1هواي که تنفس ميکنه

قبل از اینکه یک وافر وارد اتاق شود، هوا قبلاً از سه مرحله فیلتر شدن عبور کرده است. هر متر مکعب از فیلترهای قبلی که گرد و غبار ضخیم را جذب می کنند،فیلترهای متوسط که مواد ظریف را به دام می اندازند، و در نهایت ترمینال های HEPA یا ULPA که 99.997٪ از هر چیزی 0.3μm یا بزرگتر را جذب می کنند. نتیجه هوا است که حاوی کمتر از 3,520 ذره قابل اندازه گیری در هر متر مکعب در کلاس 5 ISO است.محصول شما هرگز با ذراتی که نباید در آن باشند مواجه نمی شود زیرا هوا خود اولین خط دفاعی است.

2جریان نامرئی

هنگامی که هوا تمیز می شود، باید به جایی مفید برود. در یک اتاق پاک جریان لایه دار، یک پرده یکنواخت از سقف تا کف با سرعت تقریباً 0.4 متر در ثانیه به طور مداوم روی سطح کار می شوید..هر ذره ای که توسط یک اپراتور، یک ابزار، یا خود محصول ریخته می شود در آن جریان گرفتار می شود و قبل از اینکه بتواند فرود بیاید، از طریق کف سوراخ شده به پایین کشیده می شود.هیچ شانسی برای ایجاد نقص ندارد..

3کوکون حرارتی

سیلیکون حرکت را نمی پذیرد. یک استپر لیتوگرافی که الگوهایی را در مقیاس نانومتری نشان می دهد اگر دمای محیط حتی نیم درجه هم تغییر کند، اشتباه ثبت خواهد شد.پس سیستم تهویه مطبوع با اتاق به عنوان یک کوکون حرارتی برخورد می کند: 22 درجه سانتیگراد ثابت نگه داشته شده، رطوبت نسبی در 45٪ قفل شده است، جبران در زمان واقعی گرما توسط ابزار فرآیند، رطوبت تنفس توسط اپراتورها و آب و هوای خارج از خانه.محصول از ابتدا تا انتها از نظر حرارتی سالم است.

4. سپر فشار

از راهرو اتاق پاک عبور کنید و از مرز های نامرئی با هر در عبور کنید. هر اتاق متوالی با فشار ثابت کمی بالاتر از قبل نگه داشته می شود.10 پاسکال اونجافیزیک بقیه کارها را انجام می دهد: هوا فقط از فشار بالاتر به فشار پایین تر حرکت می کند.حمل آلودگی های بالقوه از محصول. در رو باز کن و فشار پایین قبل از اینکه تو راه بروی، با یک دماپر VAV جبران میشه

5اتاق خودش

به بالا، پایین و به طرف نگاه کنید هر سطحی عمدی است پانل های دیواری ساندویچ های فولادی است که در کارخانه پوشش داده شده اند و بخیه های متقابل آنها با سیلیکون خنثی پر شده است.کف از دیوار در یک خلیج صاف با شعاع 25 میلی متری جاری می شودشبکه های سقف بدون شکستن سقف کامل، محفظه های HEPA، چراغ ها و سر اسپرینکر را حمل می کنند.اتاق فقط تمیز نیست طراحی شده تا گرد و غبار جایی برای پنهان شدن نداشته باشد.

6. جاده ی زمین زده

استاتیک تا زمانی که نامرئی نباشد تا زمانی که تخلیه ۱۰۰ ولت از نوک انگشت دستکش از لایه اکسید دروازه عبور کند و یک دسته از واتر ۵۰ هزار دلاری به زباله تبدیل شود.کف رسانا و شبکه زمین دهی ارائه راه مقاومت کمترین استاتیک: از طریق کف در 104 تا 109 اوم، مستقیم به زمین بند مچ دست و کفش رسانا اطمینان حاصل کنید که هر اپراتور بخشی از همان شبکه زمین است. ساخت استاتیک. فاضلاب استاتیک.هیچ چیز قوس.

7نگهبانان دروازه

هيچکس از خيابون وارد اتاق پاک نميشه اول لباس هاي خيابوني در مياد بعد يه پيشرفت: لباس هاي زير پاک، لباس هاي پوشيده، هود، چکمه ها، دستکش هایک انفجار 25 متر در ثانیه از هوا فیلتر شده در دوش هوا برای 15 تا 30 ثانیهمواد با دستکش خود روبرو می شوند: جعبه های عبور با لامپ های UV-C که قبل از باز شدن درب داخلی هر سطحی را ضدعفونی می کنند.آلودگی هیچوقت از دست نمیاد.

8شاهدان ساکت

شمارنده های ذرات در پس زمینه حرکت می کنند، سنجه های فشار فاصله بین اتاق ها را می خوانند، سنجه های دمایی و رطوبتی هر نوسان را ثبت می کنند.تمام اطلاعات به یک سیستم نظارت مرکزی منتقل می شود که هر نقطه داده را با زمان مشخص می کند، هر سفر را علامت گذاری می کند و یک ردیاب حسابرسی ضد دستکاری ایجاد می کند که بازرسان FDA و حسابرسان ISO را قانع می کنداطلاعات اونجاست.

9معادله انرژی

یک سیستم تهویه مطبوع اتاق تمیز می تواند نیمی از بودجه انرژی یک تاسیسات را اگر کنترل نشده باشد مصرف کند. فن های با سرعت متغیر در هنگام کاهش تقاضا کاهش می یابند شب ها، آخر هفته ها، پنجره های تعمیر و نگهداری.چرخ های بازیافت گرما ۶۰ تا ۸۰ درصد انرژی حرارتی را در هوای خروجی جذب می کنند. سیستم به جای فریاد زدن در تمام سرعت در تمام ساعت با امکانات نفس می کشد. تمیز بودن باقی می ماند. متر برق کند می شود.

10. مدرک

اتاق تمیز تمیز نیست چون کسی میگه، پاکه چون یک تایید کننده شخص ثالث هر فیلتر HEPA رو برای نشت سوراخ آزمایش کردهزمان بهبود اندازه گیری شده پس از فشار ذرات عمدی، و بر روی هر متر مربع فضای کف نقشه برداری شده است.و PQ و آنها در یک برنامه تکرار می شود که گواهینامه خود را در حال حاضر نگه می دارد و تنظیم کنندگان خود را راضی.