1L' aria che respira

Prima che un wafer entri nella stanza, l'aria ha già attraversato tre fasi di filtrazione.filtri medi che catturano la materia fine, e infine terminali HEPA o ULPA che catturano il 99,997% di qualsiasi cosa di 0,3 μm o più grande.Il tuo prodotto non incontra mai una particella che non dovrebbe esserci perché l'aria stessa è la prima linea di difesa.

2La corrente invisibile

Una volta che l'aria è pulita, essa deve andare in un luogo utile. In una stanza pulita a flusso laminare, una cortina uniforme di aria da soffitto a pavimento a circa 0,4 metri al secondo risciacchia continuamente la superficie di lavoro.Qualsiasi particella versata da un operatore, da uno strumento o dal prodotto stesso viene catturata da quella corrente e spazzata giù attraverso il pavimento perforato prima di poter atterrare.non ha possibilità di causare un difetto.

3Il bozzolo termico

Il silicio non perdona la deriva, una litografia passo a passo che proietta schemi su scala nanometrica si registrera' male se la temperatura ambiente oscilla anche di mezzo grado.Quindi il sistema HVAC tratta la stanza come un bozzolo termico: 22°C mantenuto fisso, umidità relativa fissata al 45%, compensando in tempo reale il calore scatenato dagli utensili di processo, l'umidità espirata dagli operatori e il tempo fuori.Il prodotto rimane termicamente innocente dall'inizio alla fine.

4Lo scudo di pressione

Passeggia attraverso un corridoio della stanza pulita e attraversi dei confini invisibili con ogni porta.10 Pascali lì.La fisica fa il resto: l'aria si muove solo da una pressione più alta a una pressione più bassa, il che significa che scorre sempre fuori dalla zona più pulita verso la periferia più sporca.trasporta potenziali contaminanti fuori dal prodottoApri una porta e il calo di pressione viene compensato da un ammortizzatore VAV prima che tu abbia finito di camminare.

5La stanza stessa.

I pannelli di parete sono panini di acciaio laminati in fabbrica con cuciture interconnesse piene di silicone neutro.Il pavimento scorre verso il muro in una cala liscia di 25 millimetri di raggioLe griglie del soffitto trasportano case HEPA, luci e teste degli irrigatori senza rompere il sigillo del plenum.La stanza non e' solo pulita. E' progettata in modo che la polvere non abbia letteralmente un posto dove nascondersi..

6Il sentiero di terra

La statica e' invisibile finche' non lo e'... finche' una scarica da 100 volt da una punta di un dito con guanto non trafigge uno strato di ossido e un lotto di wafer da 50.000 dollari diventa spazzatura.Il pavimento conduttivo e la rete di messa a terra offrono statico il percorso di minor resistenzaLe cinghie per polsi e le calzature conduttive assicurano che ogni operatore faccia parte della stessa rete di messa a terra.Nessun arco.

7I Guardiani

Nessuno entra in una stanza pulita dalla strada, prima si tolgono i vestiti da strada, poi si procede: biancheria intima pulita, tuta, cappuccio, stivali, guanti, infine,un colpo di aria filtrata di 25 metri al secondo nella doccia d'aria per 15-30 secondiI materiali si trovano di fronte al proprio problema: scatole di passaggio interconnesse con lampade UV-C che disinfettano ogni superficie prima che la porta interna si apre.L'inquinamento non ha mai un passaggio libero..

8I Testimoni Silenziosi

I contatori di particelle fanno un tic-tac sullo sfondo, i trasduttori di pressione leggono l'intervallo tra le stanze, le sonde di temperatura e umidità registrano ogni fluttuazione.Tutto va a un sistema di monitoraggio centrale che fissa l'ora di ogni punto di dati., segnala ogni escursione, e costruisce una traccia di controllo contro le manomissioni che soddisfa sia gli ispettori della FDA che gli ispettori dell'ISO.I dati sono lì..

9L' equazione dell' energia

Un sistema di climatizzazione in camera pulita può consumare metà del budget energetico di un impianto se non controllato.Le ruote di recupero del calore catturano dal 60 all'80 per cento dell'energia termica nell'aria di scarico e precondizionano l'aria fresca in entrataIl sistema respira con l'impianto invece di urlare a tutta velocità 24 ore su 24. la pulizia rimane. il contatore di potenza rallenta.

10La prova.

Una stanza pulita non e' pulita perche' qualcuno lo dice, e' pulita perche' un validatore di terze parti ha testato tutti i filtri HEPA per le perdite di fori, ha eseguito studi sul fumo per visualizzare il flusso d'aria,tempo di recupero misurato dopo una deliberata pressione di particelle, e mappato l'uniformità della temperatura su ogni metro quadrato di superficie.e PQ e si ripetono su un programma che mantiene la vostra certificazione attuale e i vostri regolatori soddisfatti.