クリーンルーム性能試験および関連認証基準のリファレンス
2026-06-10
クリーンルームテストは、建設後、所有者に引き渡す前に不可欠な手順です。テスト結果が基準を満たしているかどうかによって、クリーンルームが生産要件を満たしているかどうかが直接決まります。
IES-RP-CC006.2 に従って、クリーンルームは建設時、休止中、運用中の 3 つの運用状態に分類されます。試験方法は、クリーンルームの設計タイプとその運用状態によって決まります。
クリーンルームの稼働状況
一般に、クリーンルーム建設契約では基本的な完成テストのみが指定されており、建設スケジュールが厳しいため、静止テストと動作テストは省略されることがよくあります。請負業者と所有者の両方が、クリーンルームが設計要件に準拠していることを確認するために、静止状態および動作状態でテストを実施することをお勧めします。これら 2 つの状態で得られたテスト結果を比較することは、既存の問題を効果的に特定するのに役立ちます。
たとえば、清浄度は、停止状態では基準を満たしていても、動作状態では限界を超える場合があります。考えられる原因としては、クリーンルームの管理が不十分であること（機器設置時の清掃が不十分であったこと、清掃手順が不適切であったこと、現場での管理が甘かったこと、機器の配置が不適切で還気口やフィルターからの空気供給が妨げられたこと）などが考えられます。
したがって、完成時の状態と運用状態の両方でテストを実行することをお勧めします。
クリーンルーム試験の基準と規約
事実上すべてのクリーンルーム テストは、ISO 14644-1、IEST-RP-CC006.2、NEBB マニュアル、および廃止された FS-209E などの国際的に認められた規格に従って実施されます。これらの規格と実践は、クリーンルームのテストと認証の基本的なガイドラインを提供します。ただし、実際には、所有者と請負業者は、特定の製品およびプロセスの要件に基づいて、技術指標、試験方法、および合格基準について個別に合意に達する場合があります。
したがって、ほとんどの合格基準は、専門のクリーンルーム試験および認証機関からの推奨事項を参照して、所有者と請負業者との間の交渉を通じて決定されます。独立したサードパーティのテスト会社は通常、カスタマイズされたテスト ソリューションを提案できます。したがって、技術的パラメータ、テスト方法、および合格基準に関する議論の初期段階でそのような組織に参加することをお勧めします。パラメータや基準に関して矛盾が生じた場合、これらの専門機関が専門知識を活かして所有者と請負業者の間を仲介することができます。
試験項目の選択
推奨されるクリーンルームテスト項目には、フィルターの風速とその均一性、フィルターの取り付け漏れテスト、差圧、気流の平行度、清浄度、騒音、照度、温度、湿度が含まれます。これらの基本項目は一次試験と二次試験の両方をカバーしており、クリーンルームの元の設計基準とパラメータに準拠する必要があります。すべてのテストと認証は、所有者に引き渡す前に完了する必要があります。
最も重要な 4 つの中核項目は、フィルター空気の速度と均一性、フィルター取り付け漏れテスト、差圧、清浄度レベルです。これらは、機器をクリーンルームに移動する前に完了する必要があります。空気の流れの平行性 (一方向の流れのクリーンルームのみ)、温度、湿度、照度、騒音などの他の二次テストも、空気の動きや環境パラメータと密接に関連しているため、実施する必要があります。上記のすべての二次テストを少なくとも動作状態で実行することをお勧めします。
クリーンルーム性能試験は、クリーンルームプロジェクトが関連基準を満たしているかどうかを検証する手段であり、施設が生産要件を満たしているかどうかを直接判断します。したがって、企業はクリーンルーム性能試験を非常に重視する必要があります。
