1O ar que respira

Antes de uma bolacha entrar na sala, o ar já passou por três fases de filtragem.filtros médios que retêm o material fino, e finalmente terminais HEPA ou ULPA que capturam 99,997% de qualquer coisa de 0,3 μm ou maior. O resultado é ar que contém menos de 3.520 partículas mensuráveis por metro cúbico na classe ISO 5.Seu produto nunca encontra uma partícula que não deveria estar lá porque o próprio ar é a primeira linha de defesa..

2A corrente invisível.

Uma vez que o ar está limpo, ele tem que ir para algum lugar útil..Qualquer partícula derramada por um operador, uma ferramenta ou o próprio produto é capturada nessa corrente e varrida pelo piso perfurado antes de poder aterrar.Não pode causar defeito.

3O Coco Térmico

Um passo litográfico que projeta padrões em escala nanométrica vai registrar mal se a temperatura ambiente oscilar mesmo meio grau.O sistema de climatização trata a sala como um casulo térmico.: 22°C mantidos estabilizados, umidade relativa fixa a 45%, compensando em tempo real o calor emitido pelas ferramentas de processo, a umidade exalada pelos operadores e o clima feroz do exterior.O produto mantém-se inato térmicamente do início ao fim.

4O Escudo de Pressão

Caminhe por um corredor de sala limpa e você cruza fronteiras invisíveis com cada porta.10 pascais lá.A física faz o resto: o ar só se move de uma pressão mais alta para uma pressão mais baixa.transportando potenciais contaminantes para longe do produtoAbre uma porta, e a queda de pressão é compensada por um amortecedor VAV antes de terminar de atravessar.

5O próprio quarto.

Os painéis de parede são sanduíches de aço laminados de fábrica com costuras interligadas preenchidas com silicone de cura neutra.O chão flui para cima da parede em uma enseada lisa de raio de 25 milímetrosAs grades de teto transportam caixa HEPA, luzes e cabeças de aspersores sem quebrar a vedação do plenum.A sala não é só limpa, é projetada para que a poeira não tenha literalmente onde se esconder..

6O Caminho de Terra

A estática é invisível até que não seja... até que uma descarga de 100 volts da ponta de um dedo de luvas atravesse uma camada de óxido de porta e um lote de wafers de 50 mil dólares se torne sucata.O solo condutor e rede de aterramento oferecem estático o caminho da menor resistênciaAs pulseiras e os calçados condutivos garantem que todos os operadores façam parte da mesma rede de aterragem.Nada de arcos.

7Os Guardiões.

Ninguém entra numa sala de limpeza da rua, primeiro tiram-se as roupas de rua, depois uma progressão: roupas íntimas limpas, macacão, capuz, botas, luvas e, finalmente,uma explosão de ar filtrado de 25 metros por segundo no chuveiro de ar durante 15 a 30 segundosOs materiais enfrentam o seu próprio desafio: caixas de passagem interligadas com lâmpadas UV-C que desinfetam todas as superfícies antes de a porta interior abrir.A contaminação não tem passagem livre ∙ nunca.

8As Testemunhas Silenciosas

Contadores de partículas, sensores de pressão, sondas de temperatura e umidade registam todas as flutuações.Tudo é transmitido para um sistema central de monitoramento que marca cada ponto de dadosSe alguma vez precisares de provar que a sala estava limpa numa terça-feira específica às 3:14 da manhã,Os dados estão lá..

9A Equação de Energia

Um sistema de climatização de sala limpa pode consumir metade do orçamento energético de uma instalação se não for controlado.As rodas de recuperação de calor capturam de 60 a 80 por cento da energia térmica no ar de escape e pré-condicionam o ar fresco que entraO sistema respira com a instalação em vez de gritar em todo o acelerador 24 horas por dia.

10A prova.

Uma sala limpa não é limpa porque alguém o diz, é limpa porque um validador externo testou todos os filtros HEPA para ver se havia fugas, fez estudos de fumaça para visualizar o fluxo de ar,Tempo de recuperação medido após um esforço deliberado de partículas, e mapeou a uniformidade da temperatura em cada metro quadrado de espaço.e PQ e eles são repetidos em um cronograma que mantém a sua certificação atual e seus reguladores satisfeitos.