1Nefes aldığı hava

Bir levha odaya girmeden önce hava üç aşamalı filtrasyondan geçmiştir.ince maddeleri yakalayan orta filtreler, ve son olarak 0.3μm veya daha büyük olan herhangi bir şeyin% 99.997'sini tutan HEPA veya ULPA terminalleri. Sonuç olarak, ISO Sınıf 5'te metreküp başına 3.520'den az ölçülebilir parçacık içeren hava elde edilir.Ürününüz asla orada olmaması gereken bir parçacıkla karşılaşmaz çünkü hava kendisi ilk savunma hattıdır..

2Görünmez Akım.

Havanın temiz olduğu anda, kullanışlı bir yere gitmesi gerekir.Laminer akışlı temiz odada, saniyede yaklaşık 0.4 metre hızla tavandan yere kadar düzenli bir hava perde, çalışma yüzeyini sürekli olarak yıkar..Bir operatör, bir alet ya da ürünün kendisi tarafından dökülen herhangi bir parçacık, bu akıma yakalanır ve yere düşmeden önce delikli zemin üzerinden süpürülür.Bir kusura neden olma ihtimali yok..

3Termal Kokon.

Nanometre ölçekli desenleri yansıtan bir litografi stepper, ortam sıcaklığının sadece yarım derece değişmesi halinde yanlış kaydedilebilir.Bu yüzden HVAC sistemi odayı termal bir kokon olarak görür.: 22°C sabit tutulur, nispi nem %45'te kilitlenir, süreç aletleri tarafından ateşlenen ısı, operatörlerin soluduğu nem ve dışarıdaki şiddetli hava durumu gerçek zamanlı olarak telafi edilir.Ürün baştan sona termal olarak masum kalır..

4Basınç kalkanı.

Temiz oda koridorundan yürüyün ve her kapıyla görünmez sınırları geçersiniz.Orada 10 Pascal var.Fizik geri kalanı yapar: hava sadece daha yüksek basınçtan daha düşük basınca hareket eder.Potansiyel kirletici maddeleri üründen uzaklaştırmakBir kapıyı açın ve basınç düşüşü, içeri girmeden önce bir VAV amortisörü tarafından telafi edilir.

5Odanın kendisi.

Her yüzey kasıtlı olarak yapılmıştır. Duvar panelleri fabrika katmanlı çelik sandviçler olup birbirine bağlanan dikişlerle nötr sertleştirilmiş silikonla doldurulmuştur.Yer 25 milimetre yarıçaplı pürüzsüz bir koyda duvara doğru akıyorTavan ızgaraları plenum mühürünü kırmadan HEPA korumaları, ışıklar ve püskürtücü başları taşır.Oda sadece temiz değil. Tozunun saklanacak bir yeri kalmasın diye tasarlanmış..

6Yerleşik Yol.

Statik görünmez. Eldivenli parmağın ucundan gelen 100 voltluk bir patlama bir kapı oksit katmanından geçinceye kadar ve 50.000 dolarlık bir parti wafer hurda haline gelinceye kadar.İletici zemin ve topraklama ağı statik en az direniş yolunu sunarYere doğru 104-109 ohm hızda, bileziğe bağlı bantlar ve iletken ayakkabılar, her operatörün aynı topraklanmış ağın bir parçası olduğundan emin olur.Hiç yay yok..

7Kapı Bekçileri.

Kimse sokaktan temiz odaya girmez. Önce sokak kıyafetleri çıkar. Sonra bir ilerleme: temiz iç çamaşırı, ceket, başlık, bot, eldiven. Son olarak,15 ila 30 saniye boyunca hava duşunda filtrelenmiş havanın saniyede 25 metrelik bir patlamasıMalzemeler kendi eldivenleriyle karşı karşıya: iç kapının kilidini açmadan önce her yüzeyi dezenfekte eden UV-C lambaları ile birbirine bağlı geçiş kutuları.Kirlenme asla serbest geçmez..

8Sessiz Tanıklar.

Parçacık sayıcıları arka planda, basınç alıcıları odalar arasındaki boşluğu, sıcaklık ve nem sondaları her dalgalanmayı kaydediyor.Tüm bu veriler her veri noktasına zaman damgası atan merkezi bir izleme sistemine akıyor.Eğer odanın belirli bir Salı günü sabah 3:14'te temiz olduğunu kanıtlamanız gerekiyorsa,Veriler orada..

9Enerji denklemi.

Temiz oda HVAC sistemi, kontrol edilmezse bir tesisin enerji bütçesinin yarısını tüketebilir.Isı geri kazanma tekerlekleri egzoz havasında ısı enerjisinin yüzde 60 ila 80'ini toplar ve gelen temiz havayı önceden şartlandırırSistem saat boyunca çığlık atmak yerine tüm gazla nefes alıyor. Temizlik kalıyor. Güç ölçer yavaşlıyor.

10Kanıt.

Temiz bir oda, birinin söylediği için temiz değildir, çünkü üçüncü taraf bir onaylayıcı tüm HEPA filtrelerini iğne deliği sızıntıları için test etti, hava akışını görselleştirmek için duman çalışmaları yaptı,Kasıtlı bir parçacık zorlamasından sonra ölçülen iyileşme süresi, ve her metrekarelik yerde sıcaklık eşitliğini haritalandı.ve PQ ve onlar sertifika güncel tutmak ve düzenleyicileri memnun bir programda tekrar edilir.