大規模産業施設の超清潔な建設管理
2026-07-06
TFT-LCDや集積回路などの高精度製造の需要が高まるにつれ、大規模なクリーンルームの建設にはより高い浄化レベルとより短いサイクルが必要となります。資格のあるクリーンルーム施設を提供するには、専門の建設組織が鍵となります。
1. 構造的特徴
最近の大規模なクリーンルームでは、通常、MAU (メイクアップ エア ユニット) + FFU (ファン フィルター ユニット) + FCU (ファン コイル ユニット) システムが使用されます。垂直方向のスペースは次のように分割されます。
- 下部テクニカルメザニン: ユーティリティ (ガス、排水、電気) および MAU/FCU の配置用。
- 生産レベル (コアエリア): 垂直層流が維持される施設の中心部。グリッド天井システムとFFUアレイが特徴です。
- プレナム レベル: 均圧化および天井上のスプリンクラー/電気システムの収容用。
2. 戦略的な公害防止対策
A. 人員の汚染管理
- 認定システム: バッジを持った訓練を受け認定された担当者のみが入場できます。
- 固定フロールート: ランダムな相互汚染を防ぐために定義された入口/出口パス。
- 個人の浄化: 入場前に靴、衣服、帽子を交換するための専用エアロック。
B. 物流/資材管理
- 専用の入口ポート: 管理されていない汚染を防ぐために、すべての材料は指定されたポートから入る必要があります。
- 材料の洗浄: 材料は、特にガスや超純水の配管など、クリーンエリアに移動する前に、(水またはアルコールを使用して)拭き取って洗浄する必要があります。
C. 段階的な汚染管理
- フェーズ 1 (基本制御): 防塵コーティング、機器の搬入、一次配管が含まれます。
- フェーズ 2 (中間制御): グリッド天井の設置と二次配線が含まれます。粉塵の発生する作業を禁止します。
- フェーズ 3 (高レベル制御): FFU および HEPA フィルターの設置、床の仕上げ、およびシステムのテスト。完全なクリーンルームスーツと防塵ワイプが必要です。
3. 結論
清潔さの要件は建設プロセスのすべての段階に組み込まれなければなりません。人員、資材、清掃基準の管理を段階的に強化することで、適格な超クリーン環境を実現できます。
