클린룸이란 무엇입니까?
2026-07-06
1. 정의 및 기준
클린룸(Cleanroom)이란 특정 공간 내의 오염물질(입자, 유해공기, 박테리아)을 제거하고 온도, 청정도, 압력, 풍속/분포, 소음, 진동, 조명, 정전기 등을 필요한 범위 내에서 제어하도록 특별히 설계된 공간을 말합니다. 외부 조건에 관계없이 실내는 미리 설정된 환경을 유지합니다.
- 표준: 청결도 수준은 입방미터당 입자 수를 기준으로 합니다.
- A레벨(국제): 0.3μm 미만의 입자는 m3당 3,500개 미만으로 제어됩니다..
- 1K 레벨(산업 표준): 입자 ≤0.5μm반도체 제조에 일반적으로 사용되는 입방인치당 1,000개 미만으로 엄격히 제한됩니다.
2. 클린룸의 세 가지 상태
| 상태 | 설명 |
|---|---|
| 준공시(비어 있음) | 시설은 모든 서비스가 완벽하게 작동하지만 장비나 인력은 없습니다. |
| 미사용(정적) | 모든 장비가 지정된 대로 설치되고 작동하지만 직원은 없습니다. |
| 운영(동적) | 시설은 정상적으로 작동하는 장비와 작업을 수행하는 인력과 함께 정상적으로 사용되고 있습니다. |
3. 단방향 유동(층류) 원리
- 특성: 평행한 유선형, 단면 전체에 걸쳐 균일한 속도, 작업 영역에 소용돌이가 없음.
- 메커니즘: 종종 "피스톤 흐름" 또는 "변위 흐름"으로 설명됩니다. 깨끗한 공기는 피스톤처럼 작용하여 오염된 공기를 역류 없이 전체 단면을 통해 밀어냅니다.
- 주요 성공 요인: 들어오는 공기의 청결도와 전체 단면을 채우는 "피스톤"의 능력.
4. 난류 유동(비단방향 유동) 원리
- 특성: 공급 및 배출구 사이의 단면이 다양합니다. 기류 유선이 충돌하여 곡률, 역류 및 소용돌이를 생성합니다.
- 메커니즘: "희석 효과". 깨끗한 공기를 공급하여 평형 농도에 도달할 때까지 오염된 공기와 빠르게 혼합 및 희석합니다.
- 기술적 성격: 흐름의 급격한 변화와 불균일성으로 정의됩니다.
