Was ist ein Reinraum?
2026-07-06
1. Definition und Normen
Reinraum bezeichnet einen speziell entworfenen Raum, der Schadstoffe (Partikel, schädliche Luft, Bakterien) in einem bestimmten Raum beseitigt und Temperatur, Sauberkeit, Druck,Luftströmungsgeschwindigkeit/VerteilungDer Raum behält seine vorgegebene Umgebung unabhängig von den äußeren Bedingungen.
- Normen: Die Reinheitswerte basieren auf der Anzahl der Partikel pro Kubikmeter.
- A-Level (international): Partikel < 0,3 μm sind unter 3500 pro m3 zu kontrollieren.
- 1K-Spiegel (Industrie-Standard): Partikel ≤ 0,5 μmsind streng auf weniger als 1.000 pro Kubikzoll beschränkt, die üblicherweise bei der Herstellung von Halbleitern verwendet werden.
2Die drei Zustände des Reinraums
| Staat | Beschreibung |
|---|---|
| Wie gebaut (leere) | Die Einrichtung ist vollständig mit allen Dienstleistungen funktionsfähig, aber keine Ausrüstung oder Personal sind vorhanden. |
| In Ruhe (statisch) | Alle Geräte sind installiert und funktionieren wie angegeben, aber kein Personal ist anwesend. |
| Funktionsweise (dynamisch) | Die Anlage ist in normaler Betriebsweise mit funktionierender Ausrüstung und Arbeitskräften. |
3Einrichtungströmung (Laminarströmung)
- Merkmale: Parallele Strömungen, gleichmäßige Geschwindigkeit über den Querschnitt und keine Wirbel im Arbeitsbereich.
- Mechanismus: Oft als "Kolbenfluss" oder "Verdrängungsfluss" bezeichnet.
- Wichtige Erfolgsfaktoren: Reinheit der eingehenden Luft und die Fähigkeit des "Kolbens", den gesamten Querschnitt zu füllen.
4. Grundsatz des turbulenten Stroms (nicht einseitiger Strom)
- Eigenschaften: Unterschiedliche Querschnitte zwischen Zufuhr- und Abluftöffnungen; Luftströmungsströmungen kollidieren und erzeugen Krümmung, Rückfluss und Wirbel.
- Mechanismus: Der "Verwässerungseffekt". Saubere Luft wird zugeführt, um sich schnell mit der kontaminierten Luft zu vermischen und zu verdünnen, bis eine Gleichgewichtskonzentration erreicht ist.
- Technischer Charakter: Durch plötzliche Veränderungen des Stroms und Ungleichgewichte definiert.
