精密加工施設のためのシームレスインテリアを持つプレミアユニタリーモジュール式クリーンルームエンジニアリング
| ブランド名: | SHP |
| モデル番号: | カスタマイズされた |
| MOQ: | 50平方メートル |
| 価格: | $500.00/square meters 50-499 square meters |
| 支払い条件: | LC、T/T |
| 補給能力: | ≥1セット |
内部の縫い目のないモジュール式クリーンルーム
,精密加工のための単一のクリーンルーム
,処理施設のクリーンルームエンジニアリング
製品概要 ——精密加工施設向けのシームレスな内部を備えた最高のユニタリーモジュラークリーンルームエンジニアリング
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クリーンルームの説明
| 応用 | 医薬品 | 研究室 | エレクトロニクス |
| 清潔さ | 中国クラス 100 ~ 100000 | ISO5~8 | EU B から D |
| 範囲 |
構造部分。 パーティションと天井パネル。 ドアと窓、エポキシ。 |
冷暖房空調設備部分。 AHUとチラー。 ダクトと配管。 |
電気部品; ランプ、スイッチ、ソケット。 配電キャビネット。 |
| サービス | 設計・製作 | 構築とテスト | 検証とトレーニング |
| 壁/天井パネル | 機械製または手作りのサンドイッチボード |
| クリーンルーム設備 | エアシャワー、FFU、パスボックス、層流キャビネット、ヘパボックス |
| 清潔さ | クラス100-100000 |
| 浄化システム | HVAC、または AC コンディショナー + FFU |
| 床 | PVC 帯電防止床またはエポキシベースのコーティング |
| 他の宛先人 | スタリナイト窓、LEDパネルライト、ドア、手洗いシンク、収納/下駄箱など |
| サービス | 設計、製造、施工 |
クリーンルームの中核機能
1. 呼吸する空気
ウェーハが部屋に入る前に、空気はすでに 3 段階の濾過を通過しています。すべての立方メートルは、粗い粉塵を捕らえるプレフィルター、細かい粉塵を捕らえる中型フィルター、そして最後に、0.3μm 以上のものを 99.997% 捕捉する HEPA または ULPA 端子を通過します。その結果、ISO クラス 5 で測定可能な粒子が 1 立方メートルあたり 3,520 個未満の空気に含まれます。空気自体が防御の最前線であるため、製品がそこにあるべきではない粒子に遭遇することはありません。
2. 目に見えない流れ
空気がきれいになったら、それは役に立つ場所へ行かなければなりません。層流クリーンルームでは、天井から床まで均一な空気のカーテンが毎秒約 0.4 メートルで作業面を継続的に洗い流します。オペレーター、ツール、または製品自体によって放出された粒子はすべてその流れに巻き込まれ、着地する前に穴の開いた床を通って押し流されます。塵が落ち着く時間がなければ、欠陥が発生する可能性はありません。
3. サーマルコクーン
シリコンはドリフトを許しません。ナノメートルスケールでパターンを投影するリソグラフィーステッパーは、周囲温度が 0.5 度でも変動すると位置ずれが発生します。そのため、HVAC システムは部屋を熱繭として扱います。22°C は安定に保たれ、相対湿度は 45% に固定され、プロセス ツールから発せられる熱、オペレーターから吐き出される湿気、および屋外の荒れ狂う天候をリアルタイムで補正します。製品は最初から最後まで熱的に影響を受けません。
4. プレッシャーシールド
クリーンルームの廊下を歩くと、ドアごとに目に見えない境界線を越えることになります。連続する各部屋は、前の部屋よりわずかに高い静圧 (ここでは 5 パスカル、あそこでは 10 パスカル) に保たれます。残りの部分は物理学が行います。空気は圧力の高い方から低い方へ移動するだけです。つまり、常に最もきれいなゾーンからより汚れた周辺に向かって流れ、潜在的な汚染物質を製品から運び去ります。ドアを開けると、通り抜ける前に圧力低下が VAV ダンパーによって補償されます。
5. 部屋自体
上、下、横を見てみると、すべての表面が意図的に作られています。壁パネルは工場でラミネートされたスチールサンドイッチで、継ぎ目は中性硬化シリコンで満たされています。床は半径 25 ミリメートルの滑らかな入り江で壁に沿って流れており、埃がたまる可能性のある出っ張りはありません。天井グリッドは、プレナムのシールを破ることなく、HEPA ハウジング、ライト、スプリンクラー ヘッドを搭載します。部屋はただきれいなだけではありません。文字通り、埃が隠れる場所がないように設計されています。
6. 接地されたパス
静電気は、手袋をした指先からの 100 ボルトの放電がゲート酸化層を突き抜け、50,000 ドルのバッチのウェハがスクラップになるまで、目に見えなくなります。導電性の床と接地ネットワークは、10⁴ ~ 10⁹ オームで床を通って直接アースに至る、最小抵抗の静電気経路を提供します。リストストラップと導電性履物により、すべてのオペレーターが同じ接地されたネットワークの一員であることが保証されます。静的ビルド。静的排水。何も弧を描きません。
7. 門番たち
道路からクリーンルームに入る人は誰もいません。まず街着が脱げます。次に、清潔な下着、カバーオール、フード、ブーツ、手袋と進みます。最後に、フィルターを通した空気を毎秒 25 メートルの速度でエア シャワーで 15 ~ 30 秒間噴射し、付着した粒子をはぎ取ります。素材はそれぞれの難題に直面します。それは、内側のドアのロックが解除される前にすべての表面を消毒する UV-C ランプを備えた連動パスボックスです。汚染にはフリーパスが与えられません。
8. 沈黙の証人たち
粒子カウンターはバックグラウンドで時を刻みます。圧力トランスデューサーが部屋間の隙間を読み取ります。温度と湿度のプローブはあらゆる変動を記録します。そのすべてが中央監視システムに送られ、すべてのデータ ポイントにタイムスタンプが付けられ、すべての逸脱にフラグが付けられ、FDA 検査官と ISO 監査官の両方を満足させる改ざん明示的な監査証跡が構築されます。特定の火曜日の午前 3 時 14 分に部屋がきれいだったことを証明する必要がある場合は、データがそこにあります。
9. エネルギーの方程式
クリーンルーム HVAC システムは、チェックを怠った場合、施設のエネルギー予算の半分を使い果たしてしまう可能性があります。可変速度ファンは、夜間、週末、メンテナンス期間など、需要が低下すると減速します。熱回収ホイールは、排気中の熱エネルギーの 60 ~ 80% を捕捉し、入ってくる新鮮な空気を事前に調整します。このシステムは、24 時間フルスロットルで叫ぶのではなく、施設とともに呼吸します。清潔感が持続します。パワーメーターの速度が遅くなります。
10. 証明
誰かがそう言うからクリーンルームがきれいになるわけではありません。サードパーティのバリデーターがピンホール漏れがないかすべての HEPA フィルターをテストし、空気の流れを視覚化するために煙の研究を実行し、意図的な粒子チャレンジ後の回復時間を測定し、床面積のすべての平方メートルにわたる温度の均一性をマッピングしたため、クリーンです。それが IQ、OQ、PQ です。これらは、認定を最新の状態に保ち、規制当局を満足させるスケジュールで繰り返されます。
製品説明
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