塵のないクリーンルームの合理的なレイアウトを実現する方法
2026-08-10
クリーンルームの設計における主要原則：人員と物品の動線の分離、清浄度クラスに応じた段階的配置、浄化経路の短縮、交差汚染の回避、および生産プロセス、防火避難、後工程の運用・保守の考慮。
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清浄度勾配に従ったレイアウトより高い清浄度の部屋は内部コアエリアに配置し、低い清浄度および非クリーンゾーンは周辺に配置します。人員と物品は、低い清浄度ゾーンから高い清浄度ゾーンへと順次通過します。逆流は、高グレードエリアの汚染を防ぐために禁止されています。
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人員動線と物品動線の厳格な分離人員は、クリーンゾーンに入る前に履き替え、ガウン着替え、エアシャワーを通過します。物品は、独立した物品搬入口を通り、外部清掃、カーゴエアシャワー、またはパススルーウィンドウ処理を経てクリーンルームに入ります。人員通路は物品輸送に使用してはなりません。交差汚染を避けるために、廃棄物排出には専用の排出口を採用します。
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機能室の合理的な接続生産室、バッファ室、ガウン着替え室、物品一時保管室、洗浄室、工具保管室は論理的に接続する必要があります。バッファ室は、ドア開放による室内清浄度と圧力差への影響を最小限に抑えるために、高清浄度室の周囲に配置する必要があります。
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配管およびユーティリティ室の最適化されたレイアウト空調室およびチラー室は、ダクトワークを短縮するためにクリーンゾーンの近くに配置する必要があります。水漏れ、騒音、振動のリスクを低減するために、生産室の真上または真下に配置してはなりません。配管はテクニカルプレナムおよびシャフトに集中させます。クリーンエリア内の露出した配管および接合部は、ほこりの蓄積や液体の滴下のリスクを低減するために最小限に抑える必要があります。
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防火避難要件への準拠各防火区画には少なくとも2つの非常口が必要です。エアシャワーおよびガウン着替え通路は避難経路として使用できません。避難ドアにインターロックを取り付けてはなりません。避難通路には機器や物品を配置してはなりません。テクニカルプレナムも防火および排煙設計の対象とする必要があります。
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生産、保守、拡張の利便性生産プロセスは、往復の物品取り扱いを避けるために一方通行の流れに従う必要があります。機器保守のために十分なクリアランスを確保する必要があります。将来の変更が予想される場合は、モジュラーレイアウトが推奨されます。クリーンルームの総面積を合理的に管理することで、HVAC負荷とエネルギー消費を削減できます。
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騒音、振動、新鮮空気、排気制御高騒音、発熱、粉塵発生機器は、クリーンゾーン外に配置することが望ましいです。新鮮空気取り入れ口と排気口は適切に配置する必要があります。排気口は、排気再循環を防ぐために新鮮空気取り入れ口から離して配置する必要があります。
