1वायु निस्पंदन

इसके बिना: हर घन मीटर के अंदर हवा में लाखों सबमाइक्रोन कण होते हैं ∙ अदृश्य धूल, त्वचा के टुकड़े, सूज, फाइबर के टुकड़े ∙ इनमें से कोई भी सर्किट को छोटा कर सकता है, नोजल को बंद कर सकता है,या एक बाँझ भरने दूषितइसके साथ ही: बहु-चरण HEPA/ULPA निस्पंदन से वायु को 3,520 से कम कणों ≥ 0.5μm प्रति घन मीटर तक ISO वर्ग 5 पर स्क्रब किया जाता है, जिससे उत्पाद तक पहुंचने से पहले कणों के 99.997% खतरे दूर हो जाते हैं।

2वायुप्रवाह डिजाइन

इसके बिना: कण उड़ते और जमा हो जाते हैं। कार्यक्षेत्र के ऊपर एक मृत क्षेत्र धूल का भंडार बन जाता है। ऑपरेटर या उपकरण द्वारा उत्पन्न प्रदूषक अंतहीन रूप से फिर से घूमते हैं। इसके साथःलामिना प्रवाह 0 पर स्वच्छ हवा के एक समान स्तंभ को नीचे धकेलता है.45 मीटर/सेकंड, यह लैंड करने से पहले प्रत्येक कण को वापसी पूर्ण में झाड़ता है। कम ग्रेड वाले क्षेत्रों में अशांत पतलापन अंतरिक्ष को लगातार फ्लश करने के लिए प्रति घंटे 20 से 60 वायु परिवर्तन करता है।

3तापमान और आर्द्रता नियंत्रण

इसके बिना: फोटोलिथोग्राफी के दौरान 2 डिग्री सेल्सियस का बहाव महत्वपूर्ण आयामों को स्थानांतरित करता है। आर्द्रता की वृद्धि से हाइग्रोस्कोपिक पाउडर केक होने लगते हैं। ठंडा सतहों पर संघनक बनता है, माइक्रोब का प्रजनन करता है। इसके साथःएचवीएसी लूप तापमान को ±0 तक बनाए रखते हैं.5°C और आर्द्रता ± 3% आरएच घड़ी के चारों ओर, बाहरी मौसम, उपकरण गर्मी भार, और अधिभोग प्रभाव को बेअसर करना।

4. दबाव कैस्केडिंग

इसके बिना: एक दरवाजा खोलें, और अनफ़िल्टर्ड कॉरिडोर हवा स्वच्छ क्षेत्र में बाढ़ आती है। कणों को स्वतंत्र रूप से सुविधाओं में स्थानांतरित करते हैं। एक कमरे में एक उल्लंघन पूरे सुइट को खतरे में डालता है। इसके साथःक्षेत्रों के बीच 5 ¢ 15 Pa के सकारात्मक दबाव अंतर हवा को केवल एक दिशा में बहने के लिए मजबूर करते हैं. दरवाजे के संचालन के दौरान भी, गतिशील वीएवी मुआवजा सेकंड में ढलान को बहाल करता है.

5मुहरबंद लिफाफा

इसके बिना: दीवारों के पैनलों के बीच के अंतराल धूल इकट्ठा करते हैं जो कोई फ़िल्टर नहीं पहुंच सकता है। तेज कोनों में मलबे फंस जाते हैं। छत में प्रवेश करने से अनफ़िल्टर्ड पूर्ण हवा कार्यक्षेत्र में लीक हो जाती है। इसके साथःफ्लैश के साथ कारखाने के टुकड़े टुकड़े पैनल, सिलिकॉन सील जोड़ों हर दीवार से फर्श के संक्रमण पर गोल coves एक 100% एयरटाइट खोल है कि गंदगी के लिए कोई सतह छोड़ देता है पकड़ करने के लिए

6ईएसडी सुरक्षा

इसके बिना: एक तकनीशियन फर्श पर चलता है, एक 5,000 वोल्ट का चार्ज बनाता है, और एक जुड़नार को छूता है ∙ माइक्रो-डिस्चार्ज दसियों हज़ार डॉलर के मूल्य के वेफर्स के एक बैच को फ्राइज़ करता है। इसके साथःप्रवाहकीय फर्श (104~109 Ω सतह प्रतिरोध), ग्राउंडिंग स्ट्रैप, और 35% आरएच से ऊपर आर्द्रता बनाए रखा लगातार स्थिर निकासी. चार्ज नहीं बना सकते हैं, तो आर्क नहीं हो सकता है.

7. प्रवेश गाउन और एयर शॉवर

इसके बिना: सड़क के कपड़े पहने एक ऑपरेटर लाखों त्वचा के कणों, फाइबर और बैक्टीरिया को दरवाजे के माध्यम से ले जाता है। कुछ ही मिनटों में, स्वच्छ कक्ष बाहर के गलियारे के रूप में गंदा हो जाता है। इसके साथःएक चरणबद्ध प्रोटोकॉल, हुड, जूतों, दस्ताने के बाद 15 से 30 सेकंड के लिए 25 मीटर/सेकंड के हवा के स्नान से प्रति व्यक्ति कण भार में 90% से अधिक की कमी आती है।

8पर्यावरण निगरानी

इसके बिना: एक फिल्टर एक पिनहोल रिसाव विकसित करता है। एक दबाव अंतर ढह जाता है। तापमान 3 डिग्री सेल्सियस से अधिक हो जाता है।कोई नहीं जानता जब तक कि उत्पाद विफल न हो जाए और मूल कारण साबित नहीं हो सकता क्योंकि कोई डेटा मौजूद नहीं हैइसके साथः वास्तविक समय में कणों के काउंटर, दबाव सेंसर और टी/आरएच जांच एक बीएमएस/ईएमएस इतिहासकार को स्ट्रीम करते हैं, हर विचलन को तुरंत चिह्नित करते हैं और ऑडिट के लिए तैयार रिकॉर्ड बनाते हैं।

9ऊर्जा वसूली

इसके बिना: एचवीएसी प्रणाली 24/7 पूर्ण शक्ति पर चलती है, कुल सुविधा ऊर्जा का 50~70% उपभोग करती है, परिचालन लागतों को गैर-सतत क्षेत्र में चलाती है। इसके साथःचर गति वाले पंखे निष्क्रिय अवधि के दौरान गती कम करते हैं. एंथलपी पहियों को 60 से 80% निकास ऊर्जा की वसूली होती है. यह प्रणाली कम से कम संभव वाट पर स्वच्छता प्रदान करती है.

10. सत्यापन

इसके बिना: कोई कहता है "हम पर विश्वास करो, यह साफ है" ′′ और लेखा परीक्षक असहमत है, उत्पादन को रोकता है, एक रिकॉल को ट्रिगर करता है, या बाजार प्राधिकरण से इनकार करता है। इसके साथःआईक्यू/ओक्यू/पीक्यू परीक्षण से फ़िल्टर की अखंडता साबित होती है, वायु प्रवाह एकरूपता, वसूली समय, और तापमान मानचित्रण प्रलेखित, पुनः प्रयोज्य डेटा के साथ। प्रमाणन एक फ़ाइल है जिसे आप किसी भी नियामक को आत्मविश्वास के साथ सौंप सकते हैं।

मुख्य बात

एक स्वच्छ कक्ष एक ऐसा कमरा नहीं है जो साफ होता है। यह एक इंजीनियर प्रणाली है जहां दस परस्पर निर्भर कार्य वास्तविक समय में एक साथ काम करते हैं। किसी एक को हटा दें, और पूरी श्रृंखला विफल हो जाती है।सभी दस स्पेस में रखें, और आपका उत्पाद कभी भी किसी ऐसे कण से नहीं मिलता जो उसे नहीं मिलना चाहिए।