1De lucht die hij ademt.

Voordat een wafer de kamer binnenkomt, is de lucht al door drie fasen gefilterd.middelgrote filters die de fijne stoffen vangenHet resultaat is lucht die minder dan 3.520 meetbare deeltjes per kubieke meter bevat bij ISO-klasse 5.Uw product komt nooit een deeltje tegen dat er niet hoort te zijn ∙ omdat de lucht zelf de eerste verdedigingslinie is..

2De onzichtbare stroom.

Eenmaal de lucht schoon is, moet deze ergens naartoe gaan waar het nuttig is. In een schoonkamer met laminaire stroom spoelt een gelijkmatig luchtgordijn van plafond tot vloer met een snelheid van ongeveer 0,4 meter per seconde continu over het werkoppervlak..Alle deeltjes die door een bediener, een gereedschap of het product zelf worden afgeworpen worden gevangen in die stroom en worden door de geperforeerde vloer geveegd voordat ze kunnen landen.het kan geen gebrek veroorzaken.

3De thermische cocon

Een lithografie-stepper die patronen op nanometer schaal projecteert, zal verkeerd registreren als de omgevingstemperatuur zelfs een halve graad schommelt.Dus het HVAC systeem behandelt de kamer als een thermische cocon.: 22°C stabiel gehouden, relatieve luchtvochtigheid op 45%, compensatie in realtime van de warmte die wordt afgevuurd door procesgereedschappen, het vocht dat door de gebruikers wordt ingeademd en het woeste weer buiten.Het product blijft van begin tot eind thermisch onschuldig.

4Het drukschild.

Als je door een cleanroom loopt, kruist je onzichtbare grenzen met elke deur.10 pascals daar.De natuurkunde doet de rest: lucht gaat van hogere druk naar lagere druk.potentiële verontreinigende stoffen uit het product wegdragenOpen een deur, en de drukdaling wordt gecompenseerd door een VAV-demper voordat je klaar bent met binnenlopen.

5De kamer zelf.

Kijk omhoog, naar beneden en zijdelings, elk oppervlak is opzettelijk gemaakt.De vloer stroomt de muur op in een gladde baai met een straal van 25 mmDe plafondroosters dragen HEPA-behuizingen, lichten en sprinklerkoppen zonder het plenumdicht te breken.De kamer is niet alleen schoon, het is zo ontworpen dat stof zich letterlijk nergens kan verstoppen..

6Het grondpad.

Static is onzichtbaar totdat het niet De geleidende vloer en het aardingsnetwerk bieden statische het pad van de minste weerstandWristbanden en geleidende schoenen zorgen ervoor dat elke operator deel uitmaakt van hetzelfde geaarde netwerk.Niets bogen.

7De Poortwachters.

Niemand loopt vanuit de straat de schoonkamer in, eerst de straatkleding, dan een progressie: schoon ondergoed, overhemd, motorkap, laarzen, handschoenen.een 25 meter per seconde snelheid van gefilterde lucht in de luchtdouche gedurende 15 tot 30 secondenDe materialen worden geconfronteerd met hun eigen uitdaging: vergrendelde doosjes met UV-C lampen die elk oppervlak ontsmetten voordat de binnendeur opengaat.Verontreiniging krijgt geen vrije doorgang ∙ nooit.

8De stille getuigen.

Deeltjestellers tikken op de achtergrond... drukomvormers lezen de ruimte tussen kamers... temperatuur- en vochtigheidssonden registreren elke schommeling.Alles stroomt naar een centraal bewakingssysteem dat elk datapunt tijdstempelt.Als je ooit moet bewijzen dat de kamer schoon was op een bepaalde dinsdag om 3:14 uur,De gegevens zijn er..

9De energie-vergelijking

Een cleanroom HVAC-systeem kan de helft van het energiebudget van een faciliteit verbruiken als het niet wordt gecontroleerd.Warmteherstelwielen vangen 60 tot 80 procent van de thermische energie in de uitlaatlucht op en conditioneren de binnenkomende verse luchtHet systeem ademt met de installatie in plaats van te schreeuwen op volle gas rond de klok.

10Het bewijs.

Een cleanroom is niet schoon omdat iemand dat zegt, maar omdat een externe validator elk HEPA-filter heeft getest op lekken, rookstudies heeft uitgevoerd om de luchtstroom te visualiseren,gemeten hersteltijd na een opzettelijke deeltjesinspanningDat is IQ, OQ.en PQ en ze worden herhaald op een schema dat uw certificering actueel houdt en uw regelgevers tevreden.