Τι είναι το Cleanroom;
2026-07-06
1. Ορισμός & Πρότυπα
Το Cleanroom αναφέρεται σε ένα ειδικά σχεδιασμένο δωμάτιο που εξαλείφει τους ρύπους (σωματίδια, επιβλαβή αέρα, βακτήρια) μέσα σε ένα συγκεκριμένο χώρο και ελέγχει τη θερμοκρασία, την καθαριότητα, την πίεση, την ταχύτητα/κατανομή ροής αέρα, τον θόρυβο, τους κραδασμούς, τον φωτισμό και τον στατικό ηλεκτρισμό εντός ενός απαιτούμενου εύρους. Ανεξάρτητα από τις εξωτερικές συνθήκες, το δωμάτιο διατηρεί το προκαθορισμένο περιβάλλον του.
- Πρότυπα: Τα επίπεδα καθαριότητας βασίζονται στον αριθμό των σωματιδίων ανά κυβικό μέτρο.
- Α-Επίπεδο (Διεθνές): Σωματίδια <0,3μm ελέγχονται κάτω από 3.500 ανά m3.
- Επίπεδο 1K (Industry Standard): Σωματίδια ≤0,5μmπεριορίζονται αυστηρά σε λιγότερο από 1.000 ανά κυβική ίντσα—που χρησιμοποιούνται συνήθως στην κατασκευή ημιαγωγών.
2. The Three States of Cleanroom
| Κατάσταση | Περιγραφή |
|---|---|
| Όπως κατασκευάστηκε (Κενό) | Η εγκατάσταση είναι πλήρης με όλες τις υπηρεσίες λειτουργικές, αλλά δεν υπάρχει εξοπλισμός ή προσωπικό. |
| Σε ηρεμία (Στατική) | Όλος ο εξοπλισμός είναι εγκατεστημένος και λειτουργεί όπως ορίζεται, αλλά δεν υπάρχει προσωπικό. |
| Λειτουργικό (Δυναμικό) | Η εγκατάσταση είναι σε κανονική χρήση με λειτουργικό εξοπλισμό και προσωπικό που εκτελεί εργασίες. |
3. Αρχή μονοκατευθυντικής ροής (Laminar Flow).
- Χαρακτηριστικά: Παράλληλες γραμμές ροής, ομοιόμορφη ταχύτητα σε όλη τη διατομή και χωρίς στροβιλισμούς στη ζώνη εργασίας.
- Μηχανισμός: Συχνά περιγράφεται ως "Ροή εμβόλου" ή "Ροή μετατόπισης". Ο καθαρός αέρας λειτουργεί σαν έμβολο, σπρώχνοντας τον μολυσμένο αέρα σε όλη τη διατομή χωρίς αντίστροφη ροή.
- Βασικοί Παράγοντες Επιτυχίας: Η καθαρότητα του εισερχόμενου αέρα και η ικανότητα του «εμβόλου» να γεμίζει ολόκληρη τη διατομή.
4. Αρχή τυρβώδης ροής (Μη μονοκατευθυντική ροή).
- Χαρακτηριστικά: Διαφορετικές διατομές μεταξύ των αεραγωγών παροχής και εξαγωγής. Οι γραμμές ροής αέρα συγκρούονται, δημιουργώντας καμπυλότητα, αντίστροφη ροή και δίνες.
- Μηχανισμός: Το «Φαινόμενο αραίωσης». Παρέχεται καθαρός αέρας για να αναμιχθεί γρήγορα και να αραιωθεί ο μολυσμένος αέρας μέχρι να επιτευχθεί συγκέντρωση ισορροπίας.
- Τεχνική φύση: Ορίζεται από ξαφνικές αλλαγές στη ροή και ανομοιομορφία.
