Что такое чистое помещение?
1. Определение и стандарты
Чистая комната относится к специально разработанной комнате, которая устраняет загрязняющие вещества (частицы, вредный воздух, бактерии) в определенном пространстве и контролирует температуру, чистоту, давление,скорость/распределение воздушного потока, шум, вибрации, освещение и статическое электричество в требуемом диапазоне. Независимо от внешних условий, помещение сохраняет заданную среду.
- Стандарты: уровни чистоты определяются по количеству частиц на кубический метр.
- Уровень A (международный): частицы < 0,3 мкм контролируются ниже 3500 на м3.
- Уровень 1K (промышленный стандарт): частицы ≤ 0,5μmстрого ограничены до 1000 на кубический дюйм, обычно используемые в производстве полупроводников.
2Три состояния чистого помещения
| Государство | Описание |
|---|---|
| Построенный (пустой) | Объект полностью функционирует, но нет оборудования и персонала. |
| В состоянии покоя (статический) | Все оборудование установлено и функционирует, как указано, но персонала нет. |
| Операционный (динамический) | Объект используется в обычном режиме с рабочим оборудованием и персоналом, выполняющим работу. |
3Принцип однонаправленного потока (линейного потока)
- Характеристики: параллельные линии, равномерная скорость по поперечному сечению и отсутствие вихрей в рабочей зоне.
- Механизм: часто описывается как "поток поршня" или "поток перемещения".
- Ключевые факторы успеха: чистота входящего воздуха и способность "поршень" заполнять весь поперечный сечение.
4Принцип турбулентного потока (не однонаправленного потока)
- Характеристики: различные поперечные сечения между вентиляционными отверстиями и выхлопными отверстиями.
- Механизм: "Эффект разведения". Доставляется чистый воздух, который быстро смешивается с загрязненным воздухом и разбавляется до достижения равновесной концентрации.
- Технический характер: определяется резкими изменениями потока и неравномерностью.