan atau personil yang hadir. |
| Dalam keadaan diam (statis) | Semua peralatan sudah dipasang dan berfungsi sesuai spesifikasi, tapi tidak ada personil yang hadir. |
| Operasional (Dinamik) | Fasilitas digunakan secara normal dengan peralatan yang berfungsi dan personil yang melakukan pekerjaan. |
3Prinsip Aliran Unidirectional (Laminar Flow)
- Karakteristik: garis lurus paralel, kecepatan seragam di seluruh bagian silang, dan tidak ada pusaran di zona kerja.
- Mekanisme: Seringkali disebut "Layanan Piston" atau "Layanan Penggeser".
- Faktor-faktor kunci keberhasilan: Kemurnian udara masuk dan kemampuan "piston" untuk mengisi seluruh bagian penampang.
4Prinsip Aliran Turbulent (Aliran Non-Unidirectional)
- Karakteristik: Bagian-bagian yang berbeda antara saluran pembuangan dan saluran pembuangan.
- Mekanisme: "Efek Pencairan". Udara bersih diberikan untuk cepat bercampur dengan dan mencairkan udara terkontaminasi sampai konsentrasi keseimbangan tercapai.
- Sifat teknis: didefinisikan oleh perubahan tiba-tiba dalam aliran dan ketidakseragamannya.
