クリーンルーム汚染防止の4大原則
2026-06-09
クリーンルームの清浄度を維持・管理するには、ハードウェアや設備への投資とともに、適切な管理システムが不可欠です。
汚染源
クリーンルームの汚染源は外部と内部に分けられます。外部発生源には主に、空調システムからの空気供給、隙間からの空気侵入、建物構造、クリーンルーム用衣類、ダクト材料、給水、溶剤などが含まれます。内部ソースは、生産設備、人員、ツール、生産プロセス、作業台、梱包材で構成されます。
汚染源の管理
外部からの塵埃の侵入を防ぐ
クリーンルーム内を5Pa以上の陽圧に維持し、構造の完全な気密性を確保します。従業員、設備、原材料を立ち入る前に徹底的に洗浄します。エアフィルターも適切に取り付け、メンテナンスしてください。
室内の発塵を防ぐ
主な管理対策: クリーンルームの壁と床に適切な材料を選択する、生産設備からの発塵を制御する、現場スタッフとクリーンルームの衣類を管理する、クリーンルーム専用の特別な機器を使用する。
室内にホコリが溜まるのを防ぐ
壁は滑らかで、死角があってはなりません。クリーンルームは定期的なメンテナンスと清掃が必要です。すべての機器の周囲に十分なスペースを確保してください。
浮遊粉塵を適時に除去します
十分な換気量、合理的な空間レイアウト、排気システムや空調の適切な風速を確保します。
